本技術(shù)涉及電流測試，特別涉及一種多通道電流測試裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體芯片漏電流測試中，常使用帶有電壓源的皮安表進行測量。皮安表通過施加指定大小的電壓并測量被測單元的漏電流來檢測半導(dǎo)體芯片的漏電流大小，通常在fa(飛安)到na(納安)之間。

2、然而，高精度皮安表價格昂貴且體積較大，無法通過簡單增加皮安表數(shù)量來實現(xiàn)大量通道的電流測試。因此，亟需提出一種可以實現(xiàn)大量通道的電流測試的測試裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的主要目的是提供一種多通道電流測試裝置，旨在提出一種可以實現(xiàn)大量通道的電流測試的測試裝置。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出一種多通道電流測試裝置，包括：

3、電流測試組件，所述電流測試組件用于測試n個被測單元的測試電流；

4、多通道切換組件，所述多通道切換組件分別與所述電流測試組件和n個所述被測單元連接；所述多通道切換組件用于切換所述電流測試組件與n個所述被測單元之間的測試通道；

5、控制電路，所述控制電路分別與所述電流測試組件和所述多通道切換組件連接；所述控制電路用于控制所述電流測試組件的工作，所述控制電路還用于控制所述多通道切換組件的工作。

6、可選地，所述多通道切換組件包括：

7、開關(guān)電路，所述開關(guān)電路分別與所述電流測試組件和n個所述被測單元連接；所述開關(guān)電路用于切換所述電流測試組件與n個所述被測單元之間的測試通道；

8、驅(qū)動電路，所述驅(qū)動電路分別與所述開關(guān)電路和所述控制電路連接；所述驅(qū)動電路用于接收所述控制電路輸出的控制信號，并根據(jù)所述控制信號驅(qū)動所述開關(guān)電路的工作。

9、可選地，所述電流測試組件包括m個皮安表；每一所述皮安表均包括電壓源與電流測試電路；

10、所述電壓源分別與所述控制電路和所述開關(guān)電路連接；所述電壓源用于給所述被測單元產(chǎn)生測試電流提供電源；

11、所述電流測試電路分別與所述控制電路、所述開關(guān)電路和所述電壓源連接；所述電流測試電路用于接收所述測試電流，并根據(jù)所述測試電流輸出電流測試信號；

12、所述控制電路還用于控制所述電壓源和所述電流測試電路的工作，以及用于接收所述電流測試信號并根據(jù)所述電流測試信號工作。

13、可選地，所述測試通道包括第一通道與第二通道；所述開關(guān)電路包括：

14、供電開關(guān)電路，所述供電開關(guān)電路分別與m個所述電壓源和n個所述被測單元電源輸入端連接；所述供電開關(guān)電路用于切換m個所述電壓源與n個所述被測單元的電源輸入端之間的所述第一通道；

15、測試開關(guān)電路，所述測試開關(guān)電路分別與m組所述電流測試電路和n個所述被測單元的輸出端連接；所述測試開關(guān)電路用于切換m組所述電流測試電路與n個所述被測單元的輸出端之間的所述第二通道。

16、可選地，所述多通道電流測試裝置還包括多芯探針卡，所述多芯探針卡包括第一連接端、第二連接端與測試端；所述多芯探針卡的第一連接端與所述供電開關(guān)電路連接；所述多芯探針卡的第二連接端與所述測試開關(guān)電路連接；所述多芯探針卡的測試端與n個所述被測單元連接。

17、可選地，所述多通道電流測試裝置還包括：

18、第一同軸線纜，所述第一同軸線纜包括內(nèi)導(dǎo)體和外屏蔽層，所述第一同軸線纜的內(nèi)導(dǎo)體用于連接m個所述電壓源的正極與所述供電開關(guān)電路的第一端，所述第一同軸線纜的外屏蔽層用于連接m個所述電壓源的負(fù)極；

19、第二同軸線纜，所述第二同軸線纜包括內(nèi)導(dǎo)體、中間導(dǎo)體層與外屏蔽層，所述第二同軸線纜的內(nèi)導(dǎo)體用于連接m組所述電流測試電路的第一端與所述測試開關(guān)電路的第一端，所述第二同軸線纜的中間導(dǎo)體層用于連接m組所述電流測試電路的第二端與所述第一同軸線纜的外屏蔽層，所述第二同軸線纜的外屏蔽層接地；

20、第三同軸線纜，所述第三同軸線纜包括內(nèi)導(dǎo)體和外屏蔽層，所述第三同軸線纜的內(nèi)導(dǎo)體用于連接所述供電開關(guān)電路的第二端與所述多芯探針卡的第一連接端，所述第三同軸線纜的外屏蔽層連接所述第一同軸線纜的外屏蔽層；

21、多芯屏蔽線纜，所述多芯屏蔽線纜包括多芯內(nèi)導(dǎo)體和外屏蔽層，所述多芯屏蔽線纜的多芯內(nèi)導(dǎo)體用于連接所述測試開關(guān)電路的第二端與所述多芯探針卡的第二連接端；所述多芯屏蔽線纜的外屏蔽層接地。

22、可選地，所述供電開關(guān)電路包括公共電極，所述公共電極用于連接n個所述被測單元的電源輸入端；所述供電開關(guān)電路還包括m個供電開關(guān)與供電接地開關(guān)；

23、m個供電開關(guān)均包括第一連接端、第二連接端、受控端與接地端；m個所述供電開關(guān)的第一連接端分別與m個所述電壓源一一對應(yīng)連接；m個所述供電開關(guān)的第二連接端均與所述公共電極連接；m個所述供電開關(guān)的受控端均與所述驅(qū)動電路連接；m個所述供電開關(guān)的接地端均接地；

24、所述供電接地開關(guān)包括第一連接端、接地端與受控端；所述供電接地開關(guān)的第一連接端與所述公共電極連接；所述供電接地開關(guān)的接地端接地；所述供電接地開關(guān)的受控端與所述驅(qū)動電路連接。

25、可選地，所述測試開關(guān)電路包括m組測試子開關(guān)電路，m組所述測試子開關(guān)電路的第一端與m個所述電流測試電路一一對應(yīng)連接；其中，每組所述測試子開關(guān)電路均包括隔離開關(guān)電路與選通開關(guān)電路；

26、所述隔離開關(guān)電路包括第一開關(guān)與第二開關(guān)；所述第一開關(guān)包括第一連接端、第二連接端、受控端與接地端；所述第二開關(guān)包括第一連接端、接地端與受控端；所述第一開關(guān)的第一連接端與所述測試子開關(guān)電路的第一端連接；所述第一開關(guān)的第二連接端與所述第二開關(guān)的第一連接端連接；所述第一開關(guān)的受控端、所述第二開關(guān)的受控端與所述驅(qū)動電路連接；所述第一開關(guān)的接地端與所述第二開關(guān)的接地端接地；

27、所述選通開關(guān)電路包括k個選通開關(guān)；k個所述選通開關(guān)均包括第一連接端、第二連接端、受控端與接地端；k個所述選通開關(guān)的第一連接端分別與k個被測單元一一對應(yīng)連接；k個所述選通開關(guān)的第二連接端均與所述第一開關(guān)的第二連接端連接；k個所述選通開關(guān)的受控端均與所述驅(qū)動電路連接；k個所述選通開關(guān)的接地端均接地。

28、可選地，所述供電開關(guān)電路還包括m組濾波電路；m組所述濾波電路的輸入端與m個所述電壓源一一對應(yīng)連接；m組所述濾波電路的輸出端與m組所述供電開關(guān)的第一連接端一一對應(yīng)連接。

29、可選地，每組所述濾波電路包括第一電阻、第一電容、第二電阻與第二電容；

30、其中，所述第一電阻的一端連接所述濾波電路的輸入端；所述第一電阻的另一端、所述第一電容的一端與所述第二電阻的一端連接；所述第二電阻的另一端、所述第二電容的一端與所述濾波電路的輸出端連接；所述第一電容的另一端與所述第二電容的另一端接地。

31、本實用新型技術(shù)方案采用一種多通道電流測試裝置，包括電流測試組件、多通道切換組件與控制電路。其中，當(dāng)需要進行大量通道的電流測試時，可以將n個被測單元與多通道切換組件連接，將多通道切換組件與電流測試組件連接，控制電路可以控制多通道切換組件切換電流測試組件與n個被測單元之間的測試通道。當(dāng)當(dāng)前電流測試組件與當(dāng)前被測單元之間的測試通道接通時，控制電路可以控制電流測試組件對當(dāng)前被測單元進行電流測試，當(dāng)當(dāng)前被測單元測試完成后，控制可以控制多通道切換組件切換下一電流測試組件與下一被測單元之間的下一測試通道接通，以對下一被測單元進行電流測試。如此，本實用新型可以拓展電流測試組件與n個被測單元之間的測試通道。若電流測試組件包括m個皮安表，每個皮安表連接多通道切換組件中的k個測試通道，則可以對(m*k)個被測單元進行電流測試，其中，n、m、k都為大于或者等于1的正整數(shù)。如此，本實用新型可以實現(xiàn)大量通道的漏電流測試。