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用于零攝氏度以下固體介質(zhì)空間電荷測(cè)量的電極系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12879675閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于零攝氏度以下固體介質(zhì)空間電荷測(cè)量的電極系統(tǒng),其特征在于,包括:上電極裝置、下電極裝置以及分別與之相連的外圍設(shè)備裝置,其中:上電極裝置包括:耐低溫O型圈、外金屬罩、設(shè)置于金屬罩內(nèi)的半導(dǎo)電片和上圓柱下圓盤(pán)結(jié)構(gòu)的上電極;下電極裝置包括:熱電偶、寬頻放大器、下電極板、開(kāi)設(shè)于下電極板下方的液氮環(huán)形通道、位于環(huán)形結(jié)構(gòu)內(nèi)的壓電傳感器和電加熱圈;外圍設(shè)備裝置包括:真空泵、液氮杜瓦罐和溫度控制器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的耐低溫O型圈沿外金屬罩的底邊設(shè)置,上電極的下表面與半導(dǎo)電片的上表面緊密接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的壓電傳感器緊貼下電極板的下表面,寬頻放大器與壓電傳感器相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的熱電偶埋設(shè)于下電極板上方,電加熱圈環(huán)繞壓電傳感器設(shè)置,并與壓電傳感器通過(guò)下電極板的延伸部分隔開(kāi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的所述的外金屬罩的頂部?jī)?nèi)側(cè)與圓柱的伸出部分之間設(shè)有相配合的上電極絕緣盤(pán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的耐低溫O型圈與下電極板緊密接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的外金屬罩內(nèi)放置試樣,試樣的上表面與半導(dǎo)電片緊密接觸,下表面與下電極板的上表面緊密接觸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極系統(tǒng),其特征是,所述的溫度控制器與設(shè)置與下電極板上且正對(duì)試樣的測(cè)溫?zé)犭娕枷噙B。

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