本實(shí)用新型涉及測量硅材料電阻率的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭。

背景技術(shù)：

在光伏行業(yè)內(nèi)多晶硅鑄錠或是單晶拉制需要將一些細(xì)碎硅料作為原料，在使用之前，必須嚴(yán)格控制這些細(xì)碎硅料的電阻率，硅材料的電阻率是一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo)。通過檢測導(dǎo)電材料的電阻率分布可以對材料的加工過程進(jìn)行控制或者區(qū)分成品材料的應(yīng)用范圍。市場上常用的測量硅材料電阻率的技術(shù)設(shè)備屬于臺(tái)式設(shè)備，需要上位PC機(jī)，存在設(shè)備體積大、不方便、效率低等問題。

目前，測量硅料電阻率的改進(jìn)方法多用接觸式如四探針法，如公開號為 CN101852827A的中國專利公開了一種硅材料電阻率語音測試筆，該發(fā)明是由1342針?biāo)奶结?、電子電路部份及語音發(fā)聲播放部分組成；電子電路部分由電源及升壓電路部分、恒流源及探頭電路部分、運(yùn)算放大電路及語音發(fā)聲播放部分所構(gòu)成；本測試筆由于采用測量/校厚(轉(zhuǎn)換開關(guān))，所以測試時(shí)能根據(jù)硅材料的具體厚薄大小情況進(jìn)行調(diào)試設(shè)定，采用集成運(yùn)算放大電路芯片MAX4166具有低電壓關(guān)閉模式，干電池供電，安全系數(shù)高，測得電阻率值可實(shí)時(shí)語音播報(bào)，且具制造簡單，造價(jià)低廉等優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的電阻率檢測方法很難應(yīng)用于各種高溫高壓的環(huán)境，也不能滿足無接觸檢測的需求。所以迫切發(fā)展一種能夠在惡劣環(huán)境下或者測量薄片的情況下無接觸檢測材料電阻率的檢測方法。

倘若不考慮被測硅料不受大小、形狀，表面平整度，表面粗糙度等因素的影響，需要采用非接觸測量方法和設(shè)備或儀器，即只需將探頭接近硅材料，就可得到被測硅材料的電阻率。渦流檢測是建立在電磁感應(yīng)基礎(chǔ)上的一種無損檢測方法，通常由３部分組成，即有交變電流通過的檢測線圈、檢測電流儀器和被檢測的導(dǎo)電體。渦流檢測的實(shí)質(zhì)是檢測線圈阻抗的變化。渦流法電阻率檢測是一種通過計(jì)算渦流感應(yīng)的反饋量對被檢測物進(jìn)行無接觸檢測的方法。此方法廣泛用于非接觸條件下的電阻率測量，其原理是：當(dāng)載有交變電流的檢測線圈靠近被測導(dǎo)體，由于線圈上交變磁場的作用，被測導(dǎo)體感應(yīng)出渦流并產(chǎn)生與原磁場方向相反的磁場，部分抵消原磁場，導(dǎo)致檢測線圈電阻和電感變化。線圈阻抗的變化包含了豐富的信息，所以如何從阻抗信號中提取出有用信息以推算被測半導(dǎo)體的電阻率是檢測中的一個(gè)關(guān)鍵問題。根據(jù)渦流法電阻率檢測具有無接觸、精度高、成本低、檢測速度快、能夠在惡劣環(huán)境下工作等特點(diǎn)。關(guān)于非接觸式檢測半導(dǎo)體硅材料電阻率的測試設(shè)備及其儀器，目前也有文獻(xiàn)報(bào)道，公開號為CN202052624U的中國專利一種硅料分選裝置，該實(shí)用新型涉及光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域的一種硅料分選裝置，尤其是一種將正常硅料與金屬或重?fù)焦枇戏蛛x的渦流裝置；該裝置設(shè)有渦流探測器和分離機(jī)構(gòu)，當(dāng)硅料中混有金屬或重?fù)焦枇蠒r(shí)，會(huì)在其內(nèi)部產(chǎn)生渦流，引發(fā)渦流探測器發(fā)出報(bào)警聲，再通過分離機(jī)構(gòu)將金屬或重?fù)焦枇吓c正常硅料分離；通過本實(shí)用新型提供的硅料分選裝置，能夠?qū)⒐枇现谢煊械慕饘倩蛑負(fù)焦枇蠌氐壮ィ诌x得到的硅料可再次用作多晶硅鑄錠的原料；又如公開號為CN203941234U的中國專利一種太陽能硅片電阻率電渦流測試裝置，本實(shí)用新型涉及一種太陽能硅片電阻率電渦流測試裝置，包括電渦流激勵(lì)器f1，激勵(lì)太陽能硅片并在太陽能硅片表面形成渦流；電渦流傳感器，感應(yīng)渦流生成電流信號和電壓信號；電流信號和電壓信號依次經(jīng)過信號采集器、差頻器、中頻放大器、檢波及低通電路、直流放大器處理，最后得到電流和電壓的模擬量。本實(shí)用新型電渦流傳感器感應(yīng)硅片上形成的渦流生成電流信號和電壓信號，然后依次經(jīng)過傳輸、差頻、中頻放大、檢波及低通、直流放大，最后得到電壓和電流的模擬量計(jì)算出太陽能硅片的電阻率；本實(shí)用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)，架構(gòu)清晰、電路結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)調(diào)整、涉用儀器、儀表少、方便快捷，具有工作穩(wěn)定、重復(fù)性好、使用壽命長和成本低的優(yōu)點(diǎn)。

目前測量硅材料電阻率的技術(shù)設(shè)備存在的不足之處在于：

（1）市場上普遍采用的測量硅材料電阻率探頭多用接觸式三探針或四探針，配合使用的設(shè)備屬于臺(tái)式設(shè)備，采用220V交流供電，電路板不夠集成化，體積過大，不易攜帶，使用不便，功耗較大，并且存在安全問題；另外，對于一些單晶、多晶薄片采用接觸式四探針法也無法進(jìn)行測量，很容易損壞薄片；（2）公開號為 CN101852827A的硅材料電阻率語音測試筆雖然具備測試電阻率功能，必須接觸硅材料，并施加一定力度，存在測量薄硅片時(shí)易造成硅片斷裂現(xiàn)象，同時(shí)需要定期更換4根磨損的探針，造成成本增加；(3)公開號為CN202052624U的中國專利一種硅料分選裝置采用了非接觸測量技術(shù)，只是用來實(shí)現(xiàn)硅料與金屬或重?fù)焦枇戏蛛x的渦流裝置，體積過大，不易攜帶，使用不便，功耗較大；(4)公開號為CN203941234U的中國專利一種太陽能硅片電阻率電渦流測試裝置采用了非接觸測量技術(shù)，但沒有采用集成電路技術(shù)，電路設(shè)計(jì)比較復(fù)雜，不易攜帶，使用不便。因此有必要提出一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)及設(shè)備的不足，對硅材料進(jìn)行非接觸電阻率測試，滿足便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀的測量要求，本實(shí)用新型提供了一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題的技術(shù)方案為：

一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，包括固線器、保護(hù)蓋、電路板保護(hù)筒、連接帽、銅線圈保護(hù)筒、渦流銅線圈、屏蔽導(dǎo)線、電路板、導(dǎo)線組，其特征在于所述電路板保護(hù)筒呈圓柱型，內(nèi)部設(shè)置電路板，其外部一側(cè)面呈平面，在所述平面一端設(shè)置聲音孔，所述聲音孔另一側(cè)設(shè)置3個(gè)LED燈孔，所述LED燈孔另一側(cè)并列設(shè)置2個(gè)數(shù)碼管；所述電路板保護(hù)筒一端通過螺紋連接設(shè)置保護(hù)蓋，另一端通過螺紋連接設(shè)置連接帽；所述保護(hù)蓋另一端設(shè)置固線器，固線器內(nèi)部設(shè)置導(dǎo)線組，所述導(dǎo)線組一端與電路板電連接，另一端連接外部主機(jī)；所述連接帽另一端通過螺紋連接設(shè)置銅線圈保護(hù)筒；所述銅線圈保護(hù)筒內(nèi)部孔一端設(shè)置尼龍圓柱，尼龍圓柱另一側(cè)設(shè)置銅線圈尼龍固定殼，銅線圈尼龍固定殼與銅線圈保護(hù)筒內(nèi)部孔螺紋連接；所述銅線圈尼龍固定殼內(nèi)部設(shè)置渦流銅線圈，渦流銅線圈設(shè)置在鐵氧體圓柱外側(cè)，所述銅線圈尼龍固定殼另一側(cè)設(shè)置橡膠墊片；所述銅線圈保護(hù)筒另一側(cè)設(shè)置亞克力防護(hù)板；所述渦流銅線圈通過兩根屏蔽導(dǎo)線電連接電路板。

所述的電路板包括主機(jī)信號接口模塊、LED燈提示電路模塊、發(fā)聲電路模塊、數(shù)碼管電路模塊；所述主機(jī)信號接口模塊通過導(dǎo)線組與可提供電壓源的外部便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀主機(jī)電連接；所述主機(jī)信號接口模塊與所述LED燈提示電路模塊、發(fā)聲電路模塊、數(shù)碼管電路模塊電連接。

所述的主機(jī)信號接口模塊包括4線接線端子JP1、5線接線端子JP2；所述5線接線端子JP2的四號引腳連接VCC5V電壓端子，其五號引腳接地。所述LED燈提示電路模塊包括電阻R1、電阻R3、電阻R4、LED燈1、LED燈2、LED燈3；所述的LED燈1、LED燈2、LED燈3負(fù)極均接地，正極分別串聯(lián)電阻R1、電阻R3、電阻R4；所述電阻R1另一端電連接4線接線端子JP1的四號引腳；所述電阻R3另一端電連接5線接線端子JP2的一號引腳；所述電阻R4另一端電連接5線接線端子JP2的二號引腳。

所述發(fā)聲電路模塊包括三極管Q1、喇叭LS1、電阻R8、電阻R9；所述三極管Q1的三號發(fā)射極引腳接地，其一號集電極引腳連接喇叭LS1的二號引腳其二號基極引腳串聯(lián)電阻R8后電連接5線接線端子JP2的三號引腳；所述喇叭LS1的二號引腳串聯(lián)電阻R9后連接喇叭LS1的一號引腳，所述喇叭LS1的一號引腳連接VCC5V電壓端子。

所述數(shù)碼管電路模塊包括數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1、數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2、數(shù)碼管DS1、數(shù)碼管DS2、電阻R2、電阻R5、電阻R6、電阻R7，兩個(gè)數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片型號均為75HC595芯片，兩個(gè)數(shù)碼管型號為Dpy Amber-CA；所述數(shù)碼管DS1一側(cè)的一、六號引腳分別串聯(lián)電阻R2、電阻R5后連接5線接線端子JP2四號引腳的VCC5V電壓端子，數(shù)碼管DS1另一側(cè)的九、八、五、四、二、三、七號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1的一、二、三、四、五、六、七號引腳，數(shù)碼管DS1的十號引腳懸空；所述數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1的十六號引腳接VCC5V電壓端子，其十五號引腳懸空，十四號引腳SDA連接4線接線端子JP1的二號引腳，十三號引腳接地，十二號引腳RCK連接4線接線端子JP1的三號引腳,十一號引腳SCK連接4線接線端子JP1的一號引腳，其九、十號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的十四、十號引腳；所述數(shù)碼管DS2一側(cè)的一、六號引腳分別串聯(lián)電阻R6、電阻R7后連接5線接線端子JP2四號引腳的VCC5V電壓端子，數(shù)碼管DS1另一側(cè)的九、八、五、四、二、三、七號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的一、二、三、四、五、六、七號引腳，數(shù)碼管DS2的十號引腳懸空；所述數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的十六號引腳接VCC5V電壓端子，其十五號引腳懸空，十三號引腳接地，十二號引腳RCK連接4線接線端子JP1的三號引腳,十一號引腳SCK連接4線接線端子JP1的一號引腳，九號引腳懸空。

所述導(dǎo)線組包括兩根屏蔽導(dǎo)線、九根信號導(dǎo)線；所述屏蔽導(dǎo)線為直徑1mm的屏蔽線；所述九根信號導(dǎo)線與4線接線端子JP1的四個(gè)端子、5線接線端子JP2的五個(gè)端子電連接；所述探頭與便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀同時(shí)使用，二者通過導(dǎo)線組電連接。

所述探頭的測量范圍為0.001～200ΩCM，測試精度為5%。

所述便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭的使用方法,其特征在于：包括開機(jī)準(zhǔn)備方法、電阻率測試方法，

開機(jī)準(zhǔn)備方法：先將所述探頭連接在便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀上；打開所述測試儀主機(jī)電源開關(guān)，待主機(jī)屏幕出現(xiàn)開機(jī)畫面至電阻率測量界面，開機(jī)完成且可正常工作；拿起所述測量探頭，探頭中部有三個(gè)LED燈，最左側(cè)的為電源指示燈，常亮狀態(tài)，說明探頭供電正常；中間LED燈為可測量指示燈，頻率閃爍狀態(tài)，說明隨時(shí)可以測量。

電阻率測試方法：一手持所述測試儀，一手持該探頭，只需把探頭靠近硅材料，不需接觸硅材料；最右側(cè)LED燈為測量完成燈，當(dāng)測得硅材料結(jié)果后此LED燈會(huì)亮起，同時(shí)中間測量閃爍燈關(guān)閉；這時(shí)在探頭中部兩位數(shù)碼會(huì)顯示被測硅材料的電阻率，數(shù)值為兩位有效數(shù)字，同時(shí)在測試儀主機(jī)屏幕上顯示被測硅材料的精確電阻率；通過語音可辨別重?fù)叫汀?/p>

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在：本實(shí)用新型一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，包括固線器、保護(hù)蓋、電路板保護(hù)筒、連接帽、銅線圈保護(hù)筒、渦流銅線圈、屏蔽導(dǎo)線、電路板、導(dǎo)線組、主機(jī)信號接口模塊、LED燈提示電路模塊、發(fā)聲電路模塊、數(shù)碼管電路模塊；本實(shí)用新型采用非接觸式測量，即使用渦流測量探頭，且利用探頭銅線圈產(chǎn)生的渦流來檢測電阻率，常溫下測試范圍為0.001--200ΩCM，測試精度為5%，功耗低；在探頭中部兩位數(shù)碼會(huì)顯示被測硅材料的電阻率，數(shù)值為兩位有效數(shù)字，同時(shí)在測試儀主機(jī)屏幕上顯示被測硅材料的精確電阻率；通過語音可辨別重?fù)叫?；使用壽命遠(yuǎn)高于比市場上的同類產(chǎn)品，效果顯著。

附圖說明

圖1 為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2 為本實(shí)用新型的電路模塊整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3 為本實(shí)用新型的電路原理圖。

附圖中：100.固線器，200.保護(hù)蓋，300.電路板保護(hù)筒，301.聲音孔，302.LED燈孔，303.數(shù)碼管，400.連接帽、500.銅線圈保護(hù)筒，501.尼龍圓柱，502.銅線圈尼龍固定殼，503.橡膠墊片、504.亞克力防護(hù)板，600.渦流銅線圈，601.鐵氧體圓柱，700.屏蔽導(dǎo)線，800.電路板，801.主機(jī)信號接口模塊，802.LED燈提示電路模塊，803.發(fā)聲電路模塊，804.數(shù)碼管電路模塊，900.導(dǎo)線組。

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖1至圖3對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)描述，以便公眾更好地掌握本實(shí)用新型的實(shí)施方法，本實(shí)用新型具體的實(shí)施方案為：

如圖 1所示，本實(shí)用新型所述的一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，包括固線器100、保護(hù)蓋200、電路板保護(hù)筒300、連接帽400、銅線圈保護(hù)筒500、渦流銅線圈600、屏蔽導(dǎo)線700、電路板800、導(dǎo)線組900，其特征在于所述電路板保護(hù)筒300呈圓柱型，內(nèi)部設(shè)置電路板800，其外部一側(cè)面呈平面，在所述平面一端設(shè)置聲音孔301，所述聲音孔301另一側(cè)設(shè)置3個(gè)LED燈孔302，所述LED燈孔302另一側(cè)并列設(shè)置2個(gè)數(shù)碼管303；所述電路板保護(hù)筒300一端通過螺紋連接設(shè)置保護(hù)蓋200，另一端通過螺紋連接設(shè)置連接帽400；所述保護(hù)蓋200另一端設(shè)置固線器100，固線器100內(nèi)部設(shè)置導(dǎo)線組900，所述導(dǎo)線組900一端與電路板800電連接，另一端連接外部主機(jī)；所述連接帽400另一端通過螺紋連接設(shè)置銅線圈保護(hù)筒500；所述銅線圈保護(hù)筒500內(nèi)部孔一端設(shè)置尼龍圓柱501，尼龍圓柱501另一側(cè)設(shè)置銅線圈尼龍固定殼502，銅線圈尼龍固定殼502與銅線圈保護(hù)筒500內(nèi)部孔螺紋連接；所述銅線圈尼龍固定殼502內(nèi)部設(shè)置渦流銅線圈600，渦流銅線圈600設(shè)置在鐵氧體圓柱601外側(cè)，所述銅線圈尼龍固定殼502另一側(cè)設(shè)置橡膠墊片503；所述銅線圈保護(hù)筒500另一側(cè)設(shè)置亞克力防護(hù)板504；所述渦流銅線圈600通過兩根屏蔽導(dǎo)線700電連接電路板800。

如圖 2所示，本實(shí)用新型所述的便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，其特征在于所述電路板800包括主機(jī)信號接口模塊801、LED燈提示電路模塊802、發(fā)聲電路模塊803、數(shù)碼管電路模塊804；所述主機(jī)信號接口模塊801通過導(dǎo)線組900與可提供電壓源的外部便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀主機(jī)電連接；所述主機(jī)信號接口模塊801與所述LED燈提示電路模塊802、發(fā)聲電路模塊803、數(shù)碼管電路模塊804電連接。

如圖 2、圖 3所示，本實(shí)用新型所述的便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，其特征在于所述主機(jī)信號接口模塊801包括4線接線端子JP1、5線接線端子JP2；所述5線接線端子JP2的四號引腳連接VCC5V電壓端子，其五號引腳接地；

所述LED燈提示電路模塊802包括電阻R1、電阻R3、電阻R4、LED燈1、LED燈2、LED燈3；所述LED燈1、LED燈2、LED燈3負(fù)極均接地，正極分別串聯(lián)電阻R1、電阻R3、電阻R4；所述電阻R1另一端電連接4線接線端子JP1的四號引腳；所述電阻R3另一端電連接5線接線端子JP2的一號引腳；所述電阻R4另一端電連接5線接線端子JP2的二號引腳；

所述發(fā)聲電路模塊803包括三極管Q1、喇叭LS1、電阻R8、電阻R9；所述三極管Q1的三號發(fā)射極引腳接地，其一號集電極引腳連接喇叭LS1的二號引腳其二號基極引腳串聯(lián)電阻R8后電連接5線接線端子JP2的三號引腳；所述喇叭LS1的二號引腳串聯(lián)電阻R9后連接喇叭LS1的一號引腳，所述喇叭LS1的一號引腳連接VCC5V電壓端子；

所述數(shù)碼管電路模塊804包括數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1、數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2、數(shù)碼管DS1、數(shù)碼管DS2、電阻R2、電阻R5、電阻R6、電阻R7，兩個(gè)數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片型號均為75HC595芯片，兩個(gè)數(shù)碼管型號為Dpy Amber-CA；所述數(shù)碼管DS1一側(cè)的一、六號引腳分別串聯(lián)電阻R2、電阻R5后連接5線接線端子JP2四號引腳的VCC5V電壓端子，數(shù)碼管DS1另一側(cè)的九、八、五、四、二、三、七號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1的一、二、三、四、五、六、七號引腳，數(shù)碼管DS1的十號引腳懸空；所述數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P1的十六號引腳接VCC5V電壓端子，其十五號引腳懸空，十四號引腳SDA連接4線接線端子JP1的二號引腳，十三號引腳接地，十二號引腳RCK連接4線接線端子JP1的三號引腳,十一號引腳SCK連接4線接線端子JP1的一號引腳，其九、十號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的十四、十號引腳；

所述數(shù)碼管DS2一側(cè)的一、六號引腳分別串聯(lián)電阻R6、電阻R7后連接5線接線端子JP2四號引腳的VCC5V電壓端子，數(shù)碼管DS1另一側(cè)的九、八、五、四、二、三、七號引腳分別連接數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的一、二、三、四、五、六、七號引腳，數(shù)碼管DS2的十號引腳懸空；所述數(shù)碼管驅(qū)動(dòng)芯片P2的十六號引腳接VCC5V電壓端子，其十五號引腳懸空，十三號引腳接地，十二號引腳RCK連接4線接線端子JP1的三號引腳,十一號引腳SCK連接4線接線端子JP1的一號引腳，九號引腳懸空。

如圖 1、圖 3所示，本實(shí)用新型所述的便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，其特征在于所述導(dǎo)線組900包括兩根屏蔽導(dǎo)線700、九根信號導(dǎo)線；所述屏蔽導(dǎo)線700為直徑1mm的屏蔽線；所述九根信號導(dǎo)線與4線接線端子JP1的四個(gè)端子、5線接線端子JP2的五個(gè)端子電連接；所述探頭與便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀同時(shí)使用，二者通過導(dǎo)線組（900）電連接。

如圖 1所示，本實(shí)用新型所述的便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，其特征在于所述探頭采用非接觸式測量，且利用探頭銅線圈產(chǎn)生的渦流來檢測電阻率，銅線圈連接2根直徑1MM的屏蔽線；常溫下測試范圍為0.001--200ΩCM，測試精度為5%。

實(shí)施例1

如圖1所示，作為優(yōu)選最佳實(shí)施方式，包括以下步驟：

步驟1：開機(jī)準(zhǔn)備。先將所述探頭連接在便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀上；打開所述測試儀主機(jī)電源開關(guān)，待主機(jī)屏幕出現(xiàn)開機(jī)畫面至電阻率測量界面，開機(jī)完成且可正常工作；拿起所述測量探頭，探頭中部有三個(gè)LED燈，最左側(cè)的為電源指示燈，常亮狀態(tài)，說明探頭供電正常；中間LED燈為可測量指示燈，頻率閃爍狀態(tài)，說明隨時(shí)可以測量。

步驟2：電阻率測試。一手持所述測試儀，一手持該探頭，只需把探頭靠近硅材料，不需接觸硅材料；最右側(cè)LED燈為測量完成燈，當(dāng)測得硅材料結(jié)果后此LED燈會(huì)亮起，同時(shí)中間測量閃爍燈關(guān)閉；這時(shí)在探頭中部兩位數(shù)碼會(huì)顯示被測硅材料的電阻率，數(shù)值為兩位有效數(shù)字，同時(shí)在測試儀主機(jī)屏幕上顯示被測硅材料的精確電阻率；通過語音可辨別重?fù)叫?。常溫下測試范圍為0.001--200ΩCM，測試精度為5%。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在：本實(shí)用新型一種便攜式半導(dǎo)體非接觸電阻率測試儀探頭，包括固線器、保護(hù)蓋、電路板保護(hù)筒、連接帽、銅線圈保護(hù)筒、渦流銅線圈、屏蔽導(dǎo)線、電路板、導(dǎo)線組、主機(jī)信號接口模塊、LED燈提示電路模塊、發(fā)聲電路模塊、數(shù)碼管電路模塊；本實(shí)用新型采用非接觸式測量，即使用渦流測量探頭，且利用探頭銅線圈產(chǎn)生的渦流來檢測電阻率，常溫下測試范圍為0.001--200ΩCM，測試精度為5%，功耗低；在探頭中部兩位數(shù)碼會(huì)顯示被測硅材料的電阻率，數(shù)值為兩位有效數(shù)字，同時(shí)在測試儀主機(jī)屏幕上顯示被測硅材料的精確電阻率；通過語音可辨別重?fù)叫?；使用壽命遠(yuǎn)高于比市場上的同類產(chǎn)品，效果顯著。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。