1.干涉儀測量系統(tǒng)定位測頭,其特征是,其包括雙觸頭測量表(1)、表架(2)和六維調(diào)整架(3),表架(2)上表面設(shè)置凹槽,雙觸頭測量表(1)設(shè)置在表架(2)的凹槽內(nèi),表架(2)的下端與六維調(diào)整架(3)螺紋連接,六維調(diào)整架(3)可調(diào)整表架(2)的精確位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀測量系統(tǒng)定位測頭,其特征在于,六維調(diào)整架(3)與干涉儀導軌上的光柵尺載物臺(4)螺紋連接。