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一種寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀的制作方法

文檔序號:11405037閱讀:184來源:國知局
一種寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀的制造方法與工藝

本實用新型是關(guān)于一種寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀,涉及大氣環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測領(lǐng)域。



背景技術(shù):

光腔衰蕩光譜是一種高靈敏的光譜檢測手段,廣泛應(yīng)用于大氣中痕量氣體濃度和氣溶膠消光特性的檢測。在特定波長下,它可以根據(jù)氣體的特征吸收檢測氣體的濃度,此外,在得知顆粒物的粒徑和濃度后,也可應(yīng)用于檢測氣溶膠的消光截面和折射率等參數(shù)。光腔衰蕩光譜技術(shù)作為一種全新的、高靈敏的激光光譜技術(shù),與傳統(tǒng)吸收光譜中探測透射光強度的變化不同,光腔衰蕩光譜測定的對象是光腔內(nèi)光強衰減的速度。光在諧振腔內(nèi)的強度隨時間呈現(xiàn)自然指數(shù)衰減。對于一個給定的諧振腔,在一定的激光頻率下,衰蕩時間為一個定值。它只與諧振腔的腔長、高反鏡的反射率和腔內(nèi)介質(zhì)的損耗有關(guān),與入射光初始光強無關(guān)。這就避免了傳統(tǒng)吸收光譜中光源光強波動對檢測結(jié)果的影響。更為重要的是,由于光束在諧振腔內(nèi)往返震蕩,大大提高了光程。作為一種可提供長光程,對激光穩(wěn)定性要求低,無需校準的絕對方法,光腔衰蕩光譜無論在實驗室研究以及外場觀測都得到了廣泛應(yīng)用。

但是,目前所使用的光腔衰蕩光譜多為單波長或覆蓋很窄的波段,限制了它的廣泛應(yīng)用。單波長最多只能用于檢測一種痕量氣體,而且只能給出該波長下氣溶膠的消光系數(shù),無法給出寬波段范圍內(nèi)氣溶膠光學性質(zhì)的光譜分辨。然而,太陽光的波譜范圍寬廣,不同波段下氣溶膠的光學性質(zhì)卻不盡相同,比如在紫外波段,很多有機氣溶膠存在光吸收。另外,大部分氣溶膠的折射率與波長相關(guān),因此,覆蓋寬波段的光腔衰蕩光譜具有重要的應(yīng)用價值。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對上述問題,本實用新型的目的是提供一種能夠在350~870nm波長范圍內(nèi)的氣溶膠光學性質(zhì)的高靈敏檢測的寬波段可調(diào)諧的光腔衰蕩光譜。

為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采取以下技術(shù)方案:一種寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀,其特征在于,該光腔衰蕩光譜儀包括寬波段可調(diào)諧激光光源、光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)、光路自動切換系統(tǒng)、光學諧振腔陣列和光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng);所述寬波段可調(diào)諧激光光源用于實現(xiàn)不同波長下激光的輸出;所述光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于對不同波長激光光強進行均一;所述光路自動切換系統(tǒng)用于使得經(jīng)所述寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的各種波長的激光均能發(fā)射到相對應(yīng)某個波長范圍的所述光學諧振腔陣列內(nèi)的光學諧振腔中;所述光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于接收和記錄經(jīng)所述光學諧振腔陣列出射的激光,同時記錄經(jīng)所述寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的激光波長。

優(yōu)選地,所述寬波段可調(diào)諧激光光源包括激光器、光參量振蕩器和控制器,所述激光器將產(chǎn)生的泵浦激光發(fā)送到所述光參量振蕩器,所述控制器根據(jù)試驗所需波長控制所述光參量振蕩器內(nèi)的晶體和棱鏡自動轉(zhuǎn)到指定位置實現(xiàn)激光波長的選擇性輸出,同時所述控制器將所選擇的波長信息發(fā)送到所述光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集器內(nèi)進行記錄,經(jīng)所述光參量振蕩器輸出的某一波長的激光發(fā)射到所述光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)進行光強調(diào)節(jié)。

優(yōu)選地,當所述光參量振蕩器輸出的激光為紫外光時,所述光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括一光闌和一連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片,經(jīng)所述光參量振蕩器輸出的激光發(fā)送到所述光闌收縮光束,經(jīng)所述光闌出射的激光發(fā)射到所述光學諧振腔。

優(yōu)選地,當所述光參量振蕩器輸出的激光為可見光或紅外光時,所述光強調(diào)節(jié)光路包括一反射型中性密度濾波片、一光闌和一連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片,經(jīng)所述光參量振蕩器輸出的激光先經(jīng)所述反射型中性密度濾波片將光強進行一次衰減,經(jīng)所述反射型中性密度濾波片出射光經(jīng)所述光闌收縮光束后再經(jīng)所述連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片調(diào)節(jié)光強發(fā)射到所述光路自動切換系統(tǒng)。

優(yōu)選地,所述光路自動切換系統(tǒng)包括若干電動升降光路反射鏡,每一所述電動升降光路反射鏡均通過一升降鏡架支撐固定,每一所述升降鏡架均通過一電纜電連接所述控制器,所述升降鏡架內(nèi)置馬達,經(jīng)所述光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)輸出的激光反射到某一所述升降光路反射鏡,所述控制器通過控制所述電纜調(diào)節(jié)相應(yīng)所述升降鏡架的降落或升起,從而使激光經(jīng)某一電動升降光路反射鏡反射進入相應(yīng)的光學諧振腔。

優(yōu)選地,所述光學諧振腔陣列包括若干縱向平行間隔設(shè)置的光學諧振腔,若干不同的所述光學諧振腔的兩端固定設(shè)置有若干組不同波長的高反射鏡片,每一所述光學諧振腔的腔體兩端固定設(shè)置有用于放置所述高反射鏡的可調(diào)高反鏡架,位于兩所述高反射鏡的一側(cè)下部別設(shè)置有吹掃氣流管用于進入吹掃氣流對所述高反射鏡進行吹掃,對應(yīng)所述高反射鏡的位置,所述光學諧振腔上還分別設(shè)置有光腔進氣口和光腔出氣口,所述光學諧振腔體內(nèi)部兩側(cè)還設(shè)置有隔離模塊。

優(yōu)選地,所述光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括與所述光學諧振腔數(shù)量相同的聚焦透鏡、一分束光纖、一光電倍增管、一示波器和一數(shù)據(jù)采集器,經(jīng)所述光學諧振腔出射的激光經(jīng)所述聚焦透鏡聚焦到所述分束光纖的中心,所述分束光纖將出射的激光匯集所述光電倍增管,經(jīng)所述光電倍增管進行光電轉(zhuǎn)換的信號分別發(fā)送到所述示波器和數(shù)據(jù)采集器,同時,所述控制器將經(jīng)所述光參量振蕩器輸出的激光波長發(fā)送到所述數(shù)據(jù)采集器內(nèi)。

優(yōu)選地,所述數(shù)據(jù)采集器采用裝設(shè)有高速數(shù)據(jù)采集卡的計算機。

本實用新型由于采取以上技術(shù)方案,其具有以下優(yōu)點:1、本實用新型由于設(shè)置有光路自動切換系統(tǒng),使得經(jīng)寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的各種波長的激光均能發(fā)射到相對應(yīng)的某個波長范圍的光學諧振腔陣列內(nèi)的光學諧振腔中,因此可以實現(xiàn)在350~870nm波長范圍內(nèi)的氣溶膠光學性質(zhì)的高靈敏檢測。2、本實用新型由于設(shè)置有寬波段可調(diào)諧激光光源,用于實現(xiàn)不同波長下激光的輸出,通過光路自動切換系統(tǒng)可以測量多種痕量氣體的濃度。3、本實用新型可以實現(xiàn)不同波長下測量的快速切換也可以實現(xiàn)波段范圍的自動掃描。本實用新型可以廣泛應(yīng)用于對350~870nm波長范圍內(nèi)的氣溶膠光學性質(zhì)進行高靈敏檢測。

附圖說明

圖1是本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實用新型的光學諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖來對本實用新型進行詳細的描繪。然而應(yīng)當理解,附圖的提供僅為了更好地理解本實用新型,它們不應(yīng)該理解成對本實用新型的限制。

本實用新型提供的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀,包括寬波段可調(diào)諧激光光源、光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)、光路自動切換系統(tǒng)、光學諧振腔陣列和光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。其中,寬波段可調(diào)諧激光光源用于實現(xiàn)不同波長下激光的輸出,本實用新型的寬波段可調(diào)諧激光光源可以輸出紫外光或可見光和紅外光。光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)用于實現(xiàn)不同波長激光光強的均一,避免某一波段下過大的光強損傷光學諧振腔中高反射鏡鍍膜。光路自動切換系統(tǒng)用于使得經(jīng)寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的各種波長的激光均能發(fā)射到相對應(yīng)的某個波長范圍的光學諧振腔陣列內(nèi)的光學諧振腔中。光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于接收和記錄經(jīng)光學諧振腔陣列出射的激光,同時記錄經(jīng)寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的激光波長。

在一個優(yōu)選的實施例中,寬波段可調(diào)諧激光光源包括激光器1、光參量振蕩器2和控制器3,本實用新型實施例中的激光器3可以采用Nd:YAG激光器,以此為例,不限于此,Nd:YAG激光器1將產(chǎn)生355nm的泵浦激光發(fā)送到光參量振蕩器2,控制器3根據(jù)試驗所需波長控制光參量振蕩器2內(nèi)的晶體和棱鏡自動轉(zhuǎn)到指定位置實現(xiàn)激光波長的選擇性輸出,同時控制器3將所選擇的波長信息發(fā)送到光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集器內(nèi)進行記錄,經(jīng)光參量振蕩器2輸出的某一波長的激光經(jīng)光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)節(jié)光強后并經(jīng)兩光路反射鏡4反射進入到相應(yīng)的光學諧振腔內(nèi)。

在一個優(yōu)選的實施例中,由于紫外波段激光能量較低,可以直接通過連續(xù)可調(diào)的方式進行光強衰減,當經(jīng)光參量振蕩器2輸出的激光為紫外光時,光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括一光闌5和一連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片6,經(jīng)光參量振蕩器2輸出的激光發(fā)送到光闌5收縮光束,經(jīng)光闌5出射的激光依次經(jīng)兩光路反射鏡4發(fā)射到光學諧振腔。當經(jīng)光參量振蕩器2輸出的激光為可見光或紅外光,光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括一反射型中性密度濾波片7、一光闌8和一連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片9,由于可見光或紅外光能量較高,經(jīng)光參量振蕩器2輸出的激光先經(jīng)反射型中性密度濾波片7將光強進行一次衰減,經(jīng)反射型中性密度濾波片7出射光經(jīng)光闌8收縮光束后再經(jīng)連續(xù)可調(diào)型中性密度濾波片9調(diào)節(jié)光強后發(fā)射到光路反射鏡4。

在一個優(yōu)選的實施例中,光路自動切換系統(tǒng)包括若干電動升降光路反射鏡10,每一電動升降光路反射鏡10均通過一升降鏡架支撐固定,每一升降鏡架均通過一電纜電連接控制器3,升降鏡架內(nèi)置高精度馬達,可實現(xiàn)精準的位置切換和還原。當寬波段可調(diào)諧激光光源輸出的為可見光或紅外光時,經(jīng)光強調(diào)節(jié)系統(tǒng)輸出的激光經(jīng)光路反射鏡4反射到某一電動升降光路反射鏡10,控制器3通過控制電纜調(diào)節(jié)相應(yīng)升降鏡架的降落或升起,從而使激光經(jīng)某一電動升降光路反射鏡10反射進入相應(yīng)的光學諧振腔。當激光器的輸出波長為λ時,控制器判斷λ所屬的波長范圍,然后將該波長范圍所對應(yīng)的升降鏡架控制信號輸出為“1”,該升降鏡架升起;將其他升降鏡架的控制信號均輸出為“0”,其他升降鏡架降下。例如:如果經(jīng)光參量振蕩器輸出的波長為540nm,則波長為515~570nm高反射鏡片的光學諧振腔所對應(yīng)的升降鏡架升起,而所有其他升降鏡架均降下,使波長為540nm激光通過,將激光反射進入此光學諧振腔體。當改變波長超出一組高反射鏡片覆蓋范圍時,需要將光路在不同諧振腔之間切換,采用高精度馬達控制的升降鏡架來使激光通過或被反射,保證光路在切換后不受影響。

在一個優(yōu)選的實施例中,如圖2所示,光學諧振腔陣列包括縱向平行間隔設(shè)置的光學諧振腔11,本實用新型實施例中光學諧振腔的個數(shù)為7個,以此為例,不限于此,7個不同的光學諧振腔11的兩端固定設(shè)置有7組不同波長的高反射鏡片111。每一組高反射鏡片111的反射率應(yīng)在99.9%或以上,本實用新型的7個光學諧振腔所采用的高反射鏡片111的波長分別為350~400nm、410~460nm、465~510nm、515~570nm、580~665nm、670~750nm、760~870nm,但不局限于以上波長范圍。7個光學諧振腔11的結(jié)構(gòu)完全相同,每一光學諧振腔11的腔體兩端固定設(shè)置有用于放置高反射鏡111的可調(diào)高反鏡架112,可以通過微調(diào)螺絲113調(diào)節(jié)可調(diào)高反射鏡架實現(xiàn)對高反射鏡111位置的調(diào)節(jié),位于兩高反射鏡111的一側(cè)下部分別設(shè)置有吹掃氣流管114用于進入吹掃氣流對高反射鏡111進行吹掃。對應(yīng)高反射鏡111的位置,光學諧振腔上還分別設(shè)置有光腔進氣口115和光腔出氣口116,為了防止高反射鏡111被污染,光學諧振腔11內(nèi)部兩側(cè)還設(shè)置有隔離模塊117,用于將氣溶膠氣流與吹掃氣流分開,從而進一步防止當氣溶膠濃度很高或者流量很大時對高反射鏡111的污染。

在一個優(yōu)選的實施例中,如圖1所示,光強檢測及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括與光學諧振腔數(shù)量相同的聚焦透鏡12、分束光纖13、光電倍增管14、示波器15和數(shù)據(jù)采集器16,經(jīng)光學諧振腔11出射的激光經(jīng)聚焦透鏡12聚焦到分束光纖13的中心,分束光纖13將出射的激光匯集光電倍增管14,經(jīng)光電倍增管14進行光電轉(zhuǎn)換的信號分別發(fā)送到示波器15和數(shù)據(jù)采集器16,同時,控制器3將經(jīng)光參量振蕩器2輸出的激光波長發(fā)送到數(shù)據(jù)采集器16內(nèi),數(shù)據(jù)采集器16可以采用采用裝設(shè)有高速數(shù)據(jù)采集卡的計算機。

下面通過具體實施例詳細說明本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀的測量原理。

本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀的測量方法基于朗伯-比爾定律,通過檢測激光在光學諧振腔11內(nèi)的高反射鏡111之間多次反射后光強的衰減,計算光學諧振腔內(nèi)11高反射鏡111之間介質(zhì)的消光系數(shù)。假設(shè)光電倍增管14所檢測到的初始光強為I0,經(jīng)過高反射鏡111多次反射后,光強衰減為I0/e的時間即為衰蕩時間。如果光學諧振腔11腔內(nèi)為零空氣,則將信號視為背景,消光系數(shù)為零,此時所監(jiān)測到的衰蕩時間為τ0。如果光學諧振腔11內(nèi)存在氣溶膠或吸收性氣體,則消光系數(shù)增大,衰蕩時間變短為τ。假設(shè)光腔進氣口115與光腔出氣口116之間的距離為l,兩個高反射鏡片111之間的距離為L,則計算介質(zhì)的消光系數(shù)αext的公式為:

式中,c表示光速。

若采用本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀檢測痕量氣體,得知氣體單位濃度吸收截面σabs的情況下,則可以通過Cgas=αextabs計算氣體濃度Cgas。例如:在380~420nm波長處,可以通過二氧化氮NO2分子的吸收截面(6*10-19cm2)和檢測到的消光系數(shù)來計算污染氣體NO2的濃度;同樣地,在662nm波長處,也可以使用本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀來檢測NO3自由基的濃度。

若采用本實用新型的寬波段可調(diào)諧光腔衰蕩光譜儀檢測氣溶膠,在得知氣溶膠數(shù)濃度N的情況下,即可通過σext=αext/N計算每一個氣溶膠顆粒的消光截面σext,若得知氣溶膠粒徑,還可以進一步計算得到折射率,從而得到氣溶膠的在不同波長下的消光特性。

上述各實施例僅用于說明本實用新型,其中各部件的結(jié)構(gòu)、連接方式和制作工藝等都是可以有所變化的,凡是在本實用新型技術(shù)方案的基礎(chǔ)上進行的等同變換和改進,均不應(yīng)排除在本實用新型的保護范圍之外。

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