1.一種高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，包括經(jīng)過預(yù)排氣處理的測(cè)量管（1）及設(shè)于測(cè)量管（1）外且經(jīng)過預(yù)排氣處理的罩殼（2），所述測(cè)量管（1）與罩殼（2）形成真空腔，所述測(cè)量管（1）與罩殼（2）之間的真空腔的真空度至少達(dá)到3.0e-3Pa。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述測(cè)量管（1）的一端連接有進(jìn)液管（7），所述測(cè)量管的另一端連接有出液管（8），所述進(jìn)液管（7）及出液管（8）均經(jīng)過預(yù)排氣處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述測(cè)量管（1）與罩殼（2）之間的真空區(qū)域內(nèi)設(shè)有低溫吸附劑（3）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述低溫吸附劑（3）為兩個(gè)，分別設(shè)于測(cè)量管（1）的兩端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述低溫吸附劑（3）設(shè)于燒結(jié)濾網(wǎng)內(nèi)部，所述燒結(jié)濾網(wǎng)通過氬弧焊焊接在測(cè)量管（1）或罩殼（2）上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述罩殼（2）上設(shè)有真空密封裝置（4）。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述真空密封裝置（4）包括閥芯（41）、第一密封圈（42）、真空保護(hù)罩（44）及閥座（45），所述閥座（45）為筒形，閥座（45）一端設(shè)于罩殼（2）本體上，閥座（45）的另一端開口的內(nèi)壁設(shè)有錐面（46），所述閥芯（41）為柱形，閥芯（41）的外圓柱面上設(shè)有用于安裝第一密封圈（42）的凹槽，第一密封圈（42）與閥座（45）內(nèi)壁形成密封，閥芯（41）外端部設(shè)有與錐面（46）配合的凸起部（47），所述閥座（45）外部設(shè)有將閥座（45）罩住的真空保護(hù)罩（44）。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述真空保護(hù)罩（44）與閥座（45）之間設(shè)有使得真空保護(hù)罩（44）與閥座（45）之間密封的第二密封圈（43）。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述閥座（45）與第二密封圈（43）配合安裝的外圓柱面及閥座（45）與第一密封圈（42）配合安裝的內(nèi)圓柱面的粗糙度小于或等于0.8。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，所述測(cè)量管（1）與罩殼（2）之間的真空度為4.0e-3Pa～5.0e-5Pa。