本實用新型涉及流量測量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種高真空質(zhì)量流量計。

背景技術(shù)：

目前，用于深冷行業(yè)的質(zhì)量流量計的隔熱為在測量管與罩殼之間填充有保溫隔熱材料，而這種用于深冷行業(yè)的質(zhì)量流量計長期在低溫工況下使用，質(zhì)量流量計的表面容易結(jié)冰，質(zhì)量流量計外部震動及傳感器自身震動發(fā)生改變都會影響其測量精度，因此就會影響其計量性能，降低流量計的測量精度，降低質(zhì)量流量計的精準性，同時質(zhì)量流量計的使用壽命也較短。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述質(zhì)量流量計存在的不足，本實用新型的技術(shù)目的在于提供一種用于深冷行業(yè)的高真空質(zhì)量流量計。

本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，包括經(jīng)過預(yù)排氣處理的測量管及設(shè)于測量管外且經(jīng)過預(yù)排氣處理的罩殼，所述測量管與罩殼形成真空腔，所述測量管與罩殼之間的真空腔的真空度至少達到3.0e-3Pa，所述測量管的一端連接有進液管，所述測量管的另一端連接有出液管，所說進液管及出液管均經(jīng)過預(yù)排氣處理，預(yù)排氣處理是通過真空釬焊爐加熱，并對材料保溫，達到除真空排氣處理，使金屬材料殘存內(nèi)氣體排出金屬體外。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述流量計內(nèi)管與罩殼之間的真空區(qū)域內(nèi)設(shè)有低溫吸附劑。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述低溫吸附劑為兩個，分別設(shè)于流量計內(nèi)管的兩端。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述低溫吸附劑設(shè)于燒結(jié)濾網(wǎng)內(nèi)部，所述燒結(jié)濾網(wǎng)通過氬弧焊焊接在測量管或罩殼上。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述罩殼上設(shè)有真空密封裝置。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述真空密封裝置包括閥芯、第一密封圈、真空保護罩及閥座，所述閥座為筒形，閥座一端設(shè)于罩殼本體上，閥座的另一端開口的內(nèi)壁設(shè)有錐面，所述閥芯為柱形，閥芯的外圓柱面上設(shè)有用于安裝第一密封圈的凹槽，第一密封圈與閥座內(nèi)壁形成密封，閥芯外端部設(shè)有與錐面配合的凸起部，所述閥座外部設(shè)有將閥座罩住的真空保護罩。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述真空保護罩與閥座之間設(shè)有使得真空保護罩與閥座之間密封的第二密封圈。

本實用新型的高真空質(zhì)量流量計，所述閥座與第二密封圈配合安裝的外圓柱面及閥座與第一密封圈配合安裝的內(nèi)圓柱面的粗糙度小于或等于0.8。

本實用新型的有益效果是:

通過對質(zhì)量流量計的罩殼及內(nèi)管進行預(yù)排氣處理，并且使得流量計內(nèi)管與罩殼之間的真空度至少達到3.0e-3Pa，從而在流量計內(nèi)管與罩殼之間形成高真空，從而能夠使得真空質(zhì)量流量計能夠長期在深冷工況下使用，大大降低表面結(jié)冰程度，使得流量計的震動模態(tài)在使用過程中保持一致，進一步保證質(zhì)量流量計性能更加穩(wěn)定可靠，提升其測量精度，也提升了質(zhì)量流量計的使用外觀；通過增加的低溫吸附劑，能夠使得流量計內(nèi)部的真空度的真空狀態(tài)維持10年以上，大大提高質(zhì)量流量計在深冷行業(yè)的使用壽命。

附圖說明

圖1是高真空質(zhì)量流量計的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是真空密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標記：1為測量管、2為罩殼、3為低溫吸附劑、4為真空密封裝置、41為閥芯、42為第一密封圈、43為第二密封圈、44為真空保護罩、45為閥座、46為錐面、47為凸起部、48為卡槽、49為凸環(huán)、5為檢測線圈、6為激勵線圈、7為進液管、8為出液管、9為固定塊。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作詳細描述。

如圖1及圖2所示的高真空質(zhì)量流量計，包括均經(jīng)過預(yù)排氣處理的罩殼2和測量管1，測量管1為兩根，也可為一根，為兩根測量管時，兩測量管1通過固定塊9固定，能夠起到減震作用，所述測量管1呈“U”形結(jié)構(gòu)或三角形結(jié)構(gòu)，三角形結(jié)構(gòu)包括正三角形與倒三角形結(jié)構(gòu)，所述測量管1套設(shè)于罩殼2內(nèi)，且測量管1位于罩殼2的中央，即測量管與罩殼之間的距離相等，測量管1通有低溫介質(zhì)，將測量管1安裝在罩殼2的中央位置，能夠避免測量管1偏移，從而造成的局部低溫，從而引起局部形變及局部應(yīng)力集中，從而影響真空流量計的壽命，而現(xiàn)有的質(zhì)量流量計填充的隔熱保溫材料就會造成此種現(xiàn)象，從而大大降低了質(zhì)量流量計的壽命及質(zhì)量流量計的測量精度，使得質(zhì)量流量計的此類高精度保持時間大大降低；所述測量管1的一端連接有進液管7，所述測量管的另一端連接有出液管8,對進液管7及出液管8進行預(yù)排氣處理，從而能夠使得測量管1與罩殼2之間的腔體長時間保持高真空度狀態(tài)；所述罩殼2呈現(xiàn)“U”形結(jié)構(gòu)，且所述罩殼2的兩端分別與進出液管密封，“U”形的結(jié)構(gòu)能夠使得測量管1在激勵線圈的作用下的震動更線性，使得測量的精度更加精準，所述罩殼2的中部設(shè)有真空密封裝置4，使所述罩殼2內(nèi)形成至少為3.0e-3Pa的真空狀態(tài)，在罩殼2內(nèi)形成的真空狀態(tài)還可為4.0e-3Pa、5.0e-3Pa、1.0e-4Pa、2.0e-4Pa、3.0e-4Pa、4.0e-4Pa、5.0e-4Pa、6.0e-4Pa、7.0e-4Pa、8.0e-4Pa、9.0e-4Pa、1.0e-5Pa、2.0e-5Pa、3.0e-5Pa、4.0e-5Pa、5.0e-5Pa、6.0e-5Pa或7.0e-5Pa，最好為3.0e-5Pa，測量管1內(nèi)通有被測介質(zhì)，流量計的內(nèi)管1上配合安裝有用于檢測內(nèi)管1震動的激勵線圈6及用于檢測內(nèi)管1震動情況的檢測線圈6，再將測得的數(shù)據(jù)通過計算處理，從而測得流體的質(zhì)量。金屬在制造過程中，內(nèi)部均殘存有氣體，氣體以化合物、殘渣、氣泡等形式存在，需要通過真空加熱排除金屬材料內(nèi)氣體；預(yù)排氣處理是通過真空釬焊爐加熱，并對材料保溫，達到除真空排氣處理，真空釬焊爐真空泵可以達到真空度為5.0e-3Pa，使金屬材料殘存內(nèi)氣體排出金屬體外。在質(zhì)量流量計內(nèi)部設(shè)有檢測線圈及激勵線圈，對檢測線圈及激勵線圈也可進行預(yù)排氣處理，使得流量計內(nèi)的真空度能夠保持更長時間，維持其測量的準確性。這種真空質(zhì)量流量計能夠長期在深冷工況下使用，而能夠保證其表面不結(jié)冰，保持其振動模態(tài)的穩(wěn)定性，保證其測量的精確性。

所述測量管1的一端連接有進液管7，所述測量管的另一端連接有出液管8，所說進液管7及出液管8均經(jīng)過預(yù)排氣處理，從而能夠使得流量計的真空度保持更好，持續(xù)時間更長。

所述測量管1與罩殼2之間的真空區(qū)域內(nèi)設(shè)有低溫吸附劑3，在低溫下低溫吸附劑可通過燒結(jié)濾網(wǎng)吸附傳感器內(nèi)部殘余空氣分子，以提高傳感器內(nèi)部真空度。

所述低溫吸附劑3為兩個，分別設(shè)于測量管1的兩端；所述低溫吸附劑3設(shè)于燒結(jié)濾網(wǎng)內(nèi)部，所述燒結(jié)濾網(wǎng)通過氬弧焊焊接在測量管1或罩殼2上，從而能夠便于安裝低溫吸附劑3，并且能夠有利于吸附流量計內(nèi)的氣體。將燒結(jié)濾網(wǎng)設(shè)于罩殼2的內(nèi)壁，能夠避免影響測量管1的震動，以提高測量的精準性。

通過罩殼2上設(shè)有的真空密封裝置4能夠在安裝好低溫吸附劑后，能夠?qū)⒌蜏匚絼┓庋b在流量計內(nèi)，通過粗抽真空，降低低溫吸附劑與大氣的接觸時間，保證低溫吸附劑后續(xù)的真空吸附性能。

所述真空密封裝置4包括閥芯41、第一密封圈42、真空保護罩44及閥座45，所述閥座45為筒形，閥座45一端設(shè)于罩殼2本體上，閥座45的另一端開口的內(nèi)壁設(shè)有錐面46，所述閥芯41為柱形，閥芯41的外圓柱面上設(shè)有用于安裝第一密封圈42的凹槽，第一密封圈42與閥座45內(nèi)壁形成密封，閥芯41外端部設(shè)有與錐面46配合的凸起部47，所述閥座45外部設(shè)有將閥座45罩住的真空保護罩44。

所述真空保護罩44與閥座45之間設(shè)有使得真空保護罩44與閥座45之間密封的第二密封圈43。

所述閥座45與第二密封圈43配合安裝的外圓柱面及閥座45與第一密封圈42配合安裝的內(nèi)圓柱面的粗糙度小于或等于0.8，能夠保證安裝不會破壞密封圈，使得安裝更加順利。

所述真空保護罩44為圓筒型罩，真空保護罩44的內(nèi)壁設(shè)有卡槽48，所述閥座45的外壁面設(shè)有與能夠卡緊在卡槽48內(nèi)的凸環(huán)49，所述凸環(huán)49伸入卡槽48內(nèi)2～5mm，能夠?qū)⒄婵毡Ｗo罩44卡裝載閥座45上。

第一密封圈42與第二密封圈43被擠壓在密封間隙中，并且第一密封圈42與第二密封圈43上涂有高真空硅脂，以提高密封性與安裝潤滑性。在安裝后低溫吸附劑后，對流量計粗抽真空，通過將閥芯41插入到閥座45內(nèi)，形成密封，最后蓋上真空保護罩44。

因此，這種高真空質(zhì)量流量計通過對質(zhì)量流量計的罩殼及內(nèi)管進行預(yù)排氣處理，并且使得測量管與罩殼之間的真空度至少達到3.0e-3Pa，從而在測量管與罩殼之間形成高真空，從而能夠使得真空質(zhì)量流量計能夠長期在深冷工況下使用，大大降低表面結(jié)冰程度使得流量計的震動模態(tài)在使用過程中保持一致，進一步保證質(zhì)量流量計性能更加穩(wěn)定可靠，提升其測量精度，也提升了質(zhì)量流量計的使用外觀；通過增加的低溫吸附劑，能夠使得流量計內(nèi)部的真空度的真空狀態(tài)維持10年以上，大大提高質(zhì)量流量計在深冷行業(yè)的使用壽命。