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微小液滴蒸發(fā)過(guò)程的陣列式檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法

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技術(shù)特征:

1.一種微小液滴蒸發(fā)動(dòng)態(tài)過(guò)程的陣列式檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,該檢測(cè)系統(tǒng)包括加工了微電極陣列的基板(1)和阻抗測(cè)試儀;所述微電極陣列為由各個(gè)微電極結(jié)構(gòu)元組成的陣列,每個(gè)微電極結(jié)構(gòu)元包括暴露在基板(1)表面、可與溶液直接接觸的至少一對(duì)電極(2),電極(2)所在的金屬層分別延展出由絕緣層(3)覆蓋而形成的電極引線(5)、位于基板(1)邊緣的焊盤(pán)(4);電極引線(5)分別與所述電極(2)連接;將構(gòu)成所述微電極陣列的各微電極結(jié)構(gòu)元與所述基板(1)邊緣的焊盤(pán)(4)連接起來(lái),焊盤(pán)(4)用于連接阻抗測(cè)試儀。

2.如權(quán)利要求1所述的微小液滴蒸發(fā)動(dòng)態(tài)過(guò)程的陣列式檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,電極(2)尺寸和間距都遠(yuǎn)小于被測(cè)液滴的尺寸。

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