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微區(qū)可見光譜儀及光譜測量方法與流程

文檔序號:12862302閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微區(qū)可見光譜儀及光譜測量方法,該微區(qū)可見光譜儀包括:兩個光路支架:水平光路支架與豎直光路支架;以及設(shè)置于兩個光學(xué)支架上的透射輸出模塊、反射輸出模塊、顯微模塊、成像觀測模塊、光譜測量模塊、可調(diào)光闌和樣品三維調(diào)節(jié)臺;其中,水平光路支架與豎直光路支架通過反射鏡使光路連通;透射輸出模塊、反射輸出模塊和顯微模塊固定在豎直光路支架上,成像觀測模塊、可調(diào)光闌和光譜測量模塊固定在水平光路支架上。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品的顯微觀測,能夠?qū)τ行ü鈪^(qū)域在5微米×5微米以上的樣品進(jìn)行透射式和反射式的可見光譜測量,具有結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好、調(diào)節(jié)方便、定位精準(zhǔn)和便于擴(kuò)展的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:張冬仙;賈昊;吳青峻;蔣建中;丁少慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.28
技術(shù)公布日:2017.11.03
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