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微區(qū)可見(jiàn)光譜儀及光譜測(cè)量方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12862302

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本發(fā)明涉及顯微可見(jiàn)光譜儀技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及具有低成本、易擴(kuò)展、操作簡(jiǎn)便、采樣面積小等優(yōu)勢(shì)的一種多功能微區(qū)可見(jiàn)光譜儀。背景技術(shù)在現(xiàn)代信息技術(shù)、微納光學(xué)、生物學(xué)等相關(guān)學(xué)科飛速發(fā)展的今天,對(duì)于器件微型化和片上集成化的要求越來(lái)越高,許多微納器件或生物樣本的尺寸已經(jīng)小至微米量級(jí),傳統(tǒng)的顯微光譜儀已經(jīng)難以滿足微小采樣區(qū)域光譜測(cè)量的需求。對(duì)于傳統(tǒng)顯微光譜儀而言,測(cè)量樣品的可見(jiàn)光譜時(shí),需要將光束聚焦并準(zhǔn)直,使準(zhǔn)直后的平行光照射到樣品的待測(cè)區(qū)域,然后對(duì)透射光或反射光進(jìn)行光譜分析。對(duì)于尺寸在微米級(jí)的樣品,顯微光譜儀...
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