本發(fā)明涉及一種壓力傳感器,具體地說涉及一種抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器。
背景技術(shù):
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐、儀器儀表控制中最為常用的一種傳感器,已廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化等眾多行業(yè)。壓力傳感器種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器等,其中電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成與之呈一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器,其通常是使用鍍金屬薄膜或者圓形薄膜作為電容器的一個(gè)電極,在薄膜感受到壓力時(shí)會(huì)變形,此時(shí)薄膜與固定的電極之間所產(chǎn)生的電容量就會(huì)發(fā)生改變,測(cè)量電路就可以輸出跟電壓形成一定關(guān)系的電信號(hào)。
現(xiàn)有電容式壓力傳感器存在著結(jié)構(gòu)和封裝工藝復(fù)雜、傳感器總體尺寸難以縮小、制造成本高的問題,如中國(guó)專利cn1614375a公開的一種電容式壓力傳感器,如圖1所示,其包括一個(gè)由導(dǎo)電材料制成的內(nèi)置式emc屏蔽件(24),該屏蔽件(24)整體呈杯形,其具有一個(gè)底壁和一個(gè)由該底壁伸出的周向側(cè)壁,該屏蔽件的尺寸允許其緊密裝配在腔體(16d')內(nèi),而該腔體是由六端口外殼(16')的側(cè)壁(16e')形成的;在底壁內(nèi)設(shè)置有一個(gè)流體接收孔(24a),一個(gè)由合適的彈性體材料制成的環(huán)形密封墊(26)安裝在屏蔽件(24)的底壁之頂部上并靠近其側(cè)壁。電容式檢測(cè)元件(12)、調(diào)節(jié)電路(14)和環(huán)形密封墊(26)安裝在杯形屏蔽件(24)內(nèi),同時(shí)連接件(20')的底座(20a')與屏蔽件(24)的側(cè)壁之自由遠(yuǎn)端通過卷邊安裝在該底座20a'的一個(gè)凸緣部分上。由絕緣材料制成的套筒(28)被裝配到杯形屏蔽件(24)周圍,屏蔽件通過套筒(28)及o型圈(30)與外殼電絕緣,其中o型圈設(shè)置在腔體的底壁上,例如設(shè)置在一個(gè)環(huán)形槽(16f)內(nèi),該o型圈還被用作一個(gè)流體密封部件。側(cè)壁16e'的上部自由端被向里彎折到上述已卷邊的杯形屏蔽件上方,從而通過這種已卷邊的杯形屏蔽部件和絕緣套筒的上部形成了一個(gè)與連接件底座(20a')相連接的輔助性卷邊連接,完成了一個(gè)壓力傳感器的封裝。
上述電容式壓力傳感器在裝配過程中需要完成兩次封裝,即:(1)屏蔽件卷邊封裝、(2)外殼卷邊封裝;裝置中也必然需要使用到兩個(gè)密封件,即環(huán)形密封墊(26)和o型圈(30),這樣增加了傳感器的制造成本,且結(jié)構(gòu)也無(wú)法得到簡(jiǎn)化,傳感器的總體尺寸受到限制,無(wú)法進(jìn)一步縮?。涣硗?,傳統(tǒng)壓力傳感器在使用過程中易受到導(dǎo)電流體和電磁信號(hào)的干擾,從而影響其電壓輸出。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為此,本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于現(xiàn)有電容式壓力傳感器制造成本高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、傳感器體積較大,從而提出一種成本低廉、結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單、更緊湊的抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器。
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案為:
本發(fā)明提供一種抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,其包括:
電容式壓力檢測(cè)部件;
圓筒形屏蔽件,設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件外部,所述圓筒形屏蔽件的頂端和底端具有向內(nèi)彎折的屏蔽件彎折部;
絕緣擋圈,設(shè)置于所述屏蔽件彎折部的底部;
o型密封圈,設(shè)置于所述絕緣擋圈內(nèi)緣。
作為優(yōu)選,所述圓筒形屏蔽件外部設(shè)置有電絕緣套筒,所述電絕緣套筒頂部具有向內(nèi)彎折的套筒彎折部,所述電絕緣套筒的外部設(shè)置有傳感器外殼。
作為優(yōu)選,所述電絕緣套筒的材質(zhì)為柔性絕緣材料,其厚度為0.1-0.2mm,所述o型密封圈為絕緣橡膠密封圈。
作為優(yōu)選,所述電容式壓力檢測(cè)部件包括基座,所述基座底部設(shè)置有感壓膜,所述感壓膜底部設(shè)置有導(dǎo)電屏蔽層,所述導(dǎo)電屏蔽層底面與所述屏蔽件彎折部接觸。
作為優(yōu)選,所述圓筒形屏蔽件的材質(zhì)為銅,其厚度為0.05-0.1mm。
作為優(yōu)選,所述傳感器外殼的形狀為六角管,所述六角管的頂部具有外殼折彎部,所述外殼折彎部壓緊所述套筒折彎部頂部設(shè)置。
作為優(yōu)選,還包括,用于將電容值轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)的調(diào)理電路,所述調(diào)理電路設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件頂部;電氣連接件,設(shè)置于所述調(diào)理電路上方且與調(diào)理電路電連接。
作為優(yōu)選,所述調(diào)理電路與所述電氣連接件由焊接于電氣連接件的一組引腳連接;所述調(diào)理電路還具有一組金屬凸舌,所述凸舌連接于所述電氣連接件側(cè)壁。
作為優(yōu)選,所述導(dǎo)電屏蔽層的表面方阻不大于100ω/□,厚度為0.1-40μm,所述導(dǎo)電屏蔽層由金、銀、銅、鉑、鎳鉻、鎳銅中的一種或幾種制備而得。
作為優(yōu)選,所述屏蔽件折彎部底面與所述絕緣擋圈頂部接觸,所述絕緣擋圈外壁與電絕緣套筒內(nèi)壁接觸。
本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
(1)本發(fā)明所述的抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,其包括:電容式壓力檢測(cè)部件;圓筒形屏蔽件,設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件外部,所述圓筒形屏蔽件的頂端和底端具有向內(nèi)彎折的屏蔽件彎折部;絕緣擋圈,設(shè)置于所述彎折部底部;o型密封圈,設(shè)置于所述絕緣擋圈內(nèi)緣。圓筒形屏蔽層底面不是封閉結(jié)構(gòu),無(wú)需在圓筒形屏蔽件與電容式壓力檢測(cè)部件之間設(shè)置環(huán)形密封墊,只需要一個(gè)o型密封圈即可實(shí)現(xiàn)傳感器的密封封裝,簡(jiǎn)化了傳感器結(jié)構(gòu),可有效縮減傳感器的尺寸,降低傳感器生產(chǎn)成本,所述壓力傳感器可應(yīng)用于通風(fēng)裝置、空調(diào)尤其是變頻空調(diào)領(lǐng)域。
(2)本發(fā)明所述的抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,圓筒形屏蔽件外部設(shè)置有電絕緣套筒,所述電絕緣套筒頂部具有向內(nèi)彎折的套筒彎折部,所述電絕緣套筒的外部設(shè)置有傳感器外殼。壓力傳感器在工作過程中會(huì)由于設(shè)備的啟停、故障或雷擊、強(qiáng)靜電等因素產(chǎn)生超出正常工作電壓的瞬間過電壓,傳統(tǒng)的壓力傳感器調(diào)理電路與外殼接通,電源與調(diào)理電路、外殼之間形成一個(gè)導(dǎo)電通路,當(dāng)瞬間過電壓通過該導(dǎo)電通路時(shí),調(diào)理電路和壓力檢測(cè)部件易被擊穿而導(dǎo)致傳感器失效,本方案中的壓力傳感器則由于具有電絕緣套筒而有效使調(diào)理電路、壓力檢測(cè)部件與外殼絕緣,保護(hù)其不被擊穿。
(3)本發(fā)明所述的抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,傳感器外殼的形狀為六角管,所述六角管的頂部具有外殼折彎部,所述外殼折彎部壓緊所述電絕緣套筒折彎部頂部設(shè)置,電絕緣套筒折彎部頂部又壓緊屏蔽件折彎部設(shè)置,電絕緣套筒、圓筒形屏蔽件均由塑性和柔韌性良好的材料制成,卷曲阻力很小,可與外殼頂部一次卷曲壓緊成型,簡(jiǎn)化了壓力傳感器的生產(chǎn)流程,從而進(jìn)一步降低了生產(chǎn)成本。
(4)本發(fā)明所述的抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,還包括用于將電容值轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)的調(diào)理電路,所述調(diào)理電路設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件頂部;電氣連接件,設(shè)置于所述調(diào)理電路外部、上方且與調(diào)理電路通過一組引腳電連接。調(diào)理電路還具有一組凸舌,凸舌設(shè)置于電器連接件側(cè)壁,當(dāng)屏蔽件卷曲成型為圓筒形時(shí),凸舌與圓筒形屏蔽件充分接觸,而圓筒形屏蔽件與電容式壓力檢測(cè)部件的導(dǎo)電屏蔽層充分接觸,形成了一個(gè)導(dǎo)電回路,凸舌起到將調(diào)理電路與導(dǎo)電回路連接的作用,從而使圓筒形屏蔽件起到防止電磁干擾的作用。傳統(tǒng)壓力傳感器用于測(cè)量含大量水分的流體時(shí),導(dǎo)電流體在感壓膜上相當(dāng)于形成一個(gè)新的電容電極,與電容式壓力檢測(cè)部件的測(cè)量電容、外殼之間形成新的寄生電容,導(dǎo)致電容值重大偏移,電容值的偏移將影響壓力傳感器的電壓輸出,而本發(fā)明所述的傳感器結(jié)構(gòu)則可有效解決導(dǎo)電流體對(duì)測(cè)量電容的干擾問題。
附圖說明
為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解,下面根據(jù)本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明,其中
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中壓力傳感器的截面圖;
圖2是本發(fā)明實(shí)施例所述抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器的截面圖;
圖3是本發(fā)明實(shí)施例所述抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中附圖標(biāo)記表示為:1-圓筒形屏蔽件;2-絕緣擋圈;3-o型密封圈;4-調(diào)理電路;5-電氣連接件;6-凸舌;7-電絕緣套筒;8-傳感器外殼;9-基座;10-感壓膜;11-導(dǎo)電屏蔽層。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1
本實(shí)施例提供一種抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,如圖2-3所示,其包括:
用于提供隨著施加的流體壓力變化而變化的電容值的電容式壓力檢測(cè)部件;
圓筒形屏蔽件1,套設(shè)于電容式壓力檢測(cè)部件外部,其內(nèi)壁與電容式壓力檢測(cè)部件的側(cè)壁接觸,所述圓筒形屏蔽件1的頂端和底端具有向內(nèi)彎折的屏蔽件彎折部,所述圓筒形屏蔽件1的由可塑性和韌性良好的銅材制得,其厚度為0.05mm;
絕緣擋圈2,設(shè)置于屏蔽件彎折部底部,所述屏蔽件折彎部底面與絕緣擋圈2頂部接觸,其材質(zhì)為常規(guī)電絕緣材料;
o型密封圈3,設(shè)置于所述絕緣擋圈2內(nèi)緣,頂部與電容式壓力檢測(cè)部件的底部接觸,所述o型密封圈3的材質(zhì)為絕緣橡膠。
還包括用于將電容值轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)的調(diào)理電路4,所述調(diào)理電路4設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件頂部;電氣連接件5,設(shè)置于所述調(diào)理電路4上方且與調(diào)理電路4電連接,具體地,所述電氣連接件5通過設(shè)置于其內(nèi)部的一組(三根)引腳與所述調(diào)理電路4電連接。所述調(diào)理電路4還具有一組凸舌6,所述凸舌6與所述電氣連接件5的側(cè)壁相連接,當(dāng)屏蔽件卷曲成型為圓筒形時(shí),凸舌與圓筒形屏蔽件充分接觸,而圓筒形屏蔽件與電容式壓力檢測(cè)部件的導(dǎo)電屏蔽層充分接觸,形成了一個(gè)導(dǎo)電回路,凸舌起到將調(diào)理電路與導(dǎo)電回路連接的作用,從而使圓筒形屏蔽件起到防止電磁干擾的作用。
進(jìn)一步地,所述圓筒形屏蔽件1外部套設(shè)有電絕緣套筒7,所述電絕緣套筒7的頂部具有向內(nèi)彎折的套筒折彎部,所述套筒折彎部壓覆于所述屏蔽件折彎部的頂面,電絕緣套筒7的外部套設(shè)有傳感器外殼8,所述傳感器外殼8為六角管狀,六角管的頂部具有向內(nèi)彎折的外殼折彎部,所述外殼折彎部壓覆于所述套筒折彎部的頂面,其中,電絕緣套筒7的材質(zhì)為柔性絕緣材料,本實(shí)施例優(yōu)選為耐高溫、耐輻射、耐化學(xué)腐蝕和電絕緣性能優(yōu)異的聚酰亞胺薄膜,所述聚酰亞胺薄膜的厚度為0.1mm,電絕緣套筒7、圓筒形屏蔽件1材質(zhì)可塑性和柔韌性優(yōu)異,可以與傳感器外殼8通過一次鉚壓卷曲成型工藝完成產(chǎn)品封裝,無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)中的壓力傳感器一樣進(jìn)行兩次封裝,提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。
絕緣擋圈2設(shè)置于電絕緣套筒7內(nèi)底部,其外壁與電絕緣套筒7內(nèi)壁接觸,且其內(nèi)緣安裝有o型密封圈3,使得圓筒形屏蔽件1與傳感器外殼8之間絕緣,傳統(tǒng)壓力傳感器在工作過程中,如當(dāng)其安裝在變頻空調(diào)設(shè)備里,會(huì)受設(shè)備的啟?;蚬收匣蚶讚?、強(qiáng)靜電等外界因素影響,產(chǎn)生超出正常工作電壓的瞬間過電壓,若調(diào)理電路與外殼接通,外殼會(huì)形成導(dǎo)電通路,瞬間電壓通過該導(dǎo)電通路時(shí),調(diào)理電路和電容式壓力檢測(cè)部件極易被擊穿導(dǎo)致傳感器失效,本實(shí)施例中的電絕緣套筒7有效保證了調(diào)理電路4、電容式壓力檢測(cè)部件與外殼絕緣,保護(hù)其不被擊穿。
具體地,所述電容式壓力檢測(cè)部件包括基座9,所述基座9的底部設(shè)置有感壓膜10,所述感壓膜10的底部設(shè)置有導(dǎo)電屏蔽層11,所述導(dǎo)電屏蔽層11的底面與所述屏蔽件折彎部充分接觸,形成一個(gè)導(dǎo)電回路,所述調(diào)理電路4設(shè)置于所述基座頂部,所述感壓膜10為常規(guī)感壓膜,所述導(dǎo)電屏蔽層11由含銀、銅、金、鉑、鎳的漿料通過絲網(wǎng)印刷或噴涂等工藝涂覆在陶瓷表面制得,然后通過燒結(jié)工藝,在450-900℃下燒結(jié),本實(shí)施例中燒結(jié)溫度為450℃,形成致密的導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為1μm;或者通過薄膜工藝,用磁控濺射或真空鍍膜的方式將金、銀、銅、鎳鉻或鎳銅中的至少一種制備為導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為0.1μm,表面方阻不大于100ω/□。
實(shí)施例2
本實(shí)施例提供一種抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,如圖2-3所示,其包括:
用于提供隨著施加的流體壓力變化而變化的電容值的電容式壓力檢測(cè)部件;
圓筒形屏蔽件1,套設(shè)于電容式壓力檢測(cè)部件外部,其內(nèi)壁與電容式壓力檢測(cè)部件的側(cè)壁接觸,所述圓筒形屏蔽件1的頂端和底端具有向內(nèi)彎折的屏蔽件彎折部,所述圓筒形屏蔽件1的由可塑性和韌性良好的銅材制得,其厚度為0.1mm;
絕緣擋圈2,設(shè)置于屏蔽件彎折部底部,所述屏蔽件折彎部底面與絕緣擋圈2頂部接觸,其材質(zhì)為常規(guī)電絕緣材料;
o型密封圈3,設(shè)置于所述絕緣擋圈2內(nèi)緣,頂部與電容式壓力檢測(cè)部件的底部接觸,所述o型密封圈3的材質(zhì)為絕緣橡膠。
還包括用于將電容值轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)的調(diào)理電路4,所述調(diào)理電路4設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件頂部;電氣連接件5,設(shè)置于所述調(diào)理電路4上方且與調(diào)理電路4電連接,具體地,所述電氣連接件5通過設(shè)置于其內(nèi)部的一組(三根)引腳與所述調(diào)理電路4電連接。所述調(diào)理電路4還具有一組凸舌6,所述凸舌6與所述電器連接件5的側(cè)壁相連接,當(dāng)屏蔽件卷曲成型為圓筒形時(shí),凸舌與圓筒形屏蔽件充分接觸,而圓筒形屏蔽件與電容式壓力檢測(cè)部件的導(dǎo)電屏蔽層充分接觸,形成了一個(gè)導(dǎo)電回路,凸舌起到將調(diào)理電路與導(dǎo)電回路連接的作用,從而使圓筒形屏蔽件起到防止電磁干擾的作用。
進(jìn)一步地,所述圓筒形屏蔽件1外部套設(shè)有電絕緣套筒7,所述電絕緣套筒7的頂部具有向內(nèi)彎折的套筒折彎部,所述套筒折彎部壓覆于所述屏蔽件折彎部的頂面,電絕緣套筒7的外部套設(shè)有傳感器外殼8,所述傳感器外殼8為六角管狀,六角管的頂部具有向內(nèi)彎折的外殼折彎部,所述外殼折彎部壓覆于所述套筒折彎部的頂面,其中,電絕緣套筒7的材質(zhì)為柔性絕緣材料,本實(shí)施例優(yōu)選為耐高溫、耐輻射、耐化學(xué)腐蝕和電絕緣性能優(yōu)異的聚酰亞胺薄膜,所述聚酰亞胺薄膜的厚度為0.2mm,電絕緣套筒7、圓筒形屏蔽件1材質(zhì)可塑性和柔韌性優(yōu)異,可以與傳感器外殼8通過一次鉚壓卷曲成型工藝完成產(chǎn)品封裝,無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)中的壓力傳感器一樣進(jìn)行兩次封裝,提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。
絕緣擋圈2設(shè)置于電絕緣套筒7內(nèi)底部,其外壁與電絕緣套筒7內(nèi)壁接觸,且其內(nèi)緣安裝有o型密封圈3,使得圓筒形屏蔽件1與傳感器外殼8之間絕緣,本實(shí)施例中的電絕緣套筒7有效保證了調(diào)理電路4、電容式壓力檢測(cè)部件與外殼絕緣,保護(hù)其不被擊穿。
具體地,所述電容式壓力檢測(cè)部件包括基座9,所述基座9的底部設(shè)置有感壓膜10,所述感壓膜10的底部設(shè)置有導(dǎo)電屏蔽層11,所述導(dǎo)電屏蔽層11的底面與所述屏蔽件折彎部充分接觸,形成一個(gè)導(dǎo)電回路,所述調(diào)理電路3設(shè)置于所述基座頂部,所述感壓膜10為常規(guī)感壓膜,所述導(dǎo)電屏蔽層11由含銀、銅、金、鉑、鎳的漿料通過絲網(wǎng)印刷或噴涂等工藝涂覆在陶瓷表面制得,然后通過燒結(jié)工藝,在450-900℃下燒結(jié),本實(shí)施例中燒結(jié)溫度為900℃,形成致密的導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為40μm;或者通過薄膜工藝,用磁控濺射或真空鍍膜的方式將金、銀、銅、鎳鉻或鎳銅中的至少一種制備為導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為3μm,表面方阻不大于100ω/□。
實(shí)施例3
本實(shí)施例提供一種抗導(dǎo)電流體和電磁干擾的陶瓷電容式壓力傳感器,如圖2-3所示,其包括:
用于提供隨著施加的流體壓力變化而變化的電容值的電容式壓力檢測(cè)部件;
圓筒形屏蔽件1,套設(shè)于電容式壓力檢測(cè)部件外部,其內(nèi)壁與電容式壓力檢測(cè)部件的側(cè)壁接觸,所述圓筒形屏蔽件1的頂端和底端具有向內(nèi)彎折的屏蔽件彎折部,所述圓筒形屏蔽件1的由可塑性和韌性良好的銅材制得,其厚度為0.08mm;
絕緣擋圈2,設(shè)置于屏蔽件彎折部底部,所述屏蔽件折彎部底面與絕緣擋圈2頂部接觸,其材質(zhì)為常規(guī)電絕緣材料;
o型密封圈3,設(shè)置于所述絕緣擋圈2內(nèi)緣,頂部與電容式壓力檢測(cè)部件的底部接觸,所述o型密封圈3的材質(zhì)為絕緣橡膠。
還包括用于將電容值轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)的調(diào)理電路4,所述調(diào)理電路4設(shè)置于所述電容式壓力檢測(cè)部件頂部;電氣連接件5,設(shè)置于所述調(diào)理電路4上方且與調(diào)理電路4電連接,具體地,所述電氣連接件5通過設(shè)置于其內(nèi)部的一組(三根)引腳與所述調(diào)理電路4電連接。所述調(diào)理電路4還具有一組凸舌6,所述凸舌6與所述電器連接件5的側(cè)壁相連接,當(dāng)屏蔽件卷曲成型為圓筒形時(shí),凸舌與圓筒形屏蔽件充分接觸,而圓筒形屏蔽件與電容式壓力檢測(cè)部件的導(dǎo)電屏蔽層充分接觸,形成了一個(gè)導(dǎo)電回路,凸舌起到將調(diào)理電路與導(dǎo)電回路連接的作用,從而使圓筒形屏蔽件起到防止電磁干擾的作用。
進(jìn)一步地,所述圓筒形屏蔽件1外部套設(shè)有電絕緣套筒7,所述電絕緣套筒6的頂部具有向內(nèi)彎折的套筒折彎部,所述套筒折彎部壓覆于所述屏蔽件折彎部的頂面,電絕緣套筒7的外部套設(shè)有傳感器外殼8,所述傳感器外殼8為六角管狀,六角管的頂部具有向內(nèi)彎折的外殼折彎部,所述外殼折彎部壓覆于所述套筒折彎部的頂面,其中,電絕緣套筒7的材質(zhì)為柔性絕緣材料,本實(shí)施例優(yōu)選為耐高溫、耐輻射、耐化學(xué)腐蝕和電絕緣性能優(yōu)異的聚酰亞胺薄膜,所述聚酰亞胺薄膜的厚度為0.15mm,電絕緣套筒7、圓筒形屏蔽件1材質(zhì)可塑性和柔韌性優(yōu)異,可以與傳感器外殼8通過一次鉚壓卷曲成型工藝完成產(chǎn)品封裝,無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)中的壓力傳感器一樣進(jìn)行兩次封裝,提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。
絕緣擋圈2設(shè)置于電絕緣套筒7內(nèi)底部,其外壁與電絕緣套筒7內(nèi)壁接觸,且其內(nèi)緣安裝有o型密封圈3,使得圓筒形屏蔽件1與傳感器外殼8之間絕緣,本實(shí)施例中的電絕緣套筒7有效保證了調(diào)理電路4、電容式壓力檢測(cè)部件與外殼絕緣,保護(hù)其不被擊穿。
具體地,所述電容式壓力檢測(cè)部件包括基座9,所述基座9的底部設(shè)置有感壓膜10,所述感壓膜10的底部設(shè)置有導(dǎo)電屏蔽層11,所述導(dǎo)電屏蔽層11的底面與所述屏蔽件折彎部充分接觸,形成一個(gè)導(dǎo)電回路,所述調(diào)理電路4設(shè)置于所述基座頂部,所述感壓膜10為常規(guī)感壓膜,所述導(dǎo)電屏蔽層11由含銀、銅、金、鉑、鎳的漿料通過絲網(wǎng)印刷或噴涂等工藝涂覆在陶瓷表面制得,然后通過燒結(jié)工藝,在450-900℃下燒結(jié),本實(shí)施例中燒結(jié)溫度為680℃,形成致密的導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為20μm;或者通過薄膜工藝,用磁控濺射或真空鍍膜的方式將金、銀、銅、鎳鉻或鎳銅中的至少一種制備為導(dǎo)電屏蔽層,其厚度為1.5μm,表面方阻不大于100ω/□。
顯然,上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例,而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。