本發(fā)明屬于無損檢測和超聲表面波技術領域。

背景技術：

超大規(guī)模集成電路的快速發(fā)展對ulsi互連布線系統(tǒng)提出了更大的挑戰(zhàn)。在國際半導體技術發(fā)展路線圖中指出，為了正確表征low-k互連薄膜的機械特性、粘附特性等參數(shù)，需要發(fā)展先進的測試技術。傳統(tǒng)的方法有劃痕法、四點彎曲法、粘揭法、拉伸法等。但這些方法都會對薄膜造成損傷，且測量結果的可靠性裕差。因此，亟需發(fā)展準確、可靠無損檢測方法應用于薄膜研究和制備過程的在線檢測。聲表面波法具有無損、實驗系統(tǒng)易操作、檢測快速準確等突出優(yōu)勢。壓電傳感器檢測技術是聲表面波檢測技術的代表。其基本原理是：參見圖1，由脈沖激光器1發(fā)出一個短暫的激光脈沖在固體樣品2表面激發(fā)一個寬頻帶波動，吸收激光輻射導致局部受熱，并在固體表面發(fā)生熱膨脹，進而產(chǎn)生聲表面波3，表面波在傳播過程中攜帶樣品的信息被壓電探頭4所接收。在整個實驗過程中光路調節(jié)的水平對實驗結果有著至關重要的影響。光路調節(jié)是指通過調節(jié)棱鏡5和柱面鏡6將激光器發(fā)出的平行激光轉化為打在樣片上的一條極亮且極細的光線。同時還要使光線滿足以下幾個要求：

第一、脈沖激光光線與壓電探頭等寬；

第二、脈沖激光光線跟壓電探頭保持平行；

第三、脈沖激光光線和壓電探頭對齊。

目前調節(jié)光路只能靠實驗人員的觀察，這樣就造成了光路調節(jié)過程繁瑣、緩慢，調節(jié)效果往往達不到最佳。因此一個輔助光路調節(jié)的對準裝置能極大地提高光路調節(jié)的效率。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種適用于壓電傳感器表面波檢測實驗的能夠提高光路調節(jié)的效率和準確性的對準裝置。技術方案如下：

一種壓電傳感器表面波檢測實驗光路調節(jié)輔助裝置，其主體為卡片，其特征在于，卡片為設置有卡槽的u型卡片，卡槽的寬度與壓電傳感器的壓電探頭寬度相同，在卡槽的兩側分別設置有一組與卡槽底部平行的輔助線，兩組輔助線完全相同。

優(yōu)選地，所述的輔助線為彩色相間的輔助線。

附圖說明

圖1壓電傳感器表面波檢測原理圖

圖2光路調節(jié)輔助裝置示意圖

圖3光路調節(jié)裝置操作實施示意圖

具體實施方式

如圖2，裝置外形：本裝置為一u型的卡片?？ㄆL40mm，寬30mm?？ㄆ嫌幸粋€長30mm，寬10mm的卡槽7，卡槽7寬度與壓電探頭寬度相同?？ㄆ穸燃s為1mm。

裝置細節(jié)：在卡槽兩邊有一組與卡槽底部平行的彩色相間的輔助線8。其目的是方便調節(jié)光線與壓電探頭保持平行。由于輔助線比較密集，選擇彩色相間的輔助線8是為了防止光線對準了錯位的輔助線進而導致光線與壓電探頭不能平行。

如圖3所示，使用本裝置輔助調節(jié)光路時，將裝置1置于被測樣品上，并將壓電探頭4對齊卡槽中的一條輔助線。因為壓電探頭與卡槽同寬，這樣卡槽相當于將壓電探頭的寬度和位置延伸到激光處。在卡槽的輔助下，將光線調節(jié)到與壓電探頭同寬并對齊就變得非常容易。此外，由于壓電探頭對齊了一條輔助線，所以卡槽中所有的輔助線都與壓電探頭是平行的。所以再將光線對齊任意一條輔助線就可以保證光線與壓電探頭平行。這樣，裝置就很好的輔助了光路調節(jié)。極大地提高了調節(jié)的準確性和效率。

技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及一種壓電傳感器表面波檢測實驗光路調節(jié)輔助裝置，其主體為卡片，其特征在于，卡片為設置有卡槽的U型卡片，卡槽的寬度與壓電傳感器的壓電探頭寬度相同，在卡槽的兩側分別設置有一組與卡槽底部平行的輔助線，兩組輔助線完全相同。

技術研發(fā)人員：肖夏;孔濤
受保護的技術使用者：天津大學
技術研發(fā)日：2017.05.13
技術公布日：2017.08.04