本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光器芯片測試技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種測試設(shè)備及其給電治具。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體激光器(ld,laserdiode)應(yīng)用領(lǐng)域如ld泵浦固體激光器(dpl，diode-pumpedsolid-statelaser)、各類光纖激光器的泵源、激光切割、焊接、醫(yī)療以及激光軍事應(yīng)用等的日益拓寬，對半導(dǎo)體激光器輸出功率、可靠性的要求也越來越大。半導(dǎo)體激光器芯片是半導(dǎo)體激光器核心部分，具有半導(dǎo)體激光器“cpu”之稱。

fullbar是一種未電隔離的大功率半導(dǎo)體激光器芯片，對未電隔離的大功率半導(dǎo)體激光器裸bar的性能參數(shù)(如liv特性、光譜特性等)進(jìn)行測試和表征是深刻理解激光器芯片特性、優(yōu)化芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及完善芯片生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵，同時(shí)也是判斷激光器芯片好壞的重要依據(jù)。因此對未電隔離的大功率半導(dǎo)體激光器芯片進(jìn)行無損測試不論對于科研單位、生產(chǎn)廠商、使用客戶都具有極為重要的意義。

對未電隔離的大功率半導(dǎo)體激光器裸bar進(jìn)行無損測試，需保證在測試給電時(shí)給電治具與裸bar以一定壓力的可靠接觸，且給電治具需穩(wěn)定、均勻注入較大的電流，因此對裸bar測試時(shí)所需的給電治具提出了較高的要求。

請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中給電治具的原理示意圖?，F(xiàn)有的未電隔離的大功率半導(dǎo)體激光器裸bar10測試常采用彈片金屬薄片20作為給電治具，主要存在的缺陷是：它雖能以一定的彈性與裸bar10可靠接觸，但給電治具與裸bar10難以整體貼合接觸，較難保證電流在裸bar10上均勻注入。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種給電治具，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中給電治具與裸bar難以貼合接觸的技術(shù)問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種給電治具，用于對半導(dǎo)體激光器未電隔離裸bar測試時(shí)注入大電流，給電治具包括探針夾具和多個(gè)彈性探針，探針夾具夾持固定多個(gè)彈性探針，多個(gè)彈性探針的針尖一端處于同一平面。

其中，探針夾具包括探針座和探針固定件，探針座設(shè)有容置空間，多個(gè)彈性探針設(shè)于容置空間內(nèi)，探針固定件用于固定多個(gè)彈性探針。

其中，探針座包括探針座本體和從探針座本體一側(cè)延伸的凸耳，容置空間形成于探針座本體的中部，凸耳用于預(yù)固定給電電源輸出電線。

其中，探針座本體的中部形成有第一凹槽，第一凹槽貫穿探針座本體的寬度方向設(shè)置，第一凹槽內(nèi)設(shè)有容置塊，容置空間形成于容置塊，容置空間為第二凹槽。

其中，容置塊頂面低于探針座本體的頂面，容置塊的寬度小于探針座本體的寬度，第一凹槽內(nèi)臨近容置塊的空間用于放置焊料。

其中，探針固定件包括固定板和從固定板底面延伸的凸臺，凸臺與第一凹槽配合連接以固定多個(gè)彈性探針，探針座與固定板通過螺釘固定連接。

其中，多個(gè)彈性探針呈多行重疊設(shè)置。

其中，多個(gè)彈性探針呈兩行設(shè)置，每行具有25個(gè)彈性探針，每個(gè)彈性探針的外徑為0.35mm，探針座和探針固定件均采用紫銅加工而成并進(jìn)行鍍鎳表面處理。

其中，多個(gè)彈性探針通過平面制作夾具使得多個(gè)彈性探針的針尖一端處于同一平面，平面制作夾具包括夾具主體，夾具主體內(nèi)形成有截面呈w型的第三凹槽，第三凹槽包括依次連接的探針座底面放置面、探針座側(cè)面放置面、探針銜接面以及探針抵接面，探針座通過探針座底面放置面和探針座側(cè)面放置面定位，多個(gè)彈性探針設(shè)置于探針座上，并且針尖一端延伸至探針銜接面上方，直至抵接于探針抵接面。

本發(fā)明實(shí)施例提供的給電治具通過設(shè)置針尖處于同一平面的多個(gè)彈性探針，保證給電治具與未電隔離裸bar接觸良好，有利于未電隔離裸bar測試。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中給電治具的原理示意圖；

圖2是本發(fā)明給電治具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是圖2所示的給電治具的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是圖2所示的給電治具與平面制作夾具的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，均屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請參閱圖2和圖3，圖2是本發(fā)明給電治具的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖3是圖2所示的給電治具的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。在本實(shí)施例中，給電治具用于對半導(dǎo)體激光器未電隔離裸bar測試時(shí)注入大電流，其中，裸bar是指未電隔離的未封裝的bar條，給電治具包括探針夾具和多個(gè)彈性探針101，探針夾具夾持固定多個(gè)彈性探針101，多個(gè)彈性探針101的針尖一端處于同一平面。由于將現(xiàn)有技術(shù)的彈片金屬薄片置換成多個(gè)彈性探針101，且多個(gè)彈性探針101針尖一端處于同一平面使得能夠很好地貼合裸bar，從而保證電流均勻注入。在本實(shí)施例中，探針夾具包括探針座201和探針固定件301。

探針座201設(shè)有容置空間，多個(gè)彈性探針101設(shè)于容置空間內(nèi)。具體而言，探針座201包括探針座本體202和從探針座本體202一側(cè)延伸的凸耳203，容置空間形成于探針座本體202的中部，凸耳203用于預(yù)固定給電電源輸出電線，優(yōu)選地，探針座本體202和凸耳203一體成型。進(jìn)一步地，探針座本體202的中部形成有第一凹槽204，第一凹槽204貫穿探針座本體202的寬度方向設(shè)置，第一凹槽204內(nèi)設(shè)有容置塊205，容置空間形成于容置塊205，容置空間為第二凹槽206。其中，容置塊205頂面低于探針座本體202的頂面，容置塊205的寬度小于探針座本體202的寬度，第一凹槽204內(nèi)臨近容置塊205的空間用于放置焊料。其中，容置空間也可形成于探針座本體202的側(cè)部等部位。容置塊205頂面也可與探針座本體202的頂面平齊，容置塊205的高度由彈性探針101的高度決定。值得一提的是，在探針座本體202的兩端還分別設(shè)有安裝孔207，用于將給電治具整體安裝到測試設(shè)備。

探針固定件301包括固定板302和從固定板302底面延伸的凸臺303，凸臺303與第一凹槽204配合連接，探針座201與固定板302通過螺釘40固定連接，探針座本體202臨近第一凹槽204的兩側(cè)分別設(shè)有兩個(gè)螺孔，固定板302對應(yīng)處也分別設(shè)有兩個(gè)螺孔，探針座201和固定板302通過4顆螺釘40固定連接。在本實(shí)施例中，凸臺303與第一凹槽204優(yōu)選為過渡配合或間隙配合，只要能夠?qū)椥蕴结?01的針尖固定保持在同一平面即可，對凸臺303和第一凹槽204的配合方式不作限定。在其他實(shí)施例中，也可無凸臺303。其中，固定板302和凸臺303優(yōu)選為一體成型。

多個(gè)彈性探針101呈多行重疊設(shè)置。優(yōu)選地，本實(shí)施例中，多個(gè)彈性探針101呈兩行設(shè)置，每行具有25個(gè)彈性探針101，每個(gè)彈性探針101的外徑為0.35mm，每行的彈性探針101緊密相連。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，也可設(shè)置3行或4行等彈性探針101，或者設(shè)置其他外徑的彈性探針101，本發(fā)明對彈性探針101的行數(shù)和外徑不作限定。

其中，探針座201和探針固定件301均優(yōu)選采用紫銅加工而成并進(jìn)行鍍鎳表面處理，通過該方式能夠使得探針座201和探針固定件301易于焊接。

其中，在本實(shí)施例中采用的是分體式的探針夾具，即探針夾具包括探針座201和探針固定件301，在其他實(shí)施例中也可采用一體式探針夾具，本發(fā)明對此不作限定。

請參閱圖4，圖4是圖2所示的給電治具與平面制作夾具50的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。以上提到了多個(gè)彈性探針101的針尖一端處于同一平面，在本實(shí)施例中，通過平面制作夾具50使得多個(gè)彈性探針101的針尖一端處于同一平面，平面制作夾具50包括夾具主體506，夾具主體506內(nèi)形成有截面呈w型的第三凹槽501，第三凹槽501包括依次連接的探針座201底面放置面502、探針座201側(cè)面放置面503、探針銜接面504以及探針抵接面505，探針座201通過探針座201底面放置面502和探針座201側(cè)面放置面503定位，多個(gè)彈性探針101設(shè)置于探針座201上，并且針尖一端延伸至探針銜接面504上方，直至抵接于探針抵接面505。其中，在其他實(shí)施例中也可直接利用一個(gè)直角形的夾具使得多個(gè)彈性探針101的針尖一端處于同一平面，例如探針座201固定于夾具的水平面，彈性探針101的針尖一端抵接垂直面以使得多個(gè)彈性探針101的針尖一端處于同一平面。

以上介紹了給電治具的結(jié)構(gòu)，下面舉例介紹給電治具的組裝過程：

1.給電治具固定于平面制作夾具50上，50根外徑0.35mm彈性探針101逐一陣列擺放在探針座本體202的容置空間內(nèi)上，彈性探針101陣列形式為2x25；

2.探針固定件301通過4顆m2螺釘固定在探針座本體202上；

3.加入焊料至第一凹槽204內(nèi)臨近容置塊205的空間，將彈性探針101陣列、探針座201和探針固定件301連接成整體；

4.最后鎖緊探針固定件301并從平面制作夾具50上取下給電治具。

本發(fā)明還提供一種測試設(shè)備，該測試設(shè)備包括以上實(shí)施例的給電治具，測試設(shè)備能夠集成測試裸bar的光功率、電氣和波長等特性，為研制和生產(chǎn)高性能的大功率半導(dǎo)體激光器提供了強(qiáng)有力的保障。

本發(fā)明實(shí)施例提供的給電治具通過設(shè)置針尖處于同一平面的多個(gè)彈性探針，保證給電治具與未電隔離裸bar接觸良好，有利于未電隔離裸bar測試。進(jìn)一步地，能夠進(jìn)行無損、具有承載脈沖電流高達(dá)200a的測試。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。