技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
基于功率譜的大口徑平面鏡低階像差估計方法，涉及大口徑平面鏡面形評價領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有估計方法存在的計算量大、全面性低的問題。該方法包括：將Zernike多項式在頻域上的表達(dá)代入不同子孔徑的不同階Zernike多項式系數(shù)之間的互相關(guān)系數(shù)在頻域上的表達(dá)，利用上述獲得的公式以及全口徑Zernike多項式系數(shù)βj的定義進(jìn)行計算得到子孔徑Zernike多項式系數(shù)αi與全口徑Zernike多項式系數(shù)βj之間的關(guān)系：為全口徑Zernike多項式系數(shù)平方的期望；將上述公式進(jìn)行展開討論，當(dāng)階數(shù)i大于3時：本發(fā)明利用子孔徑鏡面功率譜的統(tǒng)計學(xué)特征估計大口徑平面鏡的低階像差，節(jié)省了檢測成本，提高了檢測精度。

技術(shù)研發(fā)人員：安其昌;張景旭;楊飛;趙宏超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.08
技術(shù)公布日：2017.09.01