技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種三指交錯(cuò)結(jié)構(gòu)的電容式微波功率傳感器，以砷化鎵為襯底，在襯底上設(shè)計(jì)有共面波導(dǎo)傳輸線、在線電容式微波功率傳感器，在線電容式微波功率傳感器包括在襯底上交錯(cuò)地固定著三個(gè)MEMS懸臂梁，其中兩個(gè)MEMS懸臂梁下表面鍍有絕緣層氮化硅，中間的MEMS懸臂梁無(wú)絕緣層，作為由兩個(gè)無(wú)絕緣層MEMS懸臂梁形成電容的電介質(zhì)。當(dāng)微波信號(hào)在共面波導(dǎo)傳輸時(shí)，會(huì)在無(wú)絕緣層的MEMS懸臂梁上產(chǎn)生一個(gè)靜電力使梁產(chǎn)生位移，而在兩個(gè)鍍有絕緣層的MEMS懸臂梁上產(chǎn)生的靜電力不足以使其下拉；引起兩個(gè)鍍有絕緣層的MEMS懸臂梁間形成的電容的介電常數(shù)改變，由電容檢測(cè)電路檢測(cè)出電容的變化量，從而推出微波信號(hào)的功率幅值。

技術(shù)研發(fā)人員：戴瑞萍;王德波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京郵電大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.05
技術(shù)公布日：2017.07.07