技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
目的在于，提供能夠容易地且高精度地對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查裝置、具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置、以及使用了該半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的探針位置檢查方法。本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查，該探針具有相應(yīng)于與被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的接觸位置而形成磁場(chǎng)的檢查用磁場(chǎng)形成單元，探針位置檢查裝置具有：基體部，其包含表面和多個(gè)磁傳感器，該探針能夠與該表面接觸，該多個(gè)磁傳感器設(shè)置于與該表面平行的面內(nèi)，對(duì)由探針?biāo)哂械臋z查用磁場(chǎng)形成單元形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)；以及輸出部，其與上述磁傳感器電連接，輸出基于磁場(chǎng)的磁傳感器的信號(hào)。

技術(shù)研發(fā)人員：岡田章;野口貴也;竹迫憲浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱電機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.19
技術(shù)公布日：2017.10.31