本發(fā)明涉及對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查裝置、具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置、以及使用了該半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的探針位置檢查方法。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置對(duì)半導(dǎo)體晶片、從半導(dǎo)體晶片進(jìn)行單片化得到的芯片狀的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)。在進(jìn)行該評(píng)價(jià)時(shí)，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置通過(guò)真空吸附等使作為被評(píng)價(jià)物的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的設(shè)置面與卡盤(pán)臺(tái)的表面接觸而進(jìn)行固定。并且，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置使半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的探針與在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的表面設(shè)置的電極接觸，進(jìn)行電信號(hào)的輸入輸出。在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置是在其縱向即面外方向流過(guò)電流的縱型構(gòu)造的半導(dǎo)體裝置的情況下，在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的背面設(shè)置的電極和在半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的卡盤(pán)臺(tái)表面設(shè)置的電極導(dǎo)通。由于具有多個(gè)探針的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置能夠一次性地與被半導(dǎo)體裝置的多個(gè)電極進(jìn)行電連接，因此能夠使大電流向被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置流動(dòng)，或者向被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置施加高電壓。

使半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的各探針以高的對(duì)位精度與在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的表面設(shè)置的電極接觸是重要的。在探針和電極的接觸位置發(fā)生了偏移的情況下，例如，所期望的電流或者電壓未施加于被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置，不能實(shí)現(xiàn)正常的評(píng)價(jià)。另外，在探針接觸了與原本應(yīng)該接觸的電極不同的區(qū)域的情況下，有時(shí)該被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置還會(huì)被破壞。

為了抑制半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的探針和被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的電極的錯(cuò)位，優(yōu)選探針的長(zhǎng)度短，但是就上述結(jié)構(gòu)而言，在對(duì)探針進(jìn)行支撐的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的探針卡和被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置之間，有時(shí)發(fā)生因施加電壓導(dǎo)致的放電。由此，要求延長(zhǎng)探針的長(zhǎng)度，確保探針卡和被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的距離大于或等于一定的距離?；谝陨侠碛?，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的評(píng)價(jià)時(shí)，準(zhǔn)確地檢查、掌握探針位置變得重要。

在專(zhuān)利文獻(xiàn)1至專(zhuān)利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的電氣特性的評(píng)價(jià)前預(yù)先對(duì)探針的位置進(jìn)行檢查的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置。專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的探針檢查裝置是使探針與具有平坦的接觸面的變形體接觸，觀察由于該接觸而形成的探針痕跡的位置、大小，對(duì)探針的位置進(jìn)行測(cè)定。另外，專(zhuān)利文獻(xiàn)2與專(zhuān)利文獻(xiàn)1同樣地公開(kāi)了能夠?qū)⑻结樅圹E即針跡消除的針跡轉(zhuǎn)印部件。專(zhuān)利文獻(xiàn)3所記載的探針卡檢查裝置是將探針即測(cè)定針按壓于在與設(shè)置被評(píng)價(jià)物的電極平板相同的平面一并設(shè)置的透明玻璃平板，隔著該透明玻璃平板，通過(guò)照相機(jī)等針尖觀察裝置對(duì)針尖坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)定。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2001－189353號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2009－198407號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)平05-157790號(hào)公報(bào)

但是，由于專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的探針檢查裝置是對(duì)探針痕跡進(jìn)行觀察而掌握探針位置，因此檢查需要時(shí)間。另外，每當(dāng)進(jìn)行探針的檢查時(shí)，需要轉(zhuǎn)印了探針痕跡的變形體的再生處理，耗費(fèi)成本。另外，不能隨后容易地附加至現(xiàn)有的評(píng)價(jià)裝置。

就專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的針跡轉(zhuǎn)印部件而言，雖然形成了針跡的轉(zhuǎn)印材料的再生時(shí)間比專(zhuān)利文獻(xiàn)1短，但是依然需要轉(zhuǎn)印材料的再生處理。另外，由于依然是在轉(zhuǎn)印了針跡后進(jìn)行觀察而對(duì)針的位置進(jìn)行檢查，因此檢查需要時(shí)間。

專(zhuān)利文獻(xiàn)3所記載的探針卡檢查裝置使用針尖觀察裝置以光學(xué)方式對(duì)針尖的位置進(jìn)行觀察。在與各針尖的對(duì)焦工序中，容易受到針尖的背景、照明、針尖與觀察裝置之間的距離的波動(dòng)、針尖及視野內(nèi)的附著物等多個(gè)光學(xué)的干擾因素的影響，檢查精度是不穩(wěn)定的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明就是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供能夠容易地且高精度地對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查裝置。另外，本發(fā)明的目的在于提供具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置。另外，本發(fā)明的目的在于提供能夠容易地且高精度地對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查方法。

本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查，該探針位置檢查裝置的特征在于，探針具有檢查用磁場(chǎng)形成部，該檢查用磁場(chǎng)形成部相應(yīng)于與被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的接觸位置而形成磁場(chǎng)，探針位置檢查裝置具有：基體部，其包含表面和多個(gè)磁傳感器，探針能夠與該表面接觸，該多個(gè)磁傳感器設(shè)置于與該表面平行的面內(nèi)，對(duì)基于檢查用磁場(chǎng)形成部的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)；以及輸出部，其與磁傳感器電連接，輸出基于磁場(chǎng)的磁傳感器的信號(hào)。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置，可以提供能夠容易地且高精度地對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查裝置。另外，能夠提供具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置。

另外，可以提供能夠容易地且高精度地對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查方法。

附圖說(shuō)明

圖1是表示實(shí)施方式1中的探針位置檢查裝置及半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。

圖2是表示實(shí)施方式1中的探針的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖3是表示本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置所具有的探針的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖4是表示實(shí)施方式1中的探針位置檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。

圖5是表示實(shí)施方式1中的探針位置檢查結(jié)果的基體部俯視圖。

圖6是表示實(shí)施方式1中的探針位置檢查結(jié)果的基體部俯視圖。

圖7是表示實(shí)施方式1的變形例中的、具有傳感器基板的探針位置檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。

圖8是表示實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。

具體實(shí)施方式

＜實(shí)施方式1＞

敘述本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置、以及具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的實(shí)施方式。此外，在本實(shí)施方式1中示出下述例子，即，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的電氣特性的評(píng)價(jià)前，使探針與具有磁傳感器的基體部接觸，根據(jù)磁傳感器所檢測(cè)的磁場(chǎng)的強(qiáng)度對(duì)探針的接觸部的位置進(jìn)行檢查。此外，在后面還將說(shuō)明，所謂被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置，是作為電氣特性等的測(cè)定的對(duì)象物的半導(dǎo)體裝置等，例如是半導(dǎo)體芯片、形成了多個(gè)半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體晶片。

圖1是表示本實(shí)施方式1中的探針位置檢查裝置40和具有該探針位置檢查裝置40的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的結(jié)構(gòu)的概略圖。半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有包含支撐面12a的工作臺(tái)12，該支撐面12a對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11進(jìn)行支撐。另外，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有多個(gè)探針20，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性的評(píng)價(jià)時(shí)，該多個(gè)探針20相對(duì)于被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11對(duì)電信號(hào)進(jìn)行輸入輸出。該探針20包含與在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的主面11a設(shè)置的電極(未圖示)接觸的接觸部21(參照?qǐng)D2(a))。另外，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有對(duì)探針20進(jìn)行支撐的絕緣板13和對(duì)該絕緣板13進(jìn)行支撐的探針基體14。

(探針)

圖2(a)至(c)是表示本實(shí)施方式1的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的探針20的基本結(jié)構(gòu)的概況的側(cè)視圖。此外，在這里，為了對(duì)探針20的特征進(jìn)行說(shuō)明，省略后述的檢查用磁場(chǎng)形成部的圖示。探針20具有接觸部21，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)時(shí)，該接觸部21與在主面11a設(shè)置的電極(未圖示)機(jī)械接觸并且電連接。在本實(shí)施方式1中，該接觸部21設(shè)置于探針20的前端。

此外，圖2(a)至(c)省略了半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的絕緣板13及探針基體14的圖示，探針20具有：筒部22，其與絕緣板13連接；以及電連接部23，其具有向外部進(jìn)行輸出的輸出端子的功能，該電連接部23經(jīng)由絕緣板13及探針基體14等所具有的金屬配線等而與連接部18a電連接。

另外，探針20還具有柱塞部24，柱塞部24的一端與接觸部21連接，另一端通過(guò)壓入部25而與電連接部23連接。壓入部25具有在內(nèi)部組裝了彈簧等彈性部件的構(gòu)造。壓入部25具有下述功能，即，在使接觸部21接觸而按壓于電極等時(shí)進(jìn)行滑動(dòng)而降低施加于接觸部21的應(yīng)力。圖2(c)是表示使探針20向箭頭的方向移動(dòng)、將接觸部21按壓于基體部41之上的保護(hù)部件46時(shí)的壓入部25的滑動(dòng)的情況的圖。此外，基體部41及保護(hù)部件46將在后面敘述。

在本實(shí)施方式1中說(shuō)明的是探針20在壓入部25的內(nèi)部包含具有滑動(dòng)性的彈性部件，但探針20不限于此，也可以是在外部具有彈性部件例如彈簧。另外，本實(shí)施方式1所示的探針20不限于圖2(a)所示的結(jié)構(gòu)，也可以是懸臂、層疊探針、線探針等。

探針20具有導(dǎo)電性。關(guān)于構(gòu)成探針20的材料，例如是在主成分中包含銅或者鎢、鎢錸合金等金屬成分。另外，就接觸部21而言，從提高導(dǎo)電性、提高耐久性等角度出發(fā)，例如優(yōu)選由包含金或者鈀、鉭、鉑等的材料覆蓋其表面而予以保護(hù)。

(檢查用磁場(chǎng)形成部)

圖3(a)是表示探針20的結(jié)構(gòu)的概況的側(cè)視圖。半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的探針20具有在接觸部21的周邊形成磁場(chǎng)的檢查用磁場(chǎng)形成部31。本實(shí)施方式1的探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31是具有剩磁的強(qiáng)磁體即磁化后的強(qiáng)磁體，如圖3(a)所示，探針20在柱塞部24具有環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31。如上所述，檢查用磁場(chǎng)形成部31的材料是強(qiáng)磁性材料，所謂強(qiáng)磁性材料，例如是包含鐵或者鈷、鎳中的任意者的材料。另外，為了維持磁化狀態(tài)，構(gòu)成檢查用磁場(chǎng)形成部31的材料例如也可以包含碳。

(探針位置檢查裝置)

圖4是表示探針位置檢查裝置40的結(jié)構(gòu)的概況的剖視圖。此外，在圖4中，針對(duì)基體部41的沉孔部45的部分示出剖面，省略了對(duì)探針20進(jìn)行支撐的絕緣板13的圖示。探針位置檢查裝置40具有基體部41?；w部41包含表面41a和位于與該表面41a相反側(cè)的背面41b。表面41a以可與探針20的接觸部21接觸的方式與探針20的接觸部21相對(duì)。在進(jìn)行探針20的位置檢查時(shí)，探針20的接觸部21與基體部41的表面41a接觸。

基體部41在與表面41a平行的面內(nèi)的方向具有多個(gè)磁傳感器42。探針位置檢查裝置40還具有輸出部43，該輸出部43用于將基于磁傳感器42所檢測(cè)到的磁場(chǎng)的信號(hào)取出至外部。磁傳感器42和輸出部43由在基體部41的背面41b側(cè)設(shè)置的配線44電連接。下面，對(duì)探針位置檢查裝置40的各結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

(磁傳感器)

基體部41在與表面41a平行的面內(nèi)的方向具有多個(gè)磁傳感器42，這些磁傳感器42對(duì)由探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，在本實(shí)施方式1中是對(duì)由強(qiáng)磁體形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)。在本實(shí)施方式1中，磁傳感器42配置于在基體部41的背面41b設(shè)置的多個(gè)沉孔部45。磁傳感器42在基體部41的面內(nèi)格子狀地配置。優(yōu)選磁傳感器42的設(shè)置個(gè)數(shù)大于或等于探針20的設(shè)置個(gè)數(shù)，在本實(shí)施方式1中，設(shè)置與探針20的個(gè)數(shù)相同數(shù)量的磁傳感器42。

作為磁傳感器42，使用對(duì)磁場(chǎng)的靜態(tài)狀態(tài)即靜態(tài)磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的靜態(tài)磁場(chǎng)傳感器。另外，作為磁傳感器42，使用將霍爾元件和處理電路一體化后的霍爾ic。例如，在本實(shí)施方式1中，磁傳感器42是線性輸出型的霍爾ic。另外，磁傳感器42也可以是2值輸出型的霍爾ic。關(guān)于線性輸出型的霍爾ic或者2值輸出型的霍爾ic的選定，優(yōu)選根據(jù)從磁傳感器42輸出的信號(hào)的信號(hào)處理的使用情況來(lái)區(qū)分使用。

磁傳感器42通過(guò)配線44與輸出部43電連接，基于檢測(cè)出的磁場(chǎng)的信號(hào)被輸出至輸出部43。在本實(shí)施方式1中，該配線44設(shè)置于基體部41的背面41b側(cè)。輸出部43具有將磁傳感器42的輸出信號(hào)向外部取出的功能。既可以是輸出部43經(jīng)由分別與多個(gè)磁傳感器42連接的配線44進(jìn)行輸出，也可以是輸出部43具有開(kāi)關(guān)，從而從上述多個(gè)配線44僅輸出來(lái)自所期望的磁傳感器42的信號(hào)。

(基體部)

探針位置檢查裝置40在探針的位置檢查中使用磁場(chǎng)。為了使設(shè)置用于對(duì)該磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器42的基體部41自身不成為磁場(chǎng)檢測(cè)的干擾因素，本實(shí)施方式1的基體部41由非磁性材料構(gòu)成。另外，要求基體部41具有能夠耐受在進(jìn)行探針的位置檢查時(shí)將探針20的接觸部21向基體部41進(jìn)行按壓而產(chǎn)生的應(yīng)力的強(qiáng)度。例如，如果基體部41由于將探針20向基體部41進(jìn)行按壓而變形或者破損，則不能檢測(cè)出準(zhǔn)確的探針20的位置?；谝陨侠碛桑诒緦?shí)施方式1中，基體部41以厚度為幾mm的工程塑料作為主材料而構(gòu)成。

此外，所謂工程塑料，例如是耐熱性大于或等于100℃的樹(shù)脂。另外，例如是強(qiáng)度大于或等于50mpa的樹(shù)脂。另外，例如是具有彎曲彈性模量大于或等于2.4gpa的特性的樹(shù)脂。另外，所謂工程塑料，例如是聚縮醛或者聚酰胺、聚碳酸酯、改性聚苯醚、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯等，但不限于此。

另外，基體部41的主要構(gòu)成材料也可以是不銹鋼材料或者陶瓷材料。對(duì)于包含上述工程塑料或者不銹鋼材料、陶瓷材料的基體部41，其破損、劣化少，不需要更換，與其他材料相比能夠低成本地制作。

另外，基體部41在表面41a之上具有保護(hù)部件46。保護(hù)部件46以能夠進(jìn)行更換的方式可拆裝地設(shè)置于表面41a。保護(hù)部件46由具有柔性的軟質(zhì)原材料構(gòu)成，例如是添加了作為導(dǎo)電性物質(zhì)的導(dǎo)電填料的pvc(polyvinylchloride)片材，但不限于此。

(磁屏蔽件)

本實(shí)施方式1的探針位置檢查裝置40在基體部41的背面41b側(cè)還具有磁屏蔽件49。磁屏蔽件49具有至少將磁傳感器42和配線44覆蓋的大小。磁屏蔽件49是強(qiáng)磁性部件，優(yōu)選含有例如fe－ni系的金屬。所謂fe－ni系的金屬，例如是坡莫合金，但不限于此。磁屏蔽件49通過(guò)螺釘固定等而與基體部41進(jìn)行固定。

另外，探針位置檢查裝置40也可以在基體部41的外周、優(yōu)選在側(cè)面?zhèn)染哂写牌帘渭?9。另外，探針位置檢查裝置40也可以在基體部41的背面41b側(cè)和外周這兩處具有磁屏蔽件49。上述磁屏蔽件49降低了來(lái)自與由檢查用磁場(chǎng)形成部31形成的磁場(chǎng)不同起源的磁場(chǎng)。通過(guò)由磁屏蔽件49對(duì)上述噪聲磁場(chǎng)進(jìn)行屏蔽，從而探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針位置進(jìn)行檢測(cè)。

(溫度傳感器)

本實(shí)施方式1的探針位置檢查裝置40還具有溫度傳感器50作為對(duì)磁傳感器42的周邊的溫度進(jìn)行測(cè)定的溫度檢測(cè)部。在磁傳感器42的輸出存在溫度依賴(lài)性的情況下，能夠使用溫度傳感器50的輸出進(jìn)行磁傳感器42的輸出校正。在本實(shí)施方式1中，該輸出校正是由評(píng)價(jià)部16進(jìn)行的。此外，在溫度穩(wěn)定地得到管理的情況下，不需要進(jìn)行使用了溫度傳感器50的輸出校正。

(半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置)

下面，使用圖1，對(duì)具有上述探針位置檢查裝置40的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有工作臺(tái)12，該工作臺(tái)12包含對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11進(jìn)行支撐的支撐面12a。工作臺(tái)12具有使被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的設(shè)置面11b和支撐面12a接觸而進(jìn)行固定的手段。例如，該固定手段是真空吸附、靜電吸附。另外，例如工作臺(tái)12是卡盤(pán)臺(tái)。

在本實(shí)施方式1中，被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11是在主面11a和設(shè)置面11b之間流過(guò)電流的縱型構(gòu)造的半導(dǎo)體裝置。為了進(jìn)行評(píng)價(jià)，被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11在主面11a之上具有與探針20的接觸部21接觸的一個(gè)極性的電極，另外，在與工作臺(tái)12的支撐面12a接觸的設(shè)置面11b之上具有另一個(gè)極性的電極(電極均未圖示)。此外，在本實(shí)施方式1中，作為一個(gè)例子示出能夠在面外方向即將主面11a和設(shè)置面11b之間連接的方向流過(guò)大電流的縱型構(gòu)造的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11，但不限于此，被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11也可以是在其主面11a的面內(nèi)方向進(jìn)行電信號(hào)的輸入輸出的橫型構(gòu)造的半導(dǎo)體裝置。另外，被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11例如是半導(dǎo)體芯片、形成了多個(gè)半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體晶片，但不限于此，只要是能夠固定于工作臺(tái)12的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11即可。另外，如前所述，本實(shí)施方式1的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有多個(gè)探針20。由此，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10能夠使流過(guò)各探針20的電流密度大致一致。半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10能夠使例如大于或等于5a的大電流流過(guò)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11。

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10除具有對(duì)連接了探針20的絕緣板13進(jìn)行支撐的探針基體14以外，還具有與探針基體14連接的移動(dòng)臂15，通過(guò)移動(dòng)臂15進(jìn)行移動(dòng)，從而使探針20相對(duì)于工作臺(tái)12的相對(duì)位置移動(dòng)。此外，在本實(shí)施方式1中示出由1個(gè)移動(dòng)臂15對(duì)探針基體14進(jìn)行支撐的結(jié)構(gòu)例，但不限于此，也可以由多個(gè)移動(dòng)臂15穩(wěn)定地進(jìn)行支撐。另外，就探針20相對(duì)于被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的相對(duì)位置而言，不僅可以是通過(guò)移動(dòng)臂15使探針基體14進(jìn)行移動(dòng)而予以變更的結(jié)構(gòu)，也可以是使被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的工作臺(tái)12進(jìn)行移動(dòng)而予以變更的結(jié)構(gòu)。

另外，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)的評(píng)價(jià)部16。并且，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有將該評(píng)價(jià)部16和探針20電連接的信號(hào)線17a和連接部18a。此外，未圖示連接部18a和探針20之間的電連接，但例如通過(guò)在絕緣板13、探針基體14設(shè)置的金屬配線等進(jìn)行電連接。

另外，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有將評(píng)價(jià)部16和支撐面12a電連接的信號(hào)線17b和連接部18b。此外，未圖示連接部18b和支撐面12a之間的電連接，但如果工作臺(tái)整體是由導(dǎo)體制作的，則連接部18b和支撐面12a導(dǎo)通。此外，例如也可以通過(guò)金屬配線等使連接部18b和支撐面12a電連接。另外，優(yōu)選以下述方式對(duì)連接部18a和連接部18b之間進(jìn)行配線，即，無(wú)論在經(jīng)由哪個(gè)探針20的情況下，從連接部18a起經(jīng)由探針20直至連接部18b為止的距離均大致一致。

(探針位置檢查裝置和半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的連接)

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有保持部47，該保持部47對(duì)探針位置檢查裝置40所具有的基體部41進(jìn)行支撐。另外，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有第2拆裝部48，該第2拆裝部48將基體部41可拆裝地連接至保持部47。即，探針位置檢查裝置40通過(guò)第2拆裝部48和保持部47而與半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10連接。

此外，在通過(guò)第2拆裝部48和保持部47而將探針位置檢查裝置40連接至半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10時(shí)，優(yōu)選以使基體部41的表面41a與支撐面12a平行的方式而使探針位置檢查裝置40與半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10連接。另外，優(yōu)選以使表面41a和支撐面12a的高度大致一致的方式連接于半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10。另外，優(yōu)選以使基體部41和工作臺(tái)12相鄰的方式進(jìn)行配置、連接。優(yōu)選保持部47由具有對(duì)探針位置檢查裝置40進(jìn)行保持所需的強(qiáng)度的材料構(gòu)成，例如設(shè)為不銹鋼等金屬材料，但不限于此。

第2拆裝部48例如是螺釘。另外，能夠通過(guò)第2拆裝部48對(duì)基體部41進(jìn)行更換。例如，通過(guò)在已設(shè)置的基體部41和具有與之不同的磁傳感器42的配置的其他基體部之間進(jìn)行更換而設(shè)置于探針位置檢查裝置40，從而能夠?qū)嵤┚哂懈鞣N配置的探針20的位置檢查。

另外，在本實(shí)施方式1中，探針位置檢查裝置40的輸出部43通過(guò)信號(hào)線17c而與半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的評(píng)價(jià)部16電連接。輸出部43將在基體部41設(shè)置的磁傳感器42的輸出信號(hào)輸出至評(píng)價(jià)部16。評(píng)價(jià)部16使用該輸出信號(hào)對(duì)探針20的位置進(jìn)行計(jì)算。

(探針位置檢查方法)

下面，對(duì)具有上述探針位置檢查裝置40的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的動(dòng)作和使用了探針位置檢查裝置40的探針位置檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式1中示出下述例子，即，在半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)前，探針位置檢查裝置40進(jìn)行探針20的位置檢查。其概況也是，探針位置檢查裝置40使包含檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20與包含保護(hù)部件46的基體部41接觸。此時(shí)，使探針20以與實(shí)際的評(píng)價(jià)時(shí)近似的載荷向基體部41進(jìn)行按壓。磁傳感器42對(duì)磁場(chǎng)的強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，變換為電信號(hào)而輸出。評(píng)價(jià)部16對(duì)該輸出結(jié)果進(jìn)行解析而對(duì)探針20的接觸部21的位置進(jìn)行計(jì)算。在下面對(duì)其詳細(xì)步驟進(jìn)行說(shuō)明。

如圖3(a)所示，準(zhǔn)備具有檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20(第1步驟)。在本實(shí)施方式1中，檢查用磁場(chǎng)形成部31是被磁化后的環(huán)狀的強(qiáng)磁體，設(shè)置于柱塞部24。由此，探針20在接觸部21的周邊形成磁場(chǎng)。

然后，如圖1所示，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10通過(guò)真空吸附將被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的設(shè)置面11b固定至工作臺(tái)12之上的支撐面12a(第2步驟)。此外，第1步驟和第2步驟也可以顛倒順序。

然后，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10通過(guò)移動(dòng)臂15使具有檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20移動(dòng)至探針位置檢查裝置40所具有的基體部41之上。在對(duì)探針20向基體部41的大致的接觸位置進(jìn)行調(diào)整后，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10以與被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性的評(píng)價(jià)時(shí)相同的載荷使探針20接觸而按壓至基體部41之上的保護(hù)部件46(第3步驟)。

在這里，使用圖2(a)至(c)對(duì)步驟s3中的探針20向基體部41的接觸動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。此外，在這里，對(duì)探針20向探針位置檢查裝置40所具有的基體部41的接觸動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明，探針20相對(duì)于被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的接觸動(dòng)作也是同樣的。圖2(a)至圖2(c)表示使探針20與由保護(hù)部件46覆蓋的基體部41的表面41a接觸時(shí)的探針20的狀態(tài)。圖2(a)是探針20與表面41a接觸前的初始狀態(tài)。圖2(b)表示使探針20朝向圖中－z方向即圖中的箭頭的方向下降而接近至表面41a，接觸部21和保護(hù)部件46接觸后的狀態(tài)。圖2(c)表示進(jìn)一步使探針20朝向－z方向下降后的狀態(tài)。壓入部25通過(guò)在筒部22內(nèi)設(shè)置的彈性部件而進(jìn)行滑動(dòng)、被壓入，探針20的接觸部21與表面41a接觸。即，通過(guò)將探針20向基體部41的方向壓入，從而接觸部21與表面41a可靠地接觸，其接觸位置穩(wěn)定化。此外，在本說(shuō)明書(shū)中，在由基體部41具有保護(hù)部件46的探針位置檢查裝置40進(jìn)行探針位置檢查的情況下，也可以將接觸部21所接觸的表面41a解讀為保護(hù)部件46。即，通過(guò)將探針20向基體部41的方向壓入，從而接觸部21與保護(hù)部件46可靠地接觸，其接觸位置穩(wěn)定化，由此也實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的效果。在圖2(c)中未圖示磁傳感器42，但通過(guò)將接觸部21壓入至保護(hù)部件46，從而與磁傳感器42的距離變近。

在第3步驟之后，在基體部41的面內(nèi)所具有的多個(gè)磁傳感器42對(duì)與基體部41接觸的探針20的檢查用磁場(chǎng)形成部31、即強(qiáng)磁體所形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，輸出基于所檢測(cè)出的磁場(chǎng)的信號(hào)(第4步驟)。即，磁傳感器42檢測(cè)以與進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)相同的載荷將探針20向基體部41進(jìn)行按壓的狀態(tài)下的磁場(chǎng)。

上述磁傳感器42的輸出信號(hào)通過(guò)配線44向輸出部43輸出。在本實(shí)施方式1中，如圖1及圖4所示，由于輸出部43通過(guò)信號(hào)線17c而與評(píng)價(jià)部16電連接，因此磁傳感器42的輸出被向評(píng)價(jià)部16輸入。評(píng)價(jià)部16基于該輸出信號(hào)對(duì)探針20的接觸部21的位置進(jìn)行計(jì)算(第5步驟)。在該第5步驟中，評(píng)價(jià)部16在磁傳感器42所檢測(cè)的磁敏方向的磁場(chǎng)達(dá)到了規(guī)定水平的情況下推定為探針20與設(shè)置了該磁傳感器42的部位附近接觸。

圖5表示使位于正常的設(shè)置位置的9個(gè)探針20與基體部41接觸時(shí)配置于其面內(nèi)的9個(gè)磁傳感器42(以虛線的矩形進(jìn)行圖示)所檢測(cè)出的接觸部21的接觸位置(以黑圓點(diǎn)進(jìn)行圖示)，是基體部41的俯視圖。在該情況下，磁傳感器42的輸出信號(hào)均取類(lèi)似的值。圖6表示在圖中左下的1個(gè)探針20a發(fā)生了錯(cuò)位的情況下，磁傳感器42所檢測(cè)出的接觸部21的位置，是基體部41的俯視圖。與其他8個(gè)磁傳感器42的輸出相比，位于圖中左下的1個(gè)探針20a附近的磁傳感器42a的輸出示出異常值。在本實(shí)施方式1中，由于磁傳感器42是線性輸出型的霍爾ic，因此來(lái)自磁傳感器42a的輸出信號(hào)與其他磁傳感器42相比較小。此外，如果磁傳感器42是2值輸出型的磁傳感器、即在檢測(cè)強(qiáng)度比閾值高的情況下輸出on信號(hào)、在檢測(cè)強(qiáng)度比閾值低的情況下輸出off信號(hào)的方式，則僅左下的磁傳感器42的輸出為off。如上所述，在第5步驟中，探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的接觸部21在基體部41的面內(nèi)的位置進(jìn)行檢查。

在檢測(cè)到探針20的位置有異常的情況下，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10暫時(shí)中斷之后預(yù)定要實(shí)施的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性評(píng)價(jià)的處理流程(第6步驟)。由此，探針位置檢查裝置40的使用者能夠?qū)μ结?0的位置進(jìn)行檢修、修正。

如果探針20的位置無(wú)異常，則用戶根據(jù)需要將安裝于探針20的檢查用磁場(chǎng)形成部31、即強(qiáng)磁體卸下。特別地，在由強(qiáng)磁體的剩磁形成的磁場(chǎng)可能影響被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性評(píng)價(jià)的情況下，優(yōu)選用戶從探針20將強(qiáng)磁體31卸下。另外，例如優(yōu)選在進(jìn)行磁器件的評(píng)價(jià)時(shí)也從探針20將強(qiáng)磁體31卸下(第7步驟)。

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10通過(guò)移動(dòng)臂15而使探針20向被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11之上移動(dòng)(第8步驟)。然后，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10使探針20與在被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的主面11a設(shè)置的電極接觸，實(shí)施電氣特性的評(píng)價(jià)(第9步驟)。

此外，在本實(shí)施方式1中，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性的評(píng)價(jià)前對(duì)探針20的位置進(jìn)行了檢查，但其檢查時(shí)機(jī)不限于此。另外，通過(guò)探針位置檢查裝置40而進(jìn)行的探針20的位置檢查也可以針對(duì)每個(gè)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11或者以規(guī)定的頻度來(lái)實(shí)施。

(效果)

如上所述，本實(shí)施方式1中的探針位置檢查裝置40是對(duì)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的探針20的位置進(jìn)行檢查的探針位置檢查裝置40，探針20具有相應(yīng)于與被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的接觸位置而形成磁場(chǎng)的檢查用磁場(chǎng)形成部31，該探針位置檢查裝置40具有：基體部41，其包含表面41a和多個(gè)磁傳感器42，探針20能夠與該表面41a接觸，該多個(gè)磁傳感器42設(shè)置于與該表面41a平行的面內(nèi)，對(duì)由檢查用磁場(chǎng)形成部31形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)；以及輸出部43，其與磁傳感器42電連接，輸出基于磁場(chǎng)的磁傳感器42的信號(hào)。根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，探針位置檢查裝置40能夠?qū)μ结?0的位置進(jìn)行檢查，而不利用探針痕跡。即，由于探針位置檢查裝置40不需要進(jìn)行像專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載那樣的使用了變形體、針跡轉(zhuǎn)印部件的檢查，因此能夠?qū)崿F(xiàn)探針位置的檢查時(shí)間的短時(shí)間化以及低成本化。另外，探針位置檢查裝置40由于不使用拍攝單元，因而也不需要考慮攝像時(shí)的干擾因素等，能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢查。

另外，本實(shí)施方式1中的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有：該探針位置檢查裝置40；工作臺(tái)12，其對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11進(jìn)行支撐；探針20；以及評(píng)價(jià)部16，其經(jīng)由探針20而相對(duì)于在工作臺(tái)12之上設(shè)置的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11對(duì)電信號(hào)進(jìn)行輸入輸出，對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10能夠在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性等的評(píng)價(jià)前通過(guò)探針位置檢查裝置40而準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢查。其結(jié)果，能夠降低由被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11所具有的電極和探針20的接觸位置的錯(cuò)位導(dǎo)致的故障的頻度，例如降低對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11未施加所期望的電流或者電壓這一故障、探針20接觸至與原本應(yīng)該接觸的電極不同的區(qū)域而使被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11被破壞這一故障的頻度。

使用了本實(shí)施方式1中的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的探針位置檢查方法具有下述步驟，即：使探針20與基體部41的表面41a接觸；在基體部41設(shè)置的磁傳感器42對(duì)基于探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)；以及輸出部43輸出基于由磁傳感器42檢測(cè)出的磁場(chǎng)的輸出信號(hào)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，探針位置檢查方法在探針20的位置檢查中能夠從輸出部43得到用于對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢查的磁傳感器42的信號(hào)，而無(wú)需利用探針痕跡。例如，通過(guò)將從該輸出部43得到的信號(hào)輸入至硬件進(jìn)行解析，從而能夠?qū)崿F(xiàn)探針位置的準(zhǔn)確的計(jì)算。由于本發(fā)明所涉及的探針位置檢查方法不需要進(jìn)行像專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載那樣的使用了變形體、針跡轉(zhuǎn)印部件的檢查，因此能夠?qū)崿F(xiàn)探針的檢查時(shí)間的短時(shí)間化。另外，本發(fā)明所涉及的探針位置檢查方法由于不使用拍攝單元，因而也不需要考慮攝像時(shí)的干擾因素等，能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢查。

另外，本探針位置檢查方法還具有下述步驟，即，評(píng)價(jià)部16從輸出部43將輸出信號(hào)輸入而進(jìn)行解析，對(duì)探針20和基體部41的表面41a的接觸位置進(jìn)行計(jì)算。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的評(píng)價(jià)部16對(duì)磁傳感器42的信號(hào)進(jìn)行解析，對(duì)探針20的準(zhǔn)確的位置進(jìn)行計(jì)算。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式1中的探針位置檢查裝置40和半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的結(jié)構(gòu)，還實(shí)現(xiàn)下述效果。

本實(shí)施方式1中的探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31是強(qiáng)磁體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在設(shè)置了檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20的周?chē)纬纱艌?chǎng)。其結(jié)果，能夠由探針位置檢查裝置40所具有的磁傳感器42對(duì)該磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41在與表面41a相反側(cè)包含背面41b，磁傳感器42配置于背面41b側(cè)。由此，避免探針20和磁傳感器42的直接接觸，因此探針位置檢查裝置40防止因探針20與磁傳感器42的接觸所導(dǎo)致的物理?yè)p傷。與需要電氣接觸的傳感器不同，磁傳感器42即使不與作為檢測(cè)對(duì)象的探針20接觸也能夠?qū)λ鼈兊奈恢眠M(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41還包含沉孔部45，磁傳感器42配置于沉孔部45。由此，將磁傳感器42向基體部41進(jìn)行設(shè)置時(shí)的對(duì)位變得容易。另外，由于在基體部41的面內(nèi)未設(shè)置沉孔部45的部分的厚度比形成有沉孔部45的部分的厚度厚，因此探針位置檢查裝置40針對(duì)探針20的接觸等的外部應(yīng)力能夠確保強(qiáng)度。另外，在本實(shí)施方式1中，由于磁傳感器42設(shè)置于在背面41b設(shè)置的沉孔部45，因此能夠使磁傳感器42和探針20的距離變近，提高磁場(chǎng)的檢測(cè)精度。

探針位置檢查裝置40所具有的磁傳感器42是對(duì)靜態(tài)磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的靜態(tài)磁場(chǎng)傳感器。由此，探針位置檢查裝置40在進(jìn)行磁場(chǎng)檢測(cè)時(shí)不需要使探針20和磁傳感器42的距離持續(xù)地變動(dòng)。即，如本實(shí)施方式1所示，能夠在將探針20的接觸部21按壓而接觸于基體部41的狀態(tài)下進(jìn)行探針20的位置檢查，探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40所具有的磁傳感器42是線性輸出型的霍爾ic、或者2值輸出型的霍爾ic中的任意者。就上述霍爾ic而言，霍爾元件和處理電路被一體化，能夠比其他磁傳感器更為廉價(jià)地構(gòu)建輸出處理電路。并且，由于線性輸出型的霍爾ic輸出與所檢測(cè)出的磁場(chǎng)的強(qiáng)度相應(yīng)的信號(hào)，因此能夠容易地對(duì)探針20和磁傳感器42的距離進(jìn)行計(jì)算。另外，由于線性輸出型的霍爾ic能夠容易地與探針20所包含的檢查用磁場(chǎng)形成部31的磁化的情況相應(yīng)地使檢測(cè)閾值變化，因此能夠?qū)崿F(xiàn)檢測(cè)精度的提高。2值輸出型的霍爾ic與其他磁傳感器相比能夠?qū)崿F(xiàn)輸出處理電路的簡(jiǎn)化。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41包含非磁性材料。由此，由于基體部41自身不會(huì)成為磁場(chǎng)檢測(cè)的干擾因素，因此探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41由不銹鋼材料、陶瓷材料或者工程塑料中的任意者構(gòu)成。通過(guò)使用工程塑料作為基體部41的構(gòu)成材料，從而能夠抑制因探針20的接觸應(yīng)力導(dǎo)致的基體部41的變形，探針位置檢查裝置40能夠高精度地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢查。另外，就工程塑料而言，由于其強(qiáng)度，即使是長(zhǎng)期的反復(fù)使用，也難以發(fā)生破損、劣化，因此降低了因劣化、破損等導(dǎo)致的基體部41的更換必要性。另外，工程塑料容易加工，通過(guò)注塑成型等而能夠廉價(jià)且容易地形成沉孔部45。另外，工程塑料與具有上述特性的其他材料相比更廉價(jià)。另外，對(duì)于包含不銹鋼材料、陶瓷材料的基體部41，其破損、劣化也少，不需要更換，與其他材料相比能夠低成本地制作。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41還具有對(duì)表面41a進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)部件46。保護(hù)部件46保護(hù)基體部41及接觸部21不受將探針20按壓于基體部41的表面41a時(shí)的應(yīng)力損害。由此，設(shè)置保護(hù)部件46這一做法能夠?qū)崿F(xiàn)基體部41的長(zhǎng)期的反復(fù)使用，能夠減小更換的必要性。

另外，具有探針位置檢查裝置40的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10還具有：保持部47，其與基體部41連接而對(duì)該基體部41進(jìn)行支撐；以及第2拆裝部48，其將基體部41和保持部47可拆裝地連接。由此，基體部41能夠更換。例如，通過(guò)在已設(shè)置的基體部41和具有與之不同的磁傳感器42或者實(shí)施方式2所說(shuō)明的外部磁場(chǎng)賦予部52的配置的其他基體部之間進(jìn)行更換而設(shè)置于探針位置檢查裝置40，從而半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10能夠?qū)嵤┚哂懈鞣N配置的探針20的位置檢查。并且，還能夠容易地隨后將本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置40附加至已有的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10。

探針位置檢查裝置40在基體部41的背面41b側(cè)或者基體部41的外周還具有磁屏蔽件49。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，降低了來(lái)自與檢查用磁場(chǎng)形成部31或者實(shí)施方式2所說(shuō)明的賦予外部磁場(chǎng)的外部磁場(chǎng)賦予部52不同起源的磁場(chǎng)。通過(guò)由磁屏蔽件49對(duì)上述噪聲磁場(chǎng)進(jìn)行屏蔽，從而探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針位置進(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40還具有溫度傳感器50作為對(duì)磁傳感器42的周邊的溫度進(jìn)行測(cè)定的溫度檢測(cè)部。由于溫度傳感器50能夠使用該溫度傳感器50的輸出信號(hào)而實(shí)現(xiàn)磁傳感器42的輸出信號(hào)的校正，因此能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)，而不依賴(lài)于檢查環(huán)境的溫度。

＜實(shí)施方式的變形例＞

以上基于實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置、具有該探針位置檢查裝置的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置、以及使用了探針位置檢查裝置的探針位置檢查方法進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明所實(shí)現(xiàn)的效果不限定于該實(shí)施方式。下面敘述本實(shí)施方式1的變形例及其效果。

(檢查用磁場(chǎng)形成部的變形例)

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的探針20的材料也可以包含賦予磁性的磁性材料。即，用于進(jìn)行探針20的位置檢測(cè)的磁場(chǎng)也可以由構(gòu)成探針20的材料提供。優(yōu)選該磁性材料是強(qiáng)磁性材料，優(yōu)選含有例如鐵或者鈷、鎳、它們的合金中的任意者。通過(guò)使探針20自身被賦予磁性，從而不需要在探針20另行附加檢查用磁場(chǎng)形成部31，易于操作。

另外，在上述實(shí)施方式中，探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31附加于柱塞部24，但其附加位置不限于此。例如，如圖3(b)所示，也可以是在筒部22具有筒狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20，在該情況下，易于安裝。

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10也可以還具有在檢查用磁場(chǎng)形成部31即強(qiáng)磁體的外周流過(guò)環(huán)狀的電流而形成磁化用磁場(chǎng)的磁化部32。在該情況下，該檢查用磁場(chǎng)形成部31也可以是通過(guò)被賦予磁化用磁場(chǎng)而得到剩磁的強(qiáng)磁體。即，作為檢查用磁場(chǎng)形成部31，既可以將已被磁化的強(qiáng)磁體向探針20進(jìn)行設(shè)置，也可以在將未被磁化的強(qiáng)磁體設(shè)置于探針20后通過(guò)磁化部32使該強(qiáng)磁體磁化。并且，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10也可以構(gòu)成為，為了加強(qiáng)該磁化而對(duì)強(qiáng)磁體進(jìn)行追加的磁化。圖3(c)示出該磁化部32的例子，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10在設(shè)置于筒部22的筒狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31的外周包含線圈，能夠在檢查用磁場(chǎng)形成部31的外周流過(guò)環(huán)狀的電流而對(duì)檢查用磁場(chǎng)形成部31進(jìn)行磁化。圖7圖示出具有圖3(c)所示的檢查用磁場(chǎng)形成部31和磁化部32的探針位置檢查裝置40的一個(gè)例子。

另外，磁化部32不限于上述結(jié)構(gòu)。例如，圖3(d)所示的探針20除具有環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31以外，在其附近還具有永磁鐵33作為磁化部。該永磁鐵33例如設(shè)置于在環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31的一部分設(shè)置的切口部。探針20也可以具有多個(gè)永磁鐵33。其設(shè)置手段例如是嵌合構(gòu)造、粘結(jié)構(gòu)造。通過(guò)使探針20包含永磁鐵33，從而能夠維持檢查用磁場(chǎng)形成部31的磁化狀態(tài)。此外，在探針20具有永磁鐵33，該永磁鐵33并不是作為磁化部而是作為檢查用磁場(chǎng)形成部31的情況下，實(shí)現(xiàn)與實(shí)施方式1相同的效果。

優(yōu)選半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31具有能夠相對(duì)于探針20進(jìn)行拆裝的構(gòu)造。所謂可拆裝的構(gòu)造，例如是嵌合構(gòu)造、粘結(jié)構(gòu)造。由于檢查用磁場(chǎng)形成部31能夠相對(duì)于探針20進(jìn)行拆裝，因此檢查用磁場(chǎng)形成部31的更換變得容易。例如，容易相應(yīng)于探針20的位置檢查所需的磁場(chǎng)的強(qiáng)度而對(duì)檢查用磁場(chǎng)形成部31進(jìn)行更換。另外，在作為被評(píng)價(jià)物的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11是磁器件的情況下，在進(jìn)行探針位置檢查后能夠?qū)z查用磁場(chǎng)形成部31卸下，不會(huì)影響該磁器件的電氣特性評(píng)價(jià)。例如，圖3(a)所示的環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31通過(guò)嵌合構(gòu)造而固定至探針20。另外，例如，圖3(b)所示的筒狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31通過(guò)粘結(jié)構(gòu)造而固定至探針20。另外，例如，就圖3(d)所示的探針20而言，環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31所包含的切口部和永磁鐵33的一部分通過(guò)嵌合構(gòu)造而進(jìn)行固定。

半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10也可以還具有將探針20和半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10可拆裝地連接的第3拆裝部，第3拆裝部是檢查用磁場(chǎng)形成部31。圖3(e)是表示包含作為第3拆裝部34的插座34的探針20的例子的圖。即，插座34例如也可以是具有剩磁的強(qiáng)磁體。

另外，插座34也可以是能夠由磁化用磁場(chǎng)進(jìn)行磁化的強(qiáng)磁體，在該情況下，如圖3(e)所示，插座34也可以在設(shè)置于其一部分的切口部具有永磁鐵33作為磁化部。其設(shè)置手段是嵌合構(gòu)造、粘結(jié)構(gòu)造，永磁鐵33是可拆裝的。另外，如圖3(f)所示，半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10也可以在插座34的周?chē)€圈作為磁化部32。另外，除上述結(jié)構(gòu)以外，探針20也可以與插座34獨(dú)立地具有檢查用磁場(chǎng)形成部31。通過(guò)使半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有插座34作為第3拆裝部，從而能夠?qū)崿F(xiàn)探針20的更換，而不伴隨線圈32的拆裝，因此半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的維護(hù)性提高，能夠削減成本。

(磁傳感器的變形例)

磁傳感器42也可以設(shè)置于基體部41的表面41a。由于在表面41a配置的磁傳感器42能夠高靈敏度地對(duì)檢查用磁場(chǎng)形成部31所形成的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，因此探針20的位置檢查精度提高。

優(yōu)選磁傳感器42的設(shè)置個(gè)數(shù)大于或等于探針20的設(shè)置個(gè)數(shù)。由此，通過(guò)配置磁傳感器42，從而探針20的位置檢查的精度提高。另一方面，上述磁傳感器42的配置和個(gè)數(shù)是考慮到與磁傳感器42連接的配線的繁雜程度、來(lái)自磁傳感器42的輸出信號(hào)的處理的繁雜程度而與探針20的所期望的位置檢查精度相應(yīng)地設(shè)定的。即，考慮實(shí)際進(jìn)行評(píng)價(jià)的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的焊盤(pán)尺寸而進(jìn)行設(shè)定。

優(yōu)選探針位置檢查裝置40所具有的磁傳感器42是將與平行于表面41a的面內(nèi)方向不同的方向的磁場(chǎng)分量作為磁敏方向進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器42。即，優(yōu)選磁傳感器42構(gòu)成為，面外方向是磁敏方向。由此，不論探針20的前端的高度波動(dòng)如何，都能夠高精度地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

探針位置檢查裝置40所具有的基體部41也可以具有傳感器基板41d和第1拆裝部51，該傳感器基板41d包含基體部主體41c和多個(gè)磁傳感器42，該第1拆裝部51將傳感器基板41d相對(duì)于基體部主體41c進(jìn)行拆裝。圖7是表示在背面41b具有傳感器基板41d的探針位置檢查裝置40的結(jié)構(gòu)的概況的圖。傳感器基板41d例如是將多個(gè)磁傳感器42安裝至印刷基板后的基板。傳感器基板41d使將磁傳感器42向基體部41安裝時(shí)的各磁傳感器42的安裝位置容易決定。

另外，在傳感器基板41d之上設(shè)置有用于將磁傳感器42的輸出信號(hào)輸出至輸出部43的配線44。就該配線44而言，以能夠與多個(gè)磁傳感器42的配置組合相對(duì)應(yīng)的方式預(yù)先形成多個(gè)配線圖案。磁傳感器42與該配線44的圖案相匹配地可拆裝地設(shè)置于傳感器基板41d。另外，傳感器基板41d例如是印刷基板，在該情況下，配線44的導(dǎo)體部分能夠通過(guò)圖案化容易地形成，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。如上所述，通過(guò)使用傳感器基板41d，從而能夠抑制設(shè)置了多個(gè)配線44的情況下的與磁傳感器42的更換等維護(hù)相伴的繁雜程度。另外，能夠與探針20的配置變更相應(yīng)地僅通過(guò)印刷基板的更換來(lái)予以應(yīng)對(duì)。

另外，第1拆裝部51使傳感器基板41d的更換能夠容易地進(jìn)行。例如，能夠與探針20的配置變更相應(yīng)地容易地更換為具有不同的磁傳感器42的配置的傳感器基板41d。

＜實(shí)施方式2＞

本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40示出如下的探針位置檢查裝置40及半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的例子，該探針位置檢查裝置40及半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10即使在探針20所包含的檢查用磁場(chǎng)形成部31是順磁體(paramagnet)或者未被磁化的強(qiáng)磁體的情況下也能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。此外，對(duì)與實(shí)施方式1相同的結(jié)構(gòu)省略說(shuō)明。

(磁傳感器)

圖8是表示本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40的結(jié)構(gòu)的圖。此外，在圖8中，針對(duì)基體部41的部分示出剖面。磁傳感器42與實(shí)施方式1同樣地，配置于在基體部41的背面41b設(shè)置的多個(gè)沉孔部45。本實(shí)施方式2的磁傳感器42是將不同于與基體部41的表面41a平行的面內(nèi)方向的方向即面外方向的磁場(chǎng)分量作為磁敏方向進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器。磁傳感器42高靈敏度地對(duì)將探針20的接觸部21和磁傳感器42之間連結(jié)的方向的磁通進(jìn)行檢測(cè)。本實(shí)施方式2的磁傳感器42優(yōu)選是線性輸出型的霍爾ic。如果是線性輸出型的霍爾ic，則探針位置檢查裝置40能夠通過(guò)磁傳感器42的后級(jí)的輸出信號(hào)處理單元容易地改變與探針錯(cuò)位判定相關(guān)的閾值。由此，在本實(shí)施方式2的磁傳感器是線性輸出型的霍爾ic的情況下，探針位置檢查裝置40能夠與后述的外部磁場(chǎng)賦予部52的磁通密度、探針20所包含的檢查用磁場(chǎng)形成部31的種類(lèi)相應(yīng)地，通過(guò)評(píng)價(jià)部16等后級(jí)的處理電路對(duì)與該判定相關(guān)的閾值進(jìn)行調(diào)整。即，為了提高探針位置的檢測(cè)精度，期望磁傳感器42是線性輸出型的霍爾ic。

(外部磁場(chǎng)賦予部)

探針位置檢查裝置40的基體部41還具有將外部磁場(chǎng)賦予給探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31的外部磁場(chǎng)賦予部52，該外部磁場(chǎng)賦予部52設(shè)置于與磁傳感器42的設(shè)置位置相應(yīng)的位置。特別地，在本實(shí)施方式2中，在從基體部41的表面?zhèn)雀┮曈^察時(shí)，外部磁場(chǎng)賦予部52設(shè)置于與磁傳感器42的設(shè)置位置相同的位置。另外，優(yōu)選外部磁場(chǎng)賦予部52與磁傳感器42相比設(shè)置于基體部41的外側(cè)。即，如圖8所示，在設(shè)置磁傳感器42的位置處，在沉孔部45的底面依次配置磁傳感器42和外部磁場(chǎng)賦予部52。此時(shí)，優(yōu)選外部磁場(chǎng)賦予部52配置為與磁傳感器42的一個(gè)面接觸，在本實(shí)施方式2中，外部磁場(chǎng)賦予部52與磁傳感器42的一個(gè)面密接。另外，在使用設(shè)置了磁傳感器42的傳感器基板41d的情況下，外部磁場(chǎng)賦予部52設(shè)置于同一傳感器基板41d。外部磁場(chǎng)賦予部52是永磁鐵或者電磁鐵。

(檢查用磁場(chǎng)形成部)

就本實(shí)施方式2的探針20而言，除檢查用磁場(chǎng)形成部31的結(jié)構(gòu)以外與實(shí)施方式1相同。如圖3(a)所示，探針20在柱塞部24具有環(huán)狀的檢查用磁場(chǎng)形成部31。本實(shí)施方式2的檢查用磁場(chǎng)形成部31是被外部磁場(chǎng)賦予部52所賦予的外部磁場(chǎng)磁化的強(qiáng)磁體或者順磁體。即，就本實(shí)施方式2的探針位置檢查裝置40而言，與實(shí)施方式1所記載的強(qiáng)磁體不同，也可以是不具有剩磁的強(qiáng)磁體、或者即使試圖通過(guò)磁化部進(jìn)行磁化也不能賦予剩磁的強(qiáng)磁體或者順磁體。強(qiáng)磁體的磁化可能性依賴(lài)于其構(gòu)成材料所含有的碳等雜質(zhì)的濃度。即，構(gòu)成本實(shí)施方式2中的檢查用磁場(chǎng)形成部31的強(qiáng)磁體的材料的雜質(zhì)濃度比構(gòu)成實(shí)施方式1所記載的強(qiáng)磁體的材料的雜質(zhì)濃度低。此外，強(qiáng)磁體的主要構(gòu)成材料例如包含鐵或者鈷、鎳中的任意者。另外，順磁體的構(gòu)成材料例如包含鋁或者鉑。

(探針位置檢查裝置及半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置的動(dòng)作)

依據(jù)圖8，對(duì)本實(shí)施方式2中的具有探針位置檢查裝置40的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。此外，對(duì)與實(shí)施方式1相同的動(dòng)作省略說(shuō)明。在第1步驟中，準(zhǔn)備包含順磁體或者強(qiáng)磁體作為檢查用磁場(chǎng)形成部31的探針20。在第3步驟中，如果使探針20接近基體部41的表面41a，則順磁體或者強(qiáng)磁體被外部磁場(chǎng)賦予部52所形成的外部磁場(chǎng)磁化。即，在探針20的接觸部21的周?chē)纬梢驒z查用磁場(chǎng)形成部31引起的磁場(chǎng)。與該磁場(chǎng)相關(guān)的磁通的方向主要是將檢查用磁場(chǎng)形成部31和外部磁場(chǎng)賦予部52連結(jié)的方向。在第4步驟中，磁傳感器42對(duì)基于該磁通的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)。特別地，由于本實(shí)施方式2的磁傳感器42將面外方向的磁場(chǎng)分量設(shè)為磁敏方向，因此高靈敏度地對(duì)基于檢查用磁場(chǎng)形成部31及外部磁場(chǎng)賦予部52所形成的磁場(chǎng)的磁通進(jìn)行檢測(cè)。第5步驟及其以后與實(shí)施方式1相同。

此外，在外部磁場(chǎng)賦予部52是永磁鐵的情況下，該永磁鐵不需要大的磁力，也可以是廉價(jià)的鐵氧體磁鐵等。其原因在于，如上所述，探針位置檢查裝置40在探針20與外部磁場(chǎng)賦予部52接近的狀態(tài)下對(duì)探針位置進(jìn)行檢測(cè)。就該永磁鐵而言，優(yōu)選使永磁鐵具有至少在上述接近的狀態(tài)下能夠?qū)㈨槾朋w31或者強(qiáng)磁體31磁化的磁力。另外，在外部磁場(chǎng)賦予部52是電磁鐵的情況下，探針位置檢查裝置40具有與電磁鐵連接的電氣配線。電磁鐵具有能夠使所形成的磁通密度容易地改變的優(yōu)點(diǎn)。即，由于能夠?qū)﹄姶盆F所賦予的外部磁場(chǎng)的磁通密度進(jìn)行調(diào)整，因此電磁鐵能夠與探針20的配置、間隔相應(yīng)地形成適當(dāng)?shù)拇磐芏?。例如，如果探?0的配置間隔密，則電磁鐵還能夠減弱磁通。其結(jié)果，由于能夠避免與其他探針的順磁體或者強(qiáng)磁體所形成的磁場(chǎng)的干涉，因此探針位置檢查裝置40實(shí)現(xiàn)其探針位置檢查精度的高精度化。

另外，如上所述，本實(shí)施方式2中的探針20所包含的強(qiáng)磁體設(shè)為在向探針20附加時(shí)沒(méi)有被磁化的強(qiáng)磁體，但還會(huì)想到到下述情況，即，在進(jìn)行探針位置的檢查的過(guò)程中，意外地被外部磁場(chǎng)賦予部52的外部磁場(chǎng)磁化。由此，與實(shí)施方式1同樣地，在因被磁化的強(qiáng)磁體的剩磁導(dǎo)致的磁場(chǎng)可能影響被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的電氣特性評(píng)價(jià)的情況下，優(yōu)選在進(jìn)行探針位置的檢查后、進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)前由用戶將強(qiáng)磁體從探針20卸下。如上所述，在進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)時(shí)，擔(dān)心探針20所具有的檢查用磁場(chǎng)形成部31所形成的磁場(chǎng)的影響的情況下，期望將順磁體附加至探針20而進(jìn)行探針位置檢查以及被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)，或者預(yù)先將順磁體及強(qiáng)磁體這二者附加至探針20，在進(jìn)行探針位置檢查后、進(jìn)行被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置11的評(píng)價(jià)前將強(qiáng)磁體卸下。此外，為了提高探針位置檢查時(shí)的檢測(cè)靈敏度，期望附加的是強(qiáng)磁體。其理由在于，與順磁體相比，強(qiáng)磁體能夠增大可在檢查用磁場(chǎng)形成部31的周?chē)纬傻拇艌?chǎng)的強(qiáng)度、即磁傳感器所檢測(cè)的磁通。

另外，如果探針位置檢查裝置40在基體部41的背面41b側(cè)或者外周部具有磁屏蔽件49，則優(yōu)選磁屏蔽件49具有將磁傳感器42及配線44、外部磁場(chǎng)賦予部52覆蓋的大小。

(效果)

本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40的基體部41所具有的磁傳感器42是將與平行于表面41a的面內(nèi)方向不同的方向的磁場(chǎng)分量作為磁敏方向進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，不論探針20的前端的高度波動(dòng)如何，探針位置檢查裝置40都能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40的基體部41還具有將外部磁場(chǎng)賦予給檢查用磁場(chǎng)形成部31的外部磁場(chǎng)賦予部52，外部磁場(chǎng)賦予部52設(shè)置于與磁傳感器42的設(shè)置位置相應(yīng)的位置。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，檢查用磁場(chǎng)形成部31被外部磁場(chǎng)賦予部52所形成的外部磁場(chǎng)磁化，因此構(gòu)成檢查用磁場(chǎng)形成部31的材料的可選項(xiàng)擴(kuò)大。即，探針位置檢查裝置40能夠使用不具有剩磁的強(qiáng)磁體、或即使試圖通過(guò)磁化部進(jìn)行磁化也不能賦予剩磁的強(qiáng)磁體作為檢查用磁場(chǎng)形成部31。另外，探針位置檢查裝置40還能夠使用順磁體作為檢查用磁場(chǎng)形成部31。

在從基體部41的表面41a側(cè)俯視觀察時(shí)，本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40的基體部41所具有的外部磁場(chǎng)賦予部52設(shè)置于與磁傳感器42的設(shè)置位置相同的位置。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，磁傳感器42所檢測(cè)的磁場(chǎng)的強(qiáng)度和探針20的位置的關(guān)系具有正相關(guān)關(guān)系，探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

本發(fā)明所涉及的探針位置檢查裝置40的基體部41所具有的外部磁場(chǎng)賦予部52配置為與磁傳感器42接觸。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，探針位置檢查裝置40能夠使探針20和外部磁場(chǎng)賦予部52之間的磁通最大化，該磁通被引入至磁傳感器42。由此，探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

本實(shí)施方式2中的探針位置檢查裝置40的基體部41所具有的外部磁場(chǎng)賦予部52是永磁鐵或者電磁鐵。在外部磁場(chǎng)賦予部52是永磁鐵的情況下，不需要電磁鐵所需的配線等，向探針位置檢查裝置40的設(shè)置變得容易，維護(hù)性提高。在外部磁場(chǎng)賦予部52是電磁鐵的情況下，能夠與探針20的配置、間隔相應(yīng)地，適當(dāng)?shù)貙?duì)探針20和外部磁場(chǎng)賦予部52之間的磁通密度進(jìn)行設(shè)定。例如，由于能夠避免相鄰的探針20彼此形成的磁場(chǎng)的干涉，因此探針位置檢查裝置40能夠?qū)⑻结?0的位置檢測(cè)精度高精度化。

另外，本實(shí)施方式2中的半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置10具有：探針位置檢查裝置；工作臺(tái)，其對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置進(jìn)行支撐；探針；以及評(píng)價(jià)部，其經(jīng)由探針而相對(duì)于在工作臺(tái)之上設(shè)置的被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置對(duì)電信號(hào)進(jìn)行輸入輸出，對(duì)被評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)，探針?biāo)哂械臋z查用磁場(chǎng)形成部是強(qiáng)磁體或者順磁體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即使檢查用磁場(chǎng)形成部31是順磁體或者未被磁化的強(qiáng)磁體，也會(huì)在探針20的周?chē)纬纱艌?chǎng)。通過(guò)由磁傳感器42對(duì)該磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，從而探針位置檢查裝置40能夠準(zhǔn)確地對(duì)探針20的位置進(jìn)行檢測(cè)。

此外，本發(fā)明能夠在該發(fā)明的范圍內(nèi)對(duì)各實(shí)施方式自由地進(jìn)行組合，能夠?qū)Ω鲗?shí)施方式適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變形、省略。