本發(fā)明涉及一種液晶面板生產(chǎn)技術(shù)，特別是一種用于檢查cf基板表面的cf基板微觀檢查機(jī)。

背景技術(shù)：

在面板制造中，生產(chǎn)效率幾乎是公司的生命，生產(chǎn)效率不高不但利潤低成本高，競爭力也會(huì)比業(yè)內(nèi)其他企業(yè)弱很多，生產(chǎn)效率是非常關(guān)鍵的；而對于cf(colorfilter彩色濾光片、彩膜)基板的檢查尤其重要，通過檢查，能夠避免因產(chǎn)品質(zhì)量問題導(dǎo)致的報(bào)廢的問題，通過cf基板微觀檢查機(jī)能夠查找到cf基板表面的膜層缺陷，目前的cf基板圍觀檢查機(jī)中所使用的拍照單元目前的鏡頭位置為設(shè)置在cf基板的相對兩側(cè)，使用了兩組攝像頭進(jìn)行缺陷位置的拍照由于兩組攝像頭的行程較長，在對缺陷進(jìn)行拍照時(shí)存在大量的空運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間，導(dǎo)致拍照數(shù)量較少，耗時(shí)較長。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種cf基板微觀檢查機(jī)，從而節(jié)省拍照時(shí)間，提高工作效率。

本發(fā)明提供了一種cf基板微觀檢查機(jī)，所述檢查機(jī)包括aoi自動(dòng)光學(xué)檢測儀，該aoi自動(dòng)光學(xué)檢測儀包括機(jī)架、設(shè)于機(jī)架上的光源、位于光源上方的掃描單元以及與掃描單元連接的圖像處理裝置，所述檢查機(jī)還包括cf基板微觀復(fù)核裝置，所述cf基板微觀復(fù)核裝置包括攝像組件支架、至少四組攝像組件，每組攝像組件包括圖像獲取裝置以及驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置水平移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在攝像組件支架上，每組攝像組件形成一個(gè)攝像區(qū)域；所述攝像組件支架固定在機(jī)架上，每個(gè)攝像區(qū)域分別對應(yīng)cf基板上的至少一個(gè)基板單元，所述圖像獲取裝置的鏡頭朝下，所述圖像獲取裝置以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與圖像處理裝置連接。

進(jìn)一步地，所述掃描單元設(shè)于cf基板微觀復(fù)核裝置上方。

進(jìn)一步地，所述攝像組件陣列排布。

進(jìn)一步地，所述攝像組件矩形陣列排布。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括x軸行走裝置以及y軸行走裝置，所述y軸行走裝置固定在攝像組件支架上，所述x軸行走裝置與y軸行走裝置連接，實(shí)現(xiàn)y軸行走裝置驅(qū)動(dòng)x軸行走裝置沿y軸方向水平移動(dòng)，圖像獲取裝置固定在x軸行走裝置上，實(shí)現(xiàn)x軸行走裝置驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置沿x軸方向水平移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括x軸行走裝置以及y軸行走裝置，所述x軸行走裝置固定在攝像組件支架上，所述y軸行走裝置與x軸行走裝置連接，實(shí)現(xiàn)x軸行走裝置驅(qū)動(dòng)y軸行走裝置沿x軸方向水平移動(dòng)，圖像獲取裝置固定在y軸行走裝置上，實(shí)現(xiàn)y軸行走裝置驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置沿y軸方向水平移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述x軸行走裝置和y軸行走裝置采用光柵尺或電動(dòng)滑臺。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)十字滑臺。

進(jìn)一步地，所述圖像獲取裝置為工業(yè)相機(jī)。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過設(shè)置至少四組攝像組件，每組攝像組件構(gòu)成一個(gè)攝像區(qū)域9，從而實(shí)現(xiàn)每組攝像組件負(fù)責(zé)該區(qū)域內(nèi)的缺陷拍照，縮短了每組攝像組件的行程，而且每組攝像組件之間互不干涉，提高了工作效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的主視圖；

圖2是本發(fā)明cf基板微觀復(fù)核裝置的俯視圖；

圖3是本發(fā)明的一組攝像組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明的一種cf基板微觀檢查機(jī)，所述檢查機(jī)包括aoi自動(dòng)光學(xué)檢測儀，該aoi自動(dòng)光學(xué)檢測儀(aoi)采用現(xiàn)有技術(shù)中對玻璃基板進(jìn)行檢測的aoi檢測儀，其主要包括機(jī)架5、設(shè)于機(jī)架5上的光源6、位于光源6上方的掃描單元7以及與掃描單元7連接的圖像處理裝置8，本發(fā)明中掃描單元7用于對cf基板的整體進(jìn)行拍照并將拍照后的圖片發(fā)送至圖像處理裝置8進(jìn)行處理比對，查找到相應(yīng)的缺陷位置并顯示，所述檢查機(jī)還包括cf基板微觀復(fù)核裝置，所述cf基板微觀復(fù)核裝置包括攝像組件支架2、至少四組攝像組件，每組攝像組件包括圖像獲取裝置1以及驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置1水平移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在攝像組件支架2上，每組攝像組件形成一個(gè)攝像區(qū)域9；所述攝像組件支架2固定在機(jī)架5上，所述攝像區(qū)域9分別對應(yīng)cf基板上的至少一個(gè)基板單元，所述圖像獲取裝置1的鏡頭朝下，所述圖像獲取裝置1以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與圖像處理裝置8連接。

圖像獲取裝置1用于根據(jù)圖像處理裝置8發(fā)送的坐標(biāo)位置，通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)至坐標(biāo)位置獲取缺陷圖像后發(fā)送至圖像處理裝置8并且驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)圖像處理裝置8回到初始位置處。

如圖2所示，本發(fā)明的攝像組件陣列排布，具體為矩形陣列排布，圖中的攝像組件設(shè)有四組，以兩行兩列的形式矩形陣列排布；圖中攝像組件的設(shè)置數(shù)量僅為示例，本發(fā)明中攝像組件的設(shè)置數(shù)量并不限于此。

當(dāng)攝像組件的數(shù)量為四組時(shí)，其圖像獲取裝置1的設(shè)置位置如圖所示，均在攝像區(qū)域9的相同一個(gè)角處，本發(fā)明還可以將四個(gè)攝像區(qū)域9共同組成直角坐標(biāo)系，以四個(gè)攝像區(qū)域9相接的角作為原點(diǎn)(0，0)，四個(gè)圖像獲取裝置1的初始位置分別位于直角坐標(biāo)系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四個(gè)坐標(biāo)點(diǎn)上，通過圖像處理裝置8將缺陷位置的坐標(biāo)分別發(fā)送至相應(yīng)攝像區(qū)域9中的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了攝像組件在各自的攝像區(qū)域9中進(jìn)行缺陷圖像的獲取。

如圖1所示，掃描單元7設(shè)于cf基板微觀復(fù)核裝置上方；掃描單元7可采用工業(yè)相機(jī)。

如圖3所示，為本發(fā)明中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括x軸行走裝置3以及y軸行走裝置4，所述y軸行走裝置4固定在攝像組件支架2上，所述x軸行走裝置3與y軸行走裝置4連接，實(shí)現(xiàn)y軸行走裝置4驅(qū)動(dòng)x軸行走裝置3沿y軸方向水平移動(dòng)，圖像獲取裝置1固定在x軸行走裝置3上，實(shí)現(xiàn)x軸行走裝置3驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置1沿x軸方向水平移動(dòng)；具體地，x軸行走裝置3的導(dǎo)軌固定在y軸行走裝置4的滑塊上，圖像獲取裝置1固定在x軸行走裝置3的滑塊上。本發(fā)明中x軸、y軸均基于cf基板表面的橫向、縱向而言。

通過y軸行走裝置4驅(qū)動(dòng)x軸行走裝置3在y軸方向移動(dòng)，而x軸行走裝置3驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置1在x軸方向移動(dòng)。

當(dāng)然也可以采用將x軸行走裝置3與y軸行走裝置4互換，所述x軸行走裝置3固定在攝像組件支架2上，所述y軸行走裝置4與x軸行走裝置3連接，實(shí)現(xiàn)x軸行走裝置3驅(qū)動(dòng)y軸行走裝置4沿x軸方向水平移動(dòng)，圖像獲取裝置1固定在y軸行走裝置4上，實(shí)現(xiàn)y軸行走裝置4驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置1沿y軸方向水平移動(dòng)；具體地，y軸行走裝置4的導(dǎo)軌固定在x軸行走裝置3的滑塊上；圖像獲取裝置1固定在y軸行走裝置4的滑塊上。

通過x軸行走裝置3驅(qū)動(dòng)y軸行走裝置4在x軸方向移動(dòng)，而y軸行走裝置4驅(qū)動(dòng)圖像獲取裝置1在y軸方向移動(dòng)。

如圖2所示，初始化狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均設(shè)于攝像區(qū)域9的左上方，從而使圖像獲取裝置1能夠位于直角坐標(biāo)系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四個(gè)坐標(biāo)點(diǎn)上。

本發(fā)明中x軸行走裝置3與y軸行走裝置4可采用光柵尺或電動(dòng)滑臺，也可以采用由兩個(gè)電動(dòng)滑臺組合成的電動(dòng)十字滑臺，該種滑臺實(shí)現(xiàn)了xy軸的移動(dòng)。

通過圖像處理裝置8向光柵尺、電動(dòng)滑臺或十字滑臺發(fā)送電信號，實(shí)現(xiàn)了光柵尺、電動(dòng)滑臺或十字滑臺上的滑塊的直線移動(dòng)，從而進(jìn)行xy軸的精確移動(dòng)。

本發(fā)明中的圖像獲取裝置1中的鏡頭均使用通過改變內(nèi)部光通路而改變放大倍率的鏡頭，避免了使用轉(zhuǎn)盤式鏡頭切換鏡頭時(shí)浪費(fèi)的時(shí)間。而且每個(gè)圖像獲取裝置1分別負(fù)責(zé)一個(gè)攝像區(qū)域9中的拍照功能。在aoi掃描完成后將缺陷的坐標(biāo)傳輸給cf基板微觀復(fù)核裝置，四個(gè)圖像獲取裝置1通過坐標(biāo)識別缺陷坐標(biāo)后對相應(yīng)的缺陷進(jìn)行拍照工作。如果四個(gè)攝像區(qū)域9內(nèi)同時(shí)有需要拍照的缺陷則四個(gè)圖像獲取裝置1同時(shí)移動(dòng)進(jìn)行拍照，任何一個(gè)圖像獲取裝置1在完成相應(yīng)的拍照作業(yè)后退回到起始位置。如果四個(gè)攝像區(qū)域9內(nèi)只有三個(gè)、兩個(gè)或者一個(gè)需要拍照工作，則需要拍照的圖像獲取裝置1移動(dòng)拍照，不需要的則待在起始位置不動(dòng)。同樣，任何一個(gè)鏡頭在完成相應(yīng)拍照作業(yè)后退回到起始位置。

通過上述方式能夠提高cf基板微觀復(fù)核裝置的拍照能力，提升產(chǎn)能，為后續(xù)制程以及缺陷分析提供有力證據(jù)。

雖然已經(jīng)參照特定實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。