技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種測量薄膜材料電光系數(shù)的裝置及方法，屬于電子信息材料測試領(lǐng)域。本發(fā)明通過薄膜分析儀、計(jì)算機(jī)、可控電壓源和測試箱搭建測試平臺(tái)，基于干涉原理測得薄膜材料的干涉光強(qiáng)隨入射波長改變的實(shí)際吸收光譜曲線，然后采用計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行分析得到薄膜材料在目標(biāo)電壓下的折射率n，通過調(diào)整目標(biāo)電壓變化，獲得薄膜材料折射率隨直流電壓變化的曲線，通過數(shù)據(jù)擬合即可得到薄膜材料的電光系數(shù)。本發(fā)明通過非接觸式測量能夠在不破壞薄膜表面的情況下測得薄膜材料電光系數(shù)，測量精度高，在電光系數(shù)的測量領(lǐng)域中有較好的應(yīng)用前景。

技術(shù)研發(fā)人員：萬鄭賄;張亞磊;李金成;王乾豐;劉爽;張尚劍;劉永;鐘智勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710211806
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.01
技術(shù)公布日：2017.06.13