本發(fā)明涉及一種晶棒檢驗支撐裝置。

背景技術：

在現(xiàn)有技術中，對晶棒的檢驗工序作為傳統(tǒng)的肉眼檢查的方法，一直是必須且不可以替代的重要工序之一。晶棒檢驗是對晶棒外觀及內(nèi)部缺陷的檢查。使用油脂將表面涂勻后使用偏光筆和激光筆進行檢查，確認內(nèi)部質(zhì)量；油脂涂抹后晶棒表面濕滑，手工抓取時易出現(xiàn)滑落或磕碰現(xiàn)象；進行端面檢驗時，需不斷調(diào)整角度方可確認內(nèi)部是否存在缺陷；

隨著市場的變化，傳統(tǒng)的檢驗弊端不斷顯現(xiàn)，2寸晶棒已逐步朝4寸、6寸及大尺寸材料的轉(zhuǎn)型，人員檢驗時的拾取動作已超出人力疲勞極限；不利于其它項目檢驗；人力成本提升、檢驗成本提升和加工效率的降低，成為普遍現(xiàn)象。

技術實現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術的缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種晶棒檢驗支撐裝置，使得晶棒檢驗時方便簡單。

本發(fā)明解決技術問題采用如下技術方案：

一種晶棒檢驗支撐裝置，其特征在于，包括底座，支撐塊、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿以及角度調(diào)節(jié)機構，所述底座，包括一個底板與四個側板，所述底板呈長方形板體結構，所述四個側板呈長方體型板體結構，通過螺栓螺母固定在所述底板頂部四周，所述側板之間通過螺栓螺母相互連接；所述底座兩端側板上各設有兩個螺栓孔，所述兩個螺栓孔呈相對設置；

所述支撐塊為一體式結構，底部呈方形柱體，頂部設有凹槽，所述凹槽呈圓弧形結構，所述凹槽的圓弧角A為120度，所述凹槽內(nèi)側設有防滑層；所述支撐塊底部設置有圓形通孔；

所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿呈圓柱體結構，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿通過圓形通孔貫穿所述支撐塊，并通過螺栓螺母與所述支撐塊固定，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿兩端分別穿過底座兩端側板上的螺栓孔；

所述角度調(diào)節(jié)機構數(shù)量有兩個，對稱設置于所述底座兩側側板頂部中間位置，每個所述角度調(diào)節(jié)機構均包括一個固定件和一個角度調(diào)節(jié)桿，所述固定件呈方形結構，所述固定件中心位置設置有內(nèi)螺紋通孔，固定件兩側底部對稱設置有固定折邊，所述固定折邊通過螺釘固定在底座上，所述角度調(diào)節(jié)桿呈圓柱體結構，其表面設有外螺紋，外螺紋外部套合有螺母，所述角度調(diào)節(jié)桿通過外螺紋與固定件內(nèi)螺紋配合實現(xiàn)相互可調(diào)連接，并通過螺母擰緊實現(xiàn)角度調(diào)節(jié)桿與固定件之間固定。

上述一種晶棒檢驗支撐裝置，其特征在于，所述防滑層為均勻覆蓋在凹槽內(nèi)表面上的防滑顆粒層。

與已有技術相比，本發(fā)明的有益效果體現(xiàn)在：

使用時，將待檢的晶棒取出，放置在凹槽內(nèi)表面，保持晶棒平衡，進行涂抹油脂；涂抹完成后，滴落多余液體，通過支撐塊進行檢驗，避免手工抓取時發(fā)生涂抹不均的現(xiàn)象發(fā)生，保證晶棒表面油脂涂覆全面，，使待檢晶棒表面光滑易于檢驗。特別設計的120度圓弧角設計，使得凹槽可將晶棒30%位置包裹，晶棒可在內(nèi)部旋轉(zhuǎn)，接觸位置通過防滑顆粒層進行粗糙處理，防滑、耐腐蝕，不會磕碰晶體。

將旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿前后移動或左右旋轉(zhuǎn)，帶動支撐塊及晶棒前后移動或左右旋轉(zhuǎn)，對晶體不同方向進行檢驗，對衍射的垂直角度進行調(diào)節(jié)，確保晶棒內(nèi)部可辨識，檢驗范圍增大降低人工漏檢比例，并大大降低了人員疲勞導致搬運磕碰造成的破碎。

兩側的角度調(diào)節(jié)機構通過內(nèi)外螺紋配合實現(xiàn)角度調(diào)節(jié)桿位置調(diào)節(jié)，兩個角度調(diào)節(jié)桿限定支撐塊左右旋轉(zhuǎn)時的最大角度，避免支撐塊由于旋轉(zhuǎn)過程中旋轉(zhuǎn)角度過大而造成的滑落與損壞。本專利減少搬運并采用防滑處理，大大提高了檢驗效率。

附圖說明

圖1為本專利主視圖。

圖2為本專利左視圖。

圖3為本專利固定件示意圖。

圖4為本專利支撐塊主視圖。

附圖標記：

底座1、底板11、側板12、螺栓孔13、支撐塊2、凹槽21、防滑層22、圓形通孔23、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿3、角度調(diào)節(jié)機構4、固定件41、內(nèi)螺紋通孔411、固定折邊412、角度調(diào)節(jié)桿42、螺母5。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

實施例

一種晶棒檢驗支撐裝置，其特征在于，包括底座，支撐塊、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿以及角度調(diào)節(jié)機構，所述底座，包括一個底板與四個側板，所述底板呈長方形板體結構，所述四個側板呈長方體型板體結構，通過螺栓螺母固定在所述底板頂部四周，所述側板之間通過螺栓螺母相互連接；所述底座兩端側板上各設有兩個螺栓孔，所述兩個螺栓孔呈相對設置；

所述支撐塊為一體式結構，底部呈方形柱體，頂部設有凹槽，所述凹槽呈圓弧形結構，所述凹槽的圓弧角A為120度，所述凹槽內(nèi)側設有防滑層；所述支撐塊底部設置有圓形通孔；

所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿呈圓柱體結構，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿通過圓形通孔貫穿所述支撐塊，并通過螺栓螺母與所述支撐塊固定，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿兩端分別穿過底座兩端側板上的螺栓孔；

所述角度調(diào)節(jié)機構數(shù)量有兩個，對稱設置于所述底座兩側側板頂部中間位置，每個所述角度調(diào)節(jié)機構均包括一個固定件和一個角度調(diào)節(jié)桿，所述固定件呈方形結構，所述固定件中心位置設置有內(nèi)螺紋通孔，固定件兩側底部對稱設置有固定折邊，所述固定折邊通過螺釘固定在底座上，所述角度調(diào)節(jié)桿呈圓柱體結構，其表面設有外螺紋，外螺紋外部套合有螺母，所述角度調(diào)節(jié)桿通過外螺紋與固定件內(nèi)螺紋配合實現(xiàn)相互可調(diào)連接，并通過螺母擰緊實現(xiàn)角度調(diào)節(jié)桿與固定件之間固定。所述防滑層為均勻覆蓋在凹槽內(nèi)表面上的防滑顆粒層。

與已有技術相比，本發(fā)明的有益效果體現(xiàn)在：

使用時，將待檢的晶棒取出，放置在凹槽內(nèi)表面，保持晶棒平衡，進行涂抹油脂；涂抹完成后，滴落多余液體，通過支撐塊進行檢驗，避免手工抓取時發(fā)生涂抹不均的現(xiàn)象發(fā)生，保證晶棒表面油脂涂覆全面，，使待檢晶棒表面光滑易于檢驗。特別設計的120度圓弧角設計，使得凹槽可將晶棒30%位置包裹，晶棒可在內(nèi)部旋轉(zhuǎn)，接觸位置通過防滑顆粒層進行粗糙處理，防滑、耐腐蝕，不會磕碰晶體。

將旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)桿前后移動或左右旋轉(zhuǎn)，帶動支撐塊及晶棒前后移動或左右旋轉(zhuǎn)，對晶體不同方向進行檢驗，對衍射的垂直角度進行調(diào)節(jié)，確保晶棒內(nèi)部可辨識，檢驗范圍增大降低人工漏檢比例，并大大降低了人員疲勞導致搬運磕碰造成的破碎。

兩側的角度調(diào)節(jié)機構通過內(nèi)外螺紋配合實現(xiàn)角度調(diào)節(jié)桿位置調(diào)節(jié)，兩個角度調(diào)節(jié)桿限定支撐塊左右旋轉(zhuǎn)時的最大角度，避免支撐塊由于旋轉(zhuǎn)過程中旋轉(zhuǎn)角度過大而造成的滑落與損壞。本專利減少搬運并采用防滑處理，大大提高了檢驗效率。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。