技術編號：12548730
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種晶棒檢驗支撐裝置。背景技術在現(xiàn)有技術中，對晶棒的檢驗工序作為傳統(tǒng)的肉眼檢查的方法，一直是必須且不可以替代的重要工序之一。晶棒檢驗是對晶棒外觀及內(nèi)部缺陷的檢查。使用油脂將表面涂勻后使用偏光筆和激光筆進行檢查，確認內(nèi)部質(zhì)量；油脂涂抹后晶棒表面濕滑，手工抓取時易出現(xiàn)滑落或磕碰現(xiàn)象；進行端面檢驗時，需不斷調(diào)整角度方可確認內(nèi)部是否存在缺陷；隨著市場的變化，傳統(tǒng)的檢驗弊端不斷顯現(xiàn)，2寸晶棒已逐步朝4寸、6寸及大尺寸材料的轉(zhuǎn)型，人員檢驗時的拾取動作已超出人力疲勞極限；不利于其它項目檢驗；人力成本...
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