本發(fā)明涉及鋰電池極片、銅箔、鋁箔等非磁性薄膜類材料檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備及其測(cè)量方法。

背景技術(shù)：

隨著人類社會(huì)生產(chǎn)生活和科學(xué)實(shí)踐活動(dòng)的不斷深入，鋰電池極片、銅箔、鋁箔等非磁性薄膜類材料的應(yīng)用越來(lái)越廣，已成為電力、電子、信息、軍工、核、航 空、航天等產(chǎn)業(yè)不可缺少的關(guān)鍵材料之一。對(duì)于生產(chǎn)出來(lái)的非磁性薄膜類材料，在其諸多性能要求中，非磁性薄膜類材料的厚度、均勻度是最較為關(guān)鍵的參數(shù)，直接影響生產(chǎn)成本和應(yīng)用效果，也會(huì)影響其它很多問(wèn)題，因此，監(jiān)測(cè)、控制薄膜的厚度、均勻度已成為非磁性薄膜類材料生產(chǎn)中重要的、不可或缺的環(huán)節(jié)。

然而在生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)非磁性薄膜類材料進(jìn)行檢測(cè)；有些是直接通過(guò)手持測(cè)量表或卡尺在停機(jī)后對(duì)非磁性薄膜類材料的厚度進(jìn)行檢測(cè)，操作麻煩，效率低，而且由于為接觸性測(cè)量，易對(duì)材料表面造成損傷；也有些采用激光三角測(cè)量法，其的測(cè)厚模塊由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的，上下的兩個(gè)傳感器分別測(cè)量被測(cè)體上表面的位置和下表面的位置，通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)體的厚度，由于被測(cè)薄片不是絕對(duì)的平面，當(dāng)激光如果從非平面反射時(shí)，就會(huì)造成測(cè)量誤差，且激光最小光斑為2μm，所以測(cè)量誤差最少大于2μm。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊和運(yùn)作穩(wěn)定可靠，并且測(cè)量精度能夠達(dá)到±0.5μm的在線非接觸測(cè)厚設(shè)備及其測(cè)量方法。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供的一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備，包括中心控制臺(tái)和設(shè)置于中心控制臺(tái)一旁的設(shè)備機(jī)架，所述設(shè)備機(jī)架上設(shè)置有導(dǎo)料組件、測(cè)量組件以及用于支撐測(cè)量組件的橫梁頂塊，所述測(cè)量組件滑動(dòng)設(shè)于橫梁頂塊，所述測(cè)量組件包括磁場(chǎng)傳感器、光發(fā)射器及CCD傳感器；所述導(dǎo)料組件包括設(shè)置于測(cè)量組件下方的主動(dòng)輥輪和從動(dòng)輥輪；所述磁場(chǎng)傳感器設(shè)于主動(dòng)輥輪的正上方；所述光發(fā)射器和CCD傳感器分別位于主動(dòng)輥輪的兩側(cè)。

其中的，所述主動(dòng)輥輪為磁性背輪。

其中的，所述橫梁頂塊設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件沿著橫梁頂塊往復(fù)移動(dòng)的位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

作為優(yōu)選的，所述測(cè)量組件還包括移動(dòng)座和測(cè)量?jī)x安裝架；所述磁場(chǎng)傳感器設(shè)置在所述測(cè)量?jī)x安裝架的中部；所述移動(dòng)座設(shè)有第一滑塊和與第一滑塊配合使用的第一導(dǎo)軌，所述第一滑軌固定連接于橫梁頂塊；所述移動(dòng)座的兩側(cè)均設(shè)置有第二導(dǎo)軌、與第二導(dǎo)軌配合使用的第二滑塊及驅(qū)動(dòng)測(cè)量?jī)x安裝架升降的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述測(cè)量?jī)x安裝架固定連接于第二滑塊。

作為優(yōu)選的，所述位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)有橫梁頂塊兩端的主動(dòng)輪和從動(dòng)輪、繞設(shè)于主動(dòng)輪和從動(dòng)輪的傳動(dòng)皮帶及與主動(dòng)輪連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述傳動(dòng)皮帶與移動(dòng)座連接。

作為優(yōu)選的，所述橫梁頂塊材質(zhì)為大理石。

其中的，所述設(shè)備機(jī)架設(shè)有第一支撐座，所述主動(dòng)輥輪的兩端連接于第一支撐座并位于測(cè)量組件的下方，所述設(shè)備機(jī)架設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輥輪的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述從動(dòng)輥輪滑動(dòng)設(shè)于所述第一支撐座，所述第一支撐座設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)從動(dòng)輥輪靠近或遠(yuǎn)離主動(dòng)輥輪的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

作為優(yōu)選的，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括輥輪移動(dòng)座、第三滑塊、與第三滑塊配合使用的第二導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)輥輪移動(dòng)座位移的驅(qū)動(dòng)氣缸，所述第三導(dǎo)軌連接于第一支撐座，所述第三滑塊與輥輪移動(dòng)座連接。

其中的，所述導(dǎo)料組件還包括第一導(dǎo)料輥輪、第二導(dǎo)料輥輪及設(shè)于設(shè)備機(jī)架的第二支撐座和第三支撐座，所述第一導(dǎo)料輥輪的兩端連接于所述第二支撐座，所述第二導(dǎo)料輥輪的兩端連接于所述第三支撐座。

本發(fā)明還提供一種用于一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備的在線非接觸測(cè)厚的測(cè)量方法，包括以下步驟：

步驟1：在測(cè)量產(chǎn)品厚度之前，驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件使CCD傳感器和光發(fā)射器檢測(cè)到空載的主動(dòng)輥輪，接著驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件在主動(dòng)輥輪的軸向方向來(lái)回移動(dòng)n（n≥1）次，每移動(dòng)一次測(cè)量組件選取軸向上固定的m（m≥1）個(gè)點(diǎn)作為測(cè)量點(diǎn)，由此CCD傳感器所測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為CCD_C1、CCD_C2、CCD_C3…. CCD_Cn，磁場(chǎng)傳感器測(cè)得的測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為AD_C1、AD_C2、AD_C3….AD_Cn，其中每組CCD_C和AD_C的數(shù)據(jù)里包括m個(gè)點(diǎn)的測(cè)量值，最后計(jì)算出來(lái)回移動(dòng)n次所對(duì)應(yīng)m個(gè)點(diǎn)各自的平均值記錄為CCD_CA1和AD_CA1。

步驟2：將測(cè)量組件在其量程內(nèi)位移一段距離，接著驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件在主動(dòng)輥輪的軸向方向來(lái)回移動(dòng)n（n≥1）次，每移動(dòng)一次測(cè)量組件選取軸向上固定的m（m≥1）個(gè)點(diǎn)作為測(cè)量點(diǎn)，由此CCD傳感器所測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為CCD_C1、CCD_C2、CCD_C3…. CCD_Cn，磁場(chǎng)傳感器測(cè)得的測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為AD_C1、AD_C2、AD_C3…. AD_Cn，其中每組CCD_Cn和AD_Cn的數(shù)據(jù)里包括m個(gè)點(diǎn)的測(cè)量值，最后計(jì)算出來(lái)回移動(dòng)n次所對(duì)應(yīng)m個(gè)點(diǎn)各自的平均值記錄為CCD_CA2和AD_CA2。

步驟3：計(jì)算AD的修正系數(shù)AD_a，其公式為AD_a=（CCD_CA2- CCD_CA1）/（AD_CA2-AD_CA1），AD_a取絕度值，其中AD_a包括m個(gè)點(diǎn)的修正系數(shù)。

步驟4：將非磁性薄膜貼著主動(dòng)輥輪移動(dòng)，測(cè)量組裝件在主動(dòng)輥輪的軸向方向來(lái)回移動(dòng)，由此磁場(chǎng)傳感器和CCD傳感器測(cè)得的實(shí)際值為CCD_T和AD_T，通過(guò)公式計(jì)算出該非磁性薄膜的厚度H，該公式為H=（CCD_T-CCD_CA1-[(AD_T-AD_CA1)]xAD_a，其中H包括m個(gè)點(diǎn)的計(jì)算值。

本發(fā)明的有益效果：

本發(fā)明通過(guò)用磁場(chǎng)傳感器的測(cè)量探頭尖端至主動(dòng)輥輪頂面的實(shí)時(shí)距離，再通過(guò)側(cè)邊位置的CCD傳感器測(cè)出被測(cè)非磁性薄膜的最高點(diǎn)高度，然后通過(guò)計(jì)算即可得出被測(cè)薄片的實(shí)時(shí)厚度，并且可做到具有非接觸，高精度，持續(xù)穩(wěn)定的特點(diǎn)，在避免被測(cè)薄片被損壞的同時(shí)，也提升了檢測(cè)精確性和速度，另外整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)，利于廣泛推廣應(yīng)用。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的正視圖。

圖2為本發(fā)明測(cè)量組件的結(jié)構(gòu)分解示意圖。

圖3為本發(fā)明測(cè)量組件的另一結(jié)構(gòu)分解示意圖。

圖4為本發(fā)明導(dǎo)料組件的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明測(cè)量方法示意圖。

圖6為本發(fā)明測(cè)量方法另一示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1-中心控制臺(tái)；2-設(shè)備機(jī)架；3-導(dǎo)料組件；31-主動(dòng)輥輪；311-第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；32-從動(dòng)輥輪；33-第一支撐座；321-輥輪移動(dòng)座；322-第三導(dǎo)軌；333-第三滑塊；324-位移驅(qū)動(dòng)氣缸；33-第一導(dǎo)料輥輪；331-第二支撐座；34-第二導(dǎo)料輥輪；341-第三支撐座；342-滑槽；4-測(cè)量組件；41-磁場(chǎng)傳感器；421-光發(fā)射器；422-CCD傳感器；43-移動(dòng)座；44-測(cè)量?jī)x安裝架；441-皮帶夾緊塊；45-升降驅(qū)動(dòng)氣缸；46-第二滑動(dòng)裝置；461-第二導(dǎo)軌；462-第二滑塊； 5-橫梁頂塊； 61-主動(dòng)輪；62-從動(dòng)輪；63-傳動(dòng)皮帶；64-驅(qū)動(dòng)電機(jī)；7-第一滑動(dòng)裝置；71-第一導(dǎo)軌；72-第一滑塊；8-非磁性薄膜。

具體實(shí)施方式

為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面結(jié)合實(shí)施例與附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明，實(shí)施方式提及的內(nèi)容并非對(duì)本發(fā)明的限定。以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。

如圖1所示，本發(fā)明提供的一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備，包括中心控制臺(tái)1和設(shè)置于中心控制臺(tái)1一旁的設(shè)備機(jī)架2，所述設(shè)備機(jī)架2上設(shè)置有導(dǎo)料組件3、測(cè)量組件4以及用于支撐測(cè)量組件4的橫梁頂塊5，所述測(cè)量組件4滑動(dòng)設(shè)于橫梁頂塊5，所述測(cè)量組件4包括磁場(chǎng)傳感器41、光發(fā)射器421及CCD傳感器422；所述導(dǎo)料組件3包括設(shè)置于測(cè)量組件4下方的主動(dòng)輥輪31和從動(dòng)輥輪32；所述磁場(chǎng)傳感器41設(shè)于主動(dòng)輥輪31的正上方；所述光發(fā)射器421和CCD傳感器422分別位于主動(dòng)輥輪31的兩側(cè)并朝向磁場(chǎng)傳感器41正對(duì)在主動(dòng)輥輪31的位置上。其中，所述主動(dòng)輥輪31為磁性背輪。所述測(cè)量組件4還包括移動(dòng)座43和測(cè)量?jī)x安裝架44；所述磁場(chǎng)傳感器41設(shè)于所述測(cè)量?jī)x安裝架44的中部，所述所述光發(fā)射器421和CCD傳感器422設(shè)于測(cè)量?jī)x安裝架44的兩側(cè)。

具體的，現(xiàn)有的測(cè)量方法是使用光發(fā)射器421對(duì)空載的輥輪照射，CCD傳感器422接收光源信號(hào)測(cè)出輥輪的最高點(diǎn)的一個(gè)數(shù)值，接著讓輥輪貼有薄片類介質(zhì)，用CCD傳感器422測(cè)出薄片類介質(zhì)最高點(diǎn)的數(shù)值，兩數(shù)值相減就得到該薄片類介質(zhì)的厚度。然而，由于現(xiàn)有的加工精度和現(xiàn)有材料加工出來(lái)的輥輪的圓度會(huì)有一定的公差，并且在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)還會(huì)出現(xiàn)跳動(dòng)現(xiàn)象，即在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)最高點(diǎn)實(shí)際上有較大的波動(dòng)，從而如果僅僅使用CCD傳感器422測(cè)量直接測(cè)量輥輪上的非磁性薄膜類介質(zhì)，會(huì)導(dǎo)致測(cè)量出現(xiàn)外部硬件所帶來(lái)的誤差，影響測(cè)量的真實(shí)數(shù)據(jù)，因此，本發(fā)明在CCD傳感器422的基礎(chǔ)上，加上磁場(chǎng)傳感器41一并測(cè)量，并將傳統(tǒng)的輥輪改為主動(dòng)輥輪31，用以配合磁場(chǎng)傳感器41的使用，從而提高其測(cè)量的精確度。本發(fā)明的磁場(chǎng)傳感器41優(yōu)選采用霍爾傳感器，利用霍爾傳感器通過(guò)對(duì)主動(dòng)輥輪31的磁通量變化轉(zhuǎn)化為數(shù)字號(hào)的原理，測(cè)量出霍爾傳感器的探頭尖端至主動(dòng)輥輪31頂面的實(shí)時(shí)距離，再通過(guò)側(cè)邊位置的CCD傳感器422測(cè)出被測(cè)薄片的最高點(diǎn)高度，然后通過(guò)特定的計(jì)算方法即可得出被測(cè)薄片的實(shí)時(shí)厚度，并且可做到具有非接觸，高精度，持續(xù)穩(wěn)定的特點(diǎn)。

如圖1、圖2所示，本實(shí)施例中，所述橫梁頂塊5設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件4沿著橫梁頂塊5往復(fù)移動(dòng)的位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。所述位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)有橫梁頂塊5兩端的主動(dòng)輪61和從動(dòng)輪62、繞設(shè)于主動(dòng)輪和從動(dòng)輪的傳動(dòng)皮帶63及與主動(dòng)輪61連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)64，所述傳動(dòng)皮帶63與移動(dòng)座43連接。具體的，該移動(dòng)座43設(shè)置有用于鎖緊皮帶的皮帶夾緊塊441，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)64可以采用步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)。所述測(cè)量組件4還包括移動(dòng)座43和測(cè)量?jī)x安裝架44；所述磁場(chǎng)傳感器41設(shè)置在所述測(cè)量?jī)x安裝架44的中部，所述光發(fā)射器421和CCD傳感器422設(shè)于測(cè)量?jī)x安裝架44的兩側(cè)。所述移動(dòng)座43設(shè)有第一滑塊72和與第一滑塊72配合使用的第一導(dǎo)軌71，所述第一滑軌72固定連接于橫梁頂塊5。在工作時(shí)，位移驅(qū)動(dòng)電機(jī)64通過(guò)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪61轉(zhuǎn)動(dòng)，使傳動(dòng)皮帶63移動(dòng)，從而帶動(dòng)測(cè)量組件4可以沿橫梁頂塊5往復(fù)移動(dòng)，使測(cè)量組件4可以測(cè)量出非磁性薄膜類8在主動(dòng)輥輪31沿軸方向上各個(gè)點(diǎn)的數(shù)值。皮帶傳動(dòng)具有良好的彈性，在工作中能緩和沖擊和振動(dòng)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)無(wú)噪音，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單制造容易，安裝和維修方便，成本較低。

本實(shí)施例中，所述移動(dòng)座43的兩側(cè)均設(shè)置有第二導(dǎo)軌461、與第二導(dǎo)軌461配合使用的第二滑塊462及驅(qū)動(dòng)測(cè)量?jī)x安裝架41升降的升降驅(qū)動(dòng)氣缸45，所述測(cè)量?jī)x安裝架41固定連接于第二滑塊462。本發(fā)明在測(cè)量產(chǎn)品之前，測(cè)量組件4需要在主動(dòng)輥輪31的徑向方向測(cè)取數(shù)據(jù)，因此本發(fā)明通過(guò)升降驅(qū)動(dòng)氣缸45驅(qū)動(dòng)移動(dòng)座移動(dòng)，以帶動(dòng)測(cè)量組件4在其測(cè)量范圍內(nèi)上下移動(dòng)。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制方便，位移精度高。

本實(shí)施例中，所述橫梁頂塊5材質(zhì)為大理石。大理石材質(zhì)具有結(jié)構(gòu)精密，質(zhì)地均勻，穩(wěn)定性好，強(qiáng)度大，硬度高，能在重負(fù)荷及一般溫底下保持高精度，并且具有不生銹，耐酸堿，耐磨性，不磁化、不變型等優(yōu)點(diǎn)，從而使設(shè)備減少外界因素所帶來(lái)的測(cè)量誤差，提高測(cè)量的精確度。

如圖4所示，本實(shí)施例中，所述設(shè)備機(jī)架2設(shè)有第一支撐座33，所述主動(dòng)輥輪3的兩端連接于第一支撐座33并位于測(cè)量組件4的下方，所述設(shè)備機(jī)架2設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輥輪31的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)311；所述從動(dòng)輥輪32滑動(dòng)設(shè)于所述第一支撐座33，所述第一支撐座33設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)從動(dòng)輥輪32靠近或遠(yuǎn)離主動(dòng)輥輪31的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與從動(dòng)輥輪32連接的輥輪移動(dòng)座321、第三滑塊333、與第三滑塊333配合使用的第三導(dǎo)軌322和驅(qū)動(dòng)輥輪移動(dòng)座321位移的位移驅(qū)動(dòng)氣缸324，所述第三導(dǎo)軌322連接于第一支撐座33，所述第三滑塊333與輥輪移動(dòng)座321連接。所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與主動(dòng)輥輪31連接的從動(dòng)輪、主動(dòng)輪、繞設(shè)于從動(dòng)輪和主動(dòng)輪的皮帶及與從動(dòng)輪連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。該驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以采用步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)。在工作時(shí)，位移驅(qū)動(dòng)氣缸324驅(qū)動(dòng)從動(dòng)輥輪32移動(dòng)，與主動(dòng)輥輪31嚙合。使非磁性薄膜類8能夠貼緊在主動(dòng)輥輪31表面移動(dòng)，避免非磁性薄膜類8在測(cè)量過(guò)程中與主動(dòng)輥輪31間產(chǎn)生空隙，影響其測(cè)量的準(zhǔn)確性，提高本發(fā)明測(cè)量的精度。

如圖4所示，所述導(dǎo)料組件3還包括第一導(dǎo)料輥輪33、第二導(dǎo)料輥輪34及設(shè)于設(shè)備機(jī)架2的第二支撐座331和第三支撐座341，所述第一導(dǎo)料輥輪33的兩端連接于所述第二支撐座331，所述第二導(dǎo)料輥輪34的兩端連接于所述第三支撐座341。具體的，所述第三支撐座341上設(shè)置有滑槽342，第二導(dǎo)料輥輪34能夠在滑槽342的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)安裝位置。第一導(dǎo)料輥輪33和第二導(dǎo)料輥輪34起到導(dǎo)向作用，便于非磁性薄膜類8的進(jìn)料和出料。

如圖5、圖6所示，一種用于權(quán)利要求1所述的一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備的在線非接觸測(cè)厚的測(cè)量方法，包括以下步驟：

步驟1：在測(cè)量產(chǎn)品厚度之前，驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件4下降使CCD傳感器422和光發(fā)射器421檢測(cè)到空載的主動(dòng)輥輪31，接著驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件4在主動(dòng)輥輪31的軸向方向來(lái)回移動(dòng)n（n≥1）次，每移動(dòng)一次，測(cè)量組件4選取主動(dòng)輥輪31的軸向上設(shè)定的m（m≥1）個(gè)點(diǎn)作為測(cè)量點(diǎn)，由此CCD傳感器422所測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為CCD_C1、CCD_C2、CCD_C3…CCD_Cn，磁場(chǎng)傳感器41所測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為AD_C1、AD_C2、AD_C3…AD_Cn，其中每組CCD_C和AD_C的數(shù)據(jù)里都包括m個(gè)點(diǎn)的測(cè)量值，最后計(jì)算出來(lái)回移動(dòng)n次所對(duì)應(yīng)m個(gè)點(diǎn)各自的平均值記錄為CCD_CA1和AD_CA1。

具體的，該步驟1的CCD傳感器422所測(cè)得數(shù)值和平均值如以下的表1所示：

表格1

表格內(nèi)的X1、X12、X13…X1m為CCD傳感器422在主動(dòng)輥輪31的軸向方向移動(dòng)第一次對(duì)設(shè)定的m個(gè)測(cè)量點(diǎn)所測(cè)得數(shù)值，以此類推，Xn、X2n、X2n…Xnm為CCD傳感器422在主動(dòng)輥輪31的軸向方向移動(dòng)第n次對(duì)設(shè)定的m個(gè)測(cè)量點(diǎn)所測(cè)得數(shù)值（如圖5所示）； 、、、…表格內(nèi)的為每個(gè)測(cè)量點(diǎn)被測(cè)量n次后所計(jì)算得到平均值。

具體的，該步驟1的磁場(chǎng)傳感器41所測(cè)得數(shù)值和平均值如以下的表2所示：

表格2

表格2內(nèi)的數(shù)值為磁場(chǎng)傳感器41在主動(dòng)輥輪31的軸向方向移動(dòng)n次對(duì)設(shè)定的m個(gè)測(cè)量點(diǎn)所測(cè)得數(shù)值和平均值，其原理與計(jì)算方式如前面所述，在這里不再贅述。

步驟2：將測(cè)量組件4在其量程內(nèi)位移一段距離，接著驅(qū)動(dòng)測(cè)量組件4在主動(dòng)輥輪31的軸向方向來(lái)回移動(dòng)n（n≥1）次，每移動(dòng)一次測(cè)量組件4選取軸向上固定的m（m≥1）個(gè)點(diǎn)作為測(cè)量點(diǎn)，由此CCD傳感器422所測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為CCD_C1、CCD_C2、CCD_C3…CCD_Cn，磁場(chǎng)傳感器41測(cè)得的n組數(shù)據(jù)記錄為AD_C1、AD_C2、AD_C3…AD_Cn，其中每組CCD_Cn和AD_Cn的數(shù)據(jù)里包括m個(gè)點(diǎn)的測(cè)量值，最后計(jì)算出來(lái)回移動(dòng)n次所對(duì)應(yīng)m個(gè)點(diǎn)各自的平均值記錄為CCD_CA2和AD_CA2。

具體的，該步驟是以步驟1的數(shù)據(jù)為基準(zhǔn)而測(cè)的一個(gè)對(duì)比數(shù)據(jù)，以為下一步驟計(jì)算所用，其工作原理和計(jì)算方式與步驟1所述的一樣，在這里不再贅述。

步驟3：計(jì)算AD的修正系數(shù)AD_a，其公式為AD_a=（CCD_CA2—CCD_CA1）/（AD_CA2—AD_CA1），AD_a取絕度值，其中AD_a包括m個(gè)點(diǎn)的修正系數(shù)。

具體的，該步驟公式能夠計(jì)算出磁場(chǎng)傳感器41所測(cè)量的數(shù)值變化量對(duì)CCD傳感器422所測(cè)得的數(shù)據(jù)變化量的影響的比例關(guān)系。

步驟4：將非磁性薄膜貼著主動(dòng)輥輪31移動(dòng)，測(cè)量組件4在主動(dòng)輥輪31的軸向方向來(lái)回移動(dòng)，由此磁場(chǎng)傳感器41和CCD傳感器422測(cè)得的實(shí)際值為CCD_T和AD_T，通過(guò)公式計(jì)算出該非磁性薄膜的厚度H，該公式為H=（CCD_T-CCD_CA1）-[(AD_T-AD_CA1)XAD_a]，其中H包括m個(gè)點(diǎn)的計(jì)算值。具體的，最后中心控制臺(tái)會(huì)根據(jù)所計(jì)算出的各個(gè)點(diǎn)的H值來(lái)判斷所測(cè)的非磁性薄膜類材料的厚度和均勻度是否達(dá)到生產(chǎn)所需的要求。

以上所述，僅是本發(fā)明較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許變更或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明技術(shù)是指對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。