技術(shù)總結(jié)
一種超微器件微小振動(dòng)固有頻率測(cè)試系統(tǒng)和方法，該測(cè)試系統(tǒng)包括依次連接的信號(hào)發(fā)生器、功率放大器、激振器、激光位移計(jì)組和數(shù)字示波器；其中激光位移計(jì)組由并聯(lián)的兩個(gè)激光探頭組成，并事先調(diào)整采樣頻率為所要測(cè)量超微器件振動(dòng)頻率范圍最高值的四倍以上；本發(fā)明還提供上述系統(tǒng)的測(cè)試方法，能夠?qū)撩琢考?jí)微小器件或設(shè)備局部微小振動(dòng)結(jié)構(gòu)振動(dòng)的固有頻率進(jìn)行檢測(cè)，可監(jiān)測(cè)的振動(dòng)位移允許低至幾十微米量級(jí)。

技術(shù)研發(fā)人員：陳剛;曹亮;邵兆申;張保
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安交通大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710070101
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.08
技術(shù)公布日：2017.06.20