1.一種超微小器件振動固有頻率測試系統(tǒng)，其特征在于：包括依次連接的信號發(fā)生器、功率放大器、激振器、激光位移計組和數(shù)字示波器；所述激光位移計組由并聯(lián)的兩個激光探頭即第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)以及固定第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)的激光探頭基座(6)組成，第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)根據(jù)所要測試的振動頻率范圍事先調(diào)整合適的采樣頻率，能夠實現(xiàn)對小至毫米量級的微小器件或設備包含微小局部結構的振動固有頻率實施測量，振動位移量能夠低至微米量級；所述激振器包括激振器基座(7)和固定在激振器基座(7)上的振動軸(1)。
2.權利要求1所述系統(tǒng)的測試方法，其特征在于：包括超微小器件受測點幅頻特性曲線的建立和超微小器件受測點振動固有頻率的確定；具體方法如下：
所要測量的超微小器件包括相連接的受測點(2)和基座部分(3)，在一定頻率的振動下，受測點(2)和基座部分(3)會發(fā)生相對運動；將激振器置于隔震板(8)上以減小環(huán)境的振動波影響，將所要測量的超微小器件按照所要測量的振動方向固定于激振器的振動軸(1)上，并使得所關心的受測點(2)展示于振動軸(1)外側方向；將激光位移計組的并聯(lián)的第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)的激光探頭基座(6)固定在試驗過程中與激振器基座(7)相對靜止的位面上，將第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)的光點分別打在所要測量的超微小器件的受測點(2)和與之緊鄰并在振動過程中與受測點發(fā)生相對位移的基座部分(3)；調(diào)整激光探頭與光點的距離和角度，根據(jù)采樣定理調(diào)整第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)的采樣頻率大于測試過程所要激振頻率范圍最高值的4倍以上；測試時，啟動激振器并通過信號發(fā)生器和功率放大器使得激振器駐留在某一固定頻率下振動，第一激光探頭(4)和第二激光探頭(5)采集到的位移數(shù)據(jù)轉化為電信號后，通過數(shù)字示波器分別顯示出超微小器件的受測點(2)相對于靜止面的振動波形和-基座部分(3)相對于靜止面的振動波形；將兩個振動波形同時刻電壓值作差，得到新的波形，即為所測超微小器件的受測點(2)相對于基座部分(3)的振動位移曲線；記錄此時信號發(fā)生器所發(fā)出信號的頻率即激振器的激振頻率與振動位移曲線的幅值，作為一組數(shù)據(jù)；逐步改變激振頻率并按照上述方法反復試驗，根據(jù)記錄得到一系列頻率——幅值數(shù)據(jù)作圖即得到超微小器件的受測點(2)相對于基座部分(3)振動的幅頻特性曲線；利用得到的幅頻特性曲線，根據(jù)幅值判別法，即在曲線上找到最大幅值處所對應的激振頻率，即為受測超微小器件的振動固有頻率。