1.一種硅基縫隙耦合式T型結(jié)的間接式毫米波信號(hào)檢測儀器，該信號(hào)檢測器的傳感器部分制作在高阻Si襯底(1)上，是由共面波導(dǎo)傳輸線(3)、一號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-1)、二號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-2)、三號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-3)、四號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-4)、移相器(5)、一號(hào)單刀雙擲開關(guān)(20)、二號(hào)單刀雙擲開關(guān)(21)、一個(gè)T型結(jié)功分器、三個(gè)T型結(jié)功合器以及六個(gè)間接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成，具體結(jié)構(gòu)的連接關(guān)系如下：第一端口(1-1)是信號(hào)輸入端，一號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-1)和二號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-2)位于共面波導(dǎo)傳輸線(3)上側(cè)地線，三號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-3)和四號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-4)則位于共面波導(dǎo)傳輸線(3)下側(cè)地線，這兩對(duì)縫隙關(guān)于中心信號(hào)線對(duì)稱，它們之間由一個(gè)移相器(5)隔開，首先來看頻率檢測模塊(6)，一號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-1)連接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)與一號(hào)單刀雙擲開關(guān)(20)的輸入端相連，一號(hào)單刀雙擲開關(guān)(20)的輸出端分別連接到一號(hào)T型結(jié)功合器和一號(hào)間接式熱電式功率傳感器，同樣的，二號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-2)連接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)與二號(hào)單刀雙擲開關(guān)(21)的輸入端相連，二號(hào)單刀雙擲開關(guān)(21)的輸出端分別連接到一號(hào)T型結(jié)功合器和二號(hào)間接式熱電式功率傳感器，而一號(hào)T型結(jié)功合器的輸出端連接到三號(hào)間接式熱電式功率傳感器；再看相位檢測模塊(7)，三號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-3)與第四端口(1-4)相連，第四端口(1-4)連接到二號(hào)T型結(jié)功合器，四號(hào)縫隙耦合結(jié)構(gòu)(4-4)與第五端口(1-5)相連，第五端口(1-5)連接到三號(hào)T型結(jié)功合器，參考信號(hào)通過四號(hào)T型結(jié)功分器的輸入端輸入，四號(hào)T型結(jié)功分器的輸出端分別連接到二號(hào)T型結(jié)功合器和三號(hào)T型結(jié)功合器，然后，二號(hào)T型結(jié)功合器的輸出端連接四號(hào)間接式熱電式功率傳感器，三號(hào)T型結(jié)功合器的輸出端連接五號(hào)間接式熱電式功率傳感器，最后是功率檢測模塊(8)，在第六端口(1-6)處連接著六號(hào)間接式熱電式功率傳感器；在每個(gè)間接式熱電式功率傳感器之后都連接著模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊，然后將這些模數(shù)轉(zhuǎn)換得到的數(shù)字信號(hào)都接入MCS51單片機(jī)進(jìn)行公式計(jì)算，最后通過液晶顯示屏顯示輸出頻率、相位和功率的數(shù)值大小。
2.如權(quán)利要求1所述的硅基縫隙耦合式T型結(jié)的間接式毫米波信號(hào)檢測儀器，其特征在于，T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器的結(jié)構(gòu)是相同的，主要由共面波導(dǎo)傳輸線(3)、兩個(gè)扇形缺陷結(jié)構(gòu)(15)和三個(gè)空氣橋(17)構(gòu)成，扇形缺陷結(jié)構(gòu)(15)是位于兩個(gè)輸入端口處的扇形形狀的缺陷地結(jié)構(gòu)，而空氣橋(17)是位于中心信號(hào)線上方的梁結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的硅基縫隙耦合式T型結(jié)的間接式毫米波信號(hào)檢測儀器，其特征在于，采用間接式熱電式功率傳感器來實(shí)現(xiàn)熱電轉(zhuǎn)換，它主要由共面波導(dǎo)傳輸線(3)、兩個(gè)終端電阻(9)以及熱電堆(13)所構(gòu)成，而熱電堆(13)又是由P型半導(dǎo)體臂(10)和N型半導(dǎo)體臂(11)通過歐姆接觸(12)級(jí)聯(lián)組成，其中共面波導(dǎo)傳輸線(3)與兩個(gè)終端電阻(9)相連，而熱電堆(13)與終端電阻(9)之間有一段間隔。