1.一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:
在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,MTFS>MTFT;
在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,MTFT>MTFS;
其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS>MTFT×10;如果所述多個感光單元的主要排列方向為子午方向,則MTFT>MTFS×10。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFT≥0.5,MTFS<0.05。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得所述解析結(jié)果滿足所述條件;和/或
在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件,并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離,使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,進一步包括:
反光元件,所述反光元件設(shè)置在所述成像物鏡的出射光路上,所述成像物鏡的出射光經(jīng)所述反光元件反射后,入射到所述感光元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,進一步包括:
帶通濾光片,設(shè)置于所述成像物鏡的入射光路上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,進一步包括:
聚焦透鏡,設(shè)置于所述激光器的出射光路上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的激光位移傳感器,其特征在于,所述感光元件為線陣感光元件,所述線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的激光位移傳感器,其特征在于,所述感光元件為面陣感光元件,所述面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元,所述面陣感光元件的長邊延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的激光位移傳感器,其特征在于,所述成像物鏡為單一鏡片,且所述成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面;或者,所述成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。