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動態(tài)掃描X?射線檢測器面板的制作方法

文檔序號:12457331閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種系統(tǒng),包括:

閃爍層,配置為用于(i)接收從X-射線源發(fā)出的X-射線,以及(ii)將所述X-射線轉換成光;

多個微機電掃描儀,配置為用于(i)檢測所述光的對應部分,以及(ii)生成各自的信號;

掃描模塊,配置為用于致動所述多個微機電掃描儀中的每一個,其中所述信號中的每一個基于所述多個微機電掃描儀中的對應一個的致動而生成的;以及

處理器,配置為用于基于所述信號生成圖像,其中所述信號中的每一個貢獻于所述圖像的對應部分。

2.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,所述多個微機電掃描儀包括多個晶體管。

3.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,

所述多個微機電掃描儀各自包括多個光電檢測器;

所述多個光電檢測器包括多個平臺;以及

所述掃描模塊被配置為用于移動所述多個平臺中的每一個。

4.如權利要求3所述的系統(tǒng),其特征在于,所述掃描模塊被配置為用于:

選擇多個圖案;以及

以所述多個圖案中的對應一個來移動所述多個平臺中的每一個。

5.如權利要求4所述的系統(tǒng),其特征在于,所述多個圖案包括螺旋形圖案、徑向圖案、圓形圖案、或矩形圖案。

6.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,所述掃描模塊被配置為用于以不同的掃描頻率來移動所述多個微機電掃描儀中的一個。

7.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,

所述多個微機電掃描儀包括第一微機電掃描儀和第二微機電掃描儀;以及

所述掃描模塊被配置為用于(i)以第一掃描頻率移動所述第一微機電掃描儀,和(ii)以第二掃描頻率移動所述第二微機電掃描儀。

8.如權利要求1所述的系統(tǒng),還包括多個機械致動器,其中:

所述多個微機電掃描儀各自包括多個光電二極管;以及

所述掃描模塊被配置為用于,通過所述多個機械致動器移動所述多個微機電掃描儀,從而繞著兩個對應的正交軸樞轉所述多個光電二極管中的每一個。

9.如權利要求1所述的系統(tǒng),還包括多個電磁線圈,其中:

所述多個微機電掃描儀各自包括多個鏡子;以及

所述掃描模塊被配置為用于,通過所述多個電磁線圈,繞著兩個對應的正交軸樞轉所述多個鏡子中的每一個。

10.如權利要求1所述的系統(tǒng),還包括:

所述X-射線源,其中所述X-射線源被配置為用于朝著對象發(fā)出X-射線;以及

平板檢測器,其包括所述閃爍層和所述多個微機電掃描儀,其中所述平板檢測器(i)位于所述對象的不同于所述X-射線源的相對側,并且(ii)被配置為用于在所述X-射線已穿過所述對象后接收所述X-射線。

11.如權利要求1所述的系統(tǒng),還包括置于所述閃爍層和所述多個微機電掃描儀之間的第二層。

12.如權利要求11所述的系統(tǒng),

所述第二層被配置為用于接收來自所述閃爍層的光;以及

所述多個微機電掃描儀被配置為用于在所述光穿過所述第二層后接收所述光。

13.如權利要求12所述的系統(tǒng),還包括鏡子,其中所述多個微機電掃描儀被置于所述第二層和所述鏡子之間,從而使所述多個微機電掃描儀被配置為用于在所述光已經從所述鏡子反射之后接收所述光。

14.如權利要求1所述的系統(tǒng),其特征在于,還包括第二層和第三層,其特征在于,

所述第二層包括所述多個微機電掃描儀,其中所述X-射線穿過所述第二層且隨后在所述閃爍層被接收;

所述閃爍層置于所述第二層和所述第三層之間;以及

所述多個微機電掃描儀被配置為用于在所述光已經從所述閃爍層發(fā)出后接收所述光。

15.一種系統(tǒng),包括:

閃爍層,配置為用于(i)接收從X-射線源發(fā)出的X-射線,以及(ii)將所述X-射線轉換成光;

多個晶體管,配置為用于(i)檢測所述光的對應部分,以及(ii)生成各自的信號;

掃描模塊,配置為用于致動所述多個晶體管中的每一個,其中所述信號中的每一個基于所述多個晶體管中的對應一個的致動而生成的;以及

處理器,配置為用于基于所述信號生成圖像,其中所述信號中的每一個貢獻于所述圖像的對應部分。

16.如權利要求15所述的系統(tǒng),其特征在于,所述掃描模塊被配置為用于:

選擇多個圖案;以及

以所述多個圖案中的對應一個來移動所述多個晶體管中的每一個。

17.如權利要求16所述的系統(tǒng),其特征在于,所述多個圖案包括螺旋形圖案、徑向圖案、圓形圖案、或矩形圖案。

18.如權利要求15所述的系統(tǒng),其特征在于,所述掃描模塊被配置為用于以不同的掃描頻率來移動所述多個晶體管中的一個。

19.如權利要求15所述的系統(tǒng),其特征在于:

所述多個晶體管包括第一晶體管和第二晶體管;以及

所述掃描模塊被配置為用于(i)以第一掃描頻率移動所述第一晶體管,以及(ii)以第二掃描頻率移動所述第二晶體管。

20.如權利要求15所述的系統(tǒng),還包括多個機械致動器,其中:

所述掃描模塊被配置為用于,通過所述多個機械致動器移動所述多個晶體管,從而繞著兩個對應的正交軸樞轉所述多個晶體管中的每一個。

21.如權利要求15所述的系統(tǒng),還包括:

所述X-射線源,其中所述X-射線源被配置為用于朝著對象發(fā)出X-射線;以及

平板檢測器,其包括所述閃爍層和所述多個晶體管,其中所述平板檢測器(i)位于所述對象的不同于所述X-射線源的相對側,并且(ii)被配置為用于在所述X-射線已穿過所述對象后接收所述X-射線。

22.如權利要求15所述的系統(tǒng),還包括置于所述閃爍層和所述多個晶體管之間的玻璃層。

23.如權利要求22所述的系統(tǒng),其特征在于:

所述玻璃層被配置為用于接收來自所述閃爍層的光;以及

所述多個晶體管被配置為用于在所述光已穿過所述玻璃層后接收所述光。

24.如權利要求23所述的系統(tǒng),還包括鏡子,其中所述多個晶體管被置于所述玻璃層和所述鏡子之間,從而使所述多個晶體管被配置為用于在所述光已經反射離開所述鏡子之后接收所述光

25.如權利要求15所述的系統(tǒng),還包括硅層和玻璃層,其特征在于,

所述硅層包括所述多個晶體管,其中所述X-射線穿過所述硅層且隨后在所述閃爍層被接收;

所述閃爍層位于所述硅層和所述玻璃層之間;以及

所述多個晶體管被配置為用于在所述光已經從所述閃爍層發(fā)出后接收所述光。

26.一種方法,包括:

提供閃爍層;

在所述閃爍層處接收從X-射線源發(fā)出的X-射線;

經由所述閃爍層將所述X-射線轉換成光;

經由多個光電二極管檢測所述光的對應部分;

經由所述多個光電二極管,基于所述光的被檢測部分生成信號;

致動所述多個光電二極管中的每一個,其中所述信號中的每一個是基于所述多個光電二極管中的對應一個被致動的光電二極管而生成的;以及

基于所述信號生成圖像,其中所述信號中的每一個貢獻于所述圖像的對應部分。

27.如權利要求26所述的方法,其特征在于:

致動所述多個光電二極管包括致動多個平臺;以及

所述多個光電二極管被安裝在所述多個平臺上。

28.如權利要求27所述的方法,還包括:

選擇多個圖案;以及

以所述多個圖案中的對應一個來移動所述多個平臺中的每一個。

29.如權利要求26所述的方法,還包括以不同的掃描頻率來移動所述多個光電二極管中的一個。

30.如權利要求26所述的方法,還包括:

以第一掃描頻率移動第一光電二極管;以及

以第二掃描頻率移動第二光電二極管,

其中所述多個光電二極管包括所述第一光電二極管和所述第二光電二極管。

31.如權利要求26所述的方法,還包括:通過多個機械致動器移動所述多個光電二極管,從而圍繞兩個對應的正交軸樞轉所述多個光電二極管中的每一個。

32.如權利要求26所述的方法,其特征在于,所述X-射線從所述X-射線源朝著對象發(fā)出,并且在所述X-射線已穿過所述對象后被所述多個光電二極管所接收。

33.如權利要求26所述的方法,還包括提供置于所述閃爍層和所述多個光電二極管之間的第二層,其中:

在所述第二層處,從所述閃爍層接收所述光;以及

在所述光已穿過所述第二層后,在所述多個光電二極管處接收所述光。

34.如權利要求26所述的方法,還包括,提供:

置于所述閃爍層和所述多個光電二極管之間的第二層;以及

鏡子,

其中,

在所述第二層處,從所述閃爍層接收所述光;以及

在所述光已穿過所述第二層后,在所述多個光電二極管處接收所述光,

所述多個光電二極管置于所述第二層和所述鏡子之間,以及

在所述光已反射離開所述鏡子后,在所述多個光電二極管處接收所述光。

35.如權利要求26所述的方法,還包括,提供:

第二層;以及

第三層,其置于所述閃爍層和所述多個光電二極管之間,

其中,

所述第二層包括所述多個光電二極管,

所述X-射線穿過所述第二層且隨后在所述閃爍層處被接收,

所述閃爍層置于所述第二層和所述第三層之間,以及

在所述光已經從所述閃爍層發(fā)出后,在所述多個光電二極管處接收所述光。

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