技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及一種基于原子力顯微鏡的可控氣氛下的多探針探測方法，該方法的主要步驟包括根據(jù)實驗要求，向真空腔體內部通入設定的氣氛，然后通過外部驅動裝置依次原位切換具有不同功能的探針，從而實現(xiàn)不同功能的實驗。該方法可在同一氣氛下對樣品原位實現(xiàn)微觀摩擦磨損、表面形貌掃描、電學性能表征、晶體結構演變探測和摩擦能量耗散測量等不同功能的實驗，無需破壞原有實驗環(huán)境氣氛，有效地避免了外界環(huán)境對樣品的污染，并且操作便捷、效率較高。

技術研發(fā)人員：錢林茂;鄒乙稼;江亮;余丙軍;張超杰
受保護的技術使用者：西南交通大學
技術研發(fā)日：2017.01.19
技術公布日：2017.07.04