1.一種熱損失型風(fēng)速傳感器，其特征在于：包括絕緣襯底，布置在絕緣襯底背面的加熱電感線圈，以及布置在絕緣襯底正面且與加熱電感線圈位置正對(duì)應(yīng)的發(fā)熱電感線圈；絕緣襯底正面上設(shè)有二氧化硅層，發(fā)熱電感線圈的兩個(gè)線端在二氧化硅薄層中連接，以形成閉合回路。
2.如權(quán)利要求1所述的熱損失型風(fēng)速傳感器，其特征在于：絕緣襯底是玻璃襯底。
3.如權(quán)利要求1所述的風(fēng)速傳感器，其特征在于：所述玻璃襯底的厚度為300-500微米，熱導(dǎo)率小于30W/mk。
4.如權(quán)利要求1所述的熱損失型風(fēng)速傳感器，其特征在于：二氧化硅薄層厚度是1-2微米。
5.一種熱損失型風(fēng)速傳感器的制備方法，其特征在于：
第一階段：制作發(fā)熱電感線圈的金屬連接線，先后實(shí)施如下步驟：在準(zhǔn)備的玻璃襯底的正面生長(zhǎng)二氧化硅層；在二氧化硅層上方旋涂光刻膠并固化；利用光刻技術(shù)去除正面需要生長(zhǎng)金屬部分的光刻膠；刻蝕需要生長(zhǎng)金屬連接線位置的二氧化硅層；濺射金屬材料；泡入丙酮溶液中，剝離后形成金屬連接線；
第二階段：制作正面的發(fā)熱電感線圈，先后實(shí)施如下步驟：在二氧化硅層上方旋涂光刻膠并固化，刻蝕出需要生長(zhǎng)金屬的部分；濺射金屬材料；泡入丙酮溶液中，剝離，形成襯底正面的發(fā)熱電感線圈；
第三階段：制作背面的發(fā)熱電感線圈，先后實(shí)施如下步驟：在襯底背面旋涂光刻膠，固化；利用光刻技術(shù)去除背面需要生長(zhǎng)金屬部分的光刻膠；濺射金屬材料；泡入丙酮溶液中，剝離，形成襯底背面的加熱電感線圈。
6.如權(quán)利要求5所述的熱損失型風(fēng)速傳感器的制備方法，其特征在于：濺射的金屬材料優(yōu)選為金或銅。
7.一種基于熱損失型風(fēng)速傳感器的風(fēng)速檢測(cè)方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1所述結(jié)構(gòu)的熱損失型風(fēng)速傳感器；通過對(duì)加熱電感線圈施加交變電流，使得閉合的發(fā)熱電感線圈上產(chǎn)生熱量并在玻璃襯底和二氧化硅層中形成溫度梯度；當(dāng)風(fēng)吹過時(shí)熱量被帶走，發(fā)熱電感線圈的電阻變小，從而引起加熱電感線圈輸入阻抗的變化，最終可以實(shí)現(xiàn)風(fēng)速的測(cè)量。
8.如權(quán)利要求7所述的風(fēng)速檢測(cè)方法，其特征在于：加熱電感線圈的等效阻抗Z可以表示成如下函數(shù)關(guān)系:
Z＝F(x,μ,ρ,f)
其中，x是襯底的厚度，μ是發(fā)熱電感線圈的磁導(dǎo)率,ρ是發(fā)熱電感線圈的電阻率,f是加熱電感線圈中激勵(lì)電流的頻率。