技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型適用于晶棒檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種藍(lán)寶石晶棒檢測(cè)裝置，包括：外容器、晶棒臺(tái)、鏡頭、第一CCD相機(jī)單元；所述晶棒臺(tái)作為載物臺(tái)貫穿所述外容器的底端，晶棒臺(tái)為中空且上端為透明狀，內(nèi)嵌有平行光源及起偏鏡，待檢測(cè)藍(lán)寶石晶棒置于所述晶棒臺(tái)上；所述鏡頭固定在所述外容器上方，所述鏡頭底端設(shè)置有檢偏鏡；帶有檢偏鏡的所述鏡頭用于采集經(jīng)過所述藍(lán)寶石晶棒的偏振光，得到包含有藍(lán)寶石晶棒的應(yīng)力和晶界形狀的圖像信息；第一CCD相機(jī)單元設(shè)置于所述外容器四周，用于通過沿外容器的高度方向運(yùn)動(dòng)來(lái)掃描藍(lán)寶石晶棒，得到包含有藍(lán)寶石晶棒的氣泡的圖像信息。本實(shí)用新型提供的檢測(cè)裝置減少了人為因素對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：翟劍龐;姜建偉;蹇敦亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621331196
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.06
技術(shù)公布日：2017.06.16