1.一種全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,包括:
樣品載物臺(tái),所述樣品載物臺(tái)用于放置待測(cè)樣品;
X射線管,所述X射線管用于向所述樣品載物臺(tái)發(fā)射X射線,所述X射線管為兩個(gè)以上,所述X射線管繞所述樣品載物臺(tái)周向設(shè)置;
探測(cè)器,所述探測(cè)器用于接收經(jīng)過所述待測(cè)樣品反射出的X熒光;及
傾斜角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述傾斜角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與所述樣品載物臺(tái)傳動(dòng)相連,所述傾斜角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)整所述樣品載物臺(tái)朝向其中一個(gè)所述X射線管的發(fā)射端傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述傾斜角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括角度調(diào)節(jié)滑臺(tái),所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)與所述樣品載物臺(tái)傳動(dòng)相連,所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)用于調(diào)整所述樣品載物臺(tái)相對(duì)于水平面的傾斜角度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,還包括高度調(diào)節(jié)滑臺(tái),所述高度調(diào)節(jié)滑臺(tái)與所述樣品載物臺(tái)傳動(dòng)相連,所述高度調(diào)節(jié)滑臺(tái)用于驅(qū)動(dòng)所述樣品載物臺(tái)升降動(dòng)作。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述X射線管為兩個(gè),其中一個(gè)所述X射線管設(shè)置在所述樣品載物臺(tái)的一側(cè),另一個(gè)所述X射線管設(shè)置在所述樣品載物臺(tái)的另一側(cè),所述探測(cè)器設(shè)置在所述樣品載物臺(tái)的正上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述傾斜角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)與所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)傳動(dòng)相連,所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,還包括控制器,所述控制器與所述X射線管、所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)、所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)電性連接,所述控制器用于控制所述X射線管是否發(fā)射X射線、用于控制所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)傾斜偏轉(zhuǎn)的角度、以及用于控制所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)的角度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述X射線管的發(fā)射端設(shè)有準(zhǔn)直器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,還包括吹掃機(jī)構(gòu),所述吹掃機(jī)構(gòu)用于將抗干擾氣體吹向所述樣品載物臺(tái)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述吹掃機(jī)構(gòu)包括輸氣管與氣體流量計(jì),所述氣體流量計(jì)裝設(shè)在所述輸氣管上,所述氣體流量計(jì)設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥,所述輸氣管的輸出端朝向所述樣品載物臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全反射X射線熒光分析系統(tǒng),其特征在于,所述抗干擾氣體為氮?dú)?、二氧化碳或氧氣?/p>