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一種全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置的制作方法

文檔序號(hào):12194597閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,包括:

樣品載物臺(tái),所述樣品載物臺(tái)用于放置待測(cè)樣品;

X射線(xiàn)管與探測(cè)器,所述X射線(xiàn)管用于向所述樣品載物臺(tái)發(fā)射X射線(xiàn),所述探測(cè)器用于接收經(jīng)過(guò)所述待測(cè)樣品反射出的X熒光;及

吹掃機(jī)構(gòu),所述吹掃機(jī)構(gòu)用于將抗干擾氣體吹向所述樣品載物臺(tái)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,所述吹掃機(jī)構(gòu)包括輸氣管與氣體流量計(jì),所述氣體流量計(jì)裝設(shè)在所述輸氣管上,所述氣體流量計(jì)設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥,所述輸氣管的輸出端朝向所述樣品載物臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,還包括套筒,所述套筒一端與所述探測(cè)器的X熒光接收端相連,所述套筒另一端朝向所述樣品載物臺(tái)設(shè)置,所述套筒側(cè)壁設(shè)有通孔,所述輸氣管通過(guò)所述通孔與所述套筒相連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,所述吹掃機(jī)構(gòu)包括儲(chǔ)氣瓶,所述儲(chǔ)氣瓶用于裝設(shè)所述抗干擾氣體,所述儲(chǔ)氣瓶的出氣口設(shè)有閥門(mén),所述儲(chǔ)氣瓶的出氣口與所述輸氣管相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,還包括控制器,所述控制器與所述X射線(xiàn)管、所述閥門(mén)電性連接,所述控制器用于控制所述X射線(xiàn)管是否發(fā)射X射線(xiàn)、以及用于控制所述閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,所述控制器與所述流量調(diào)節(jié)閥電性連接,所述控制器用于控制所述流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)所述輸氣管輸出的氣體流量大小。

7.根據(jù)權(quán)利要求1~6所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,所述抗干擾氣體為氮?dú)?、二氧化碳或氧氣?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,還包括角度調(diào)節(jié)滑臺(tái),所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)與所述樣品載物臺(tái)傳動(dòng)相連,所述角度調(diào)節(jié)滑臺(tái)用于調(diào)整所述樣品載物臺(tái)相對(duì)于水平面的傾斜角度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,還包括高度調(diào)節(jié)滑臺(tái),所述高度調(diào)節(jié)滑臺(tái)與所述樣品載物臺(tái)傳動(dòng)相連,所述高度調(diào)節(jié)滑臺(tái)用于驅(qū)動(dòng)所述樣品載物臺(tái)升降動(dòng)作。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全反射X射線(xiàn)熒光分析裝置,其特征在于,所述X射線(xiàn)管的發(fā)射端設(shè)有準(zhǔn)直器。

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