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一種集成式帶通濾波器和光譜儀的制作方法

文檔序號:11684205閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種集成式帶通濾波器,其特征在于,包括一金屬層,金屬層中形成貫通的微米或納米孔陣列,通過金屬微米或納米孔的光的特征波長λ近似滿足以下公式:

λ≈nD

這里,n是金屬孔中填充材料的折射系數,D是金屬孔的直徑或寬度。

2.根據權利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔中的填充材料為不吸收所需要選通的波長的光的材料,或者所述金屬孔中不具有填充材料。

3.根據權利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔為圓柱體或方柱體或橫截面為六邊形的柱體。

4.根據權利要求1所述的濾波器,其特征在于,所述金屬孔的柱體高度大于所需要選通的波長。

5.一種光譜儀,其特征在于,包括:根據權利要求1-4中任一項所述的集成式帶通濾波器,以及設置在所述帶通濾波器下方的光電探測器,其中,所述集成式帶通濾波器的每個金屬孔底部均設有一個探測器以將不同波長的光轉換成電學信號。

6.根據權利要求5所述的光譜儀,其特征在于,將在所述集成式帶通濾波器的直徑或寬度相同的金屬孔下面分別設置的多個探測器替換為一個大面積光電探測器。

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