本實(shí)用新型屬于真空計(jì)領(lǐng)域，具體涉及一種寬量程智能復(fù)合真空計(jì)。

背景技術(shù)：

目前，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上的真空測(cè)量?jī)x表品種較多，但由于各種真空測(cè)量方法的局限性，每種真空儀表都受其測(cè)量上限和下限的限制，可測(cè)量的真空范圍窄。近年來也出現(xiàn)了較先進(jìn)的智能復(fù)合真空計(jì)，即將兩種或兩種以上的測(cè)量方法結(jié)合起來以擴(kuò)展測(cè)量范圍并實(shí)現(xiàn)兩種測(cè)量方法的自動(dòng)切換，但多采用8位單片機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)與控制，采用串行口與外部設(shè)備通訊。隨著單片機(jī)和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的發(fā)展，16位、32位單片機(jī)在嵌入式系統(tǒng)中的應(yīng)用呈迅速增長(zhǎng)趨勢(shì)，但真空計(jì)的整機(jī)性能有待進(jìn)一步提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有技術(shù)領(lǐng)域存在的上述缺陷，本實(shí)用新型的目的在于，提供一種寬量程智能復(fù)合真空計(jì)，提高復(fù)合真空計(jì)的整機(jī)性能。

本實(shí)用新型提供的寬量程智能復(fù)合真空計(jì)，它包括順序連接的測(cè)量部分、信號(hào)選擇開關(guān)、A/D轉(zhuǎn)換器和單片機(jī)，所述單片機(jī)連接有顯示器、鍵盤和繼電器輸出端，還包括為整個(gè)系統(tǒng)供電的電源系統(tǒng)；所述測(cè)量部分包括相連接的熱偶規(guī)傳感器和熱電勢(shì)放大器、相連接的電離規(guī)傳感器和離子流放大器，熱電勢(shì)放大器和離子流放大器均與信號(hào)選擇開關(guān)連接；熱偶規(guī)傳感器和電離規(guī)傳感器對(duì)真空室中的壓強(qiáng)進(jìn)行測(cè)量，將氣體壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)或電流信號(hào)，采樣值再經(jīng)過模擬信號(hào)放大和調(diào)理，經(jīng)A／D轉(zhuǎn)換后送入單片機(jī)，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理得到相應(yīng)的壓強(qiáng)值并通過顯示器直接顯示出來。

進(jìn)一步的，它還包括放大倍數(shù)轉(zhuǎn)換單元和用于對(duì)電離規(guī)傳感器靈敏度進(jìn)行控制的發(fā)射電路，所述放大倍數(shù)轉(zhuǎn)換單元與離子流放大器和發(fā)射電路連接。

進(jìn)一步的，所述單片機(jī)為STM32。

本實(shí)用新型提供的寬量程智能復(fù)合真空計(jì)，其有益效果在于，采用熱偶規(guī)傳感器和電離規(guī)傳感器檢測(cè)真空度，在不同的壓強(qiáng)下，通過熱偶規(guī)和電離規(guī)的搭配使用測(cè)量真空室的壓強(qiáng)值，測(cè)量量程寬，且量程可自動(dòng)切換。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的原理方框圖。

具體實(shí)施方式

下面參照附圖，結(jié)合一個(gè)實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型提供的寬量程智能復(fù)合真空計(jì)進(jìn)行詳細(xì)的說明。

實(shí)施例

參照?qǐng)D1，本實(shí)施例的寬量程智能復(fù)合真空計(jì)，它包括順序連接的測(cè)量部分、信號(hào)選擇開關(guān)、A/D轉(zhuǎn)換器和單片機(jī)，所述單片機(jī)連接有顯示器、鍵盤和繼電器輸出端，還包括為整個(gè)系統(tǒng)供電的電源系統(tǒng)、放大倍數(shù)轉(zhuǎn)換單元和發(fā)射電路；所述測(cè)量部分包括相連接的熱偶規(guī)傳感器和熱電勢(shì)放大器、相連接的電離規(guī)傳感器和離子流放大器，熱電勢(shì)放大器和離子流放大器均與信號(hào)選擇開關(guān)連接；所述放大倍數(shù)轉(zhuǎn)換單元與離子流放大器和發(fā)射電路連接。熱偶規(guī)傳感器和電離規(guī)傳感器對(duì)真空室中的壓強(qiáng)進(jìn)行測(cè)量，將氣體壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)或電流信號(hào)，采樣值再經(jīng)過模擬信號(hào)放大和調(diào)理，經(jīng)A／D轉(zhuǎn)換后送入單片機(jī)，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理得到相應(yīng)的壓強(qiáng)值并通過顯示器直接顯示出來，所述單片機(jī)為STM32。

最后應(yīng)說明的是：以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。