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壓阻傳感器和用于壓阻傳感器的壓敏元件的制作方法

文檔序號:12561281閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于壓阻傳感器的壓敏元件,其特征在于,包括:

導線層;

壓力敏感層,所述壓力敏感層覆蓋在所述導線層的上表面的至少一部分上,所述壓力敏感層被構造為所述壓力敏感層的比電阻由上到下梯度減小或增大。

2.根據權利要求1所述的壓敏元件,其特征在于,所述壓力敏感層包括聚合物梯度層,所述聚合物梯度層內分布有導電粒子,其中,所述聚合物梯度層的彈性模量與所述導電粒子在所述聚合物層中的分布濃度中的至少一個由上到下形成有梯度。

3.根據權利要求2所述的壓敏元件,其特征在于,所述聚合物梯度層包括從上到下層疊設置的多個聚合物層,每個所述聚合物層的彈性模量和導電粒子的分布濃度由上到下相同且任意一個所述聚合物層的彈性模量和導電粒子的分布濃度中的至少一個與其它所述聚合物層的不同。

4.根據權利要求1所述的壓敏元件,其特征在于,所述壓力敏感層包括兩個層疊設置的聚合物層,兩個所述聚合物層的材質相同且兩個所述聚合物層中的導電粒子的種類和分布濃度相同,兩個所述聚合物層中的其中一個所述聚合物層中還分布有導電物質或絕緣物質。

5.根據權利要求3或4所述的壓敏元件,其特征在于,所述聚合物層為硅基聚合物層或者碳基聚合物層。

6.一種壓阻傳感器,其特征在于,包括:

下絕緣層;

上絕緣層,所述上絕緣層設在所述下絕緣層上方且與所述下絕緣層間隔開;

間隔層,所述間隔層連接在所述下絕緣層與所述上絕緣層之間且與所述下絕緣層以及所述上絕緣層配合限定出安裝腔;

下導線層,所述下導線層設在所述下絕緣層的上表面上;

第一壓敏層,所述第一壓敏層設在所述安裝腔內且與所述上絕緣層間隔開,所述第一壓敏層為根據權利要求1-5中任一項所述的壓敏元件,所述導線層形成為所述下導線層。

7.根據權利要求6所述的壓阻傳感器,還包括:導電層,所述導電層位于所述安裝腔內且設在第一壓敏層與所述上絕緣層之間,所述導電層包括多個導電部,多個所述導電部在水平方向上嵌套設置且相鄰的兩個所述導電部間隔開設置。

8.根據權利要求7所述的壓阻傳感器,其特征在于,多個所述導電部形成為多個同心環(huán),在沿所述同心環(huán)的徑向上,多個所述同心環(huán)的徑向寬度從內向外依次增大。

9.根據權利要求7或8所述的壓阻傳感器,其特征在于,還包括:上導線層,所述上導線層設在所述安裝腔內且覆蓋在所述上絕緣層的下表面上,所述導電部設在所述上導線層與所述第一壓敏層之間且與所述上導線層和所述第一壓敏層的至少一個間隔開。

10.根據權利要求7或8所述的壓阻傳感器,其特征在于,還包括:第二壓敏層,所述第二壓敏層形成為倒置的所述壓敏元件,所述第二壓敏層位于所述安裝腔內且設在所述上絕緣層的下表面上,所述導電部設在所述第一壓敏層和所述第二壓敏層之間且與所述第一壓敏層和所述第二壓敏層的至少一個間隔開。

11.根據權利要求7或8所述的壓阻傳感器,還包括:上導線層或第二壓敏層,所述導電部包括兩個,兩個所述導電部在上下方向上間隔開設置,兩個所述導電部分別設在所述上導線層和所述第二壓敏層上。

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