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接觸式分中測(cè)量方法與流程

文檔序號(hào):11100142閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種接觸式測(cè)量方法,其特征在于,包括:

安裝于接觸式探頭上的探針移動(dòng)至待測(cè)工件第一側(cè)并與所述待測(cè)工件的第一側(cè)的第一待測(cè)點(diǎn)接觸獲得第一測(cè)量值;

所述接觸式探頭帶動(dòng)所述探針移動(dòng)至所述待測(cè)工件的第二側(cè),所述接觸式探頭或所述探針自旋轉(zhuǎn)180°后,所述探針接觸所述待測(cè)工件的第二側(cè)的第二待測(cè)點(diǎn)并獲得第二測(cè)量值;

計(jì)算第一測(cè)量值與第二測(cè)量值的平均值作為測(cè)量值。

2.如權(quán)利要求1所述的接觸式測(cè)量方法,其特征在于:驅(qū)動(dòng)所述接觸式探頭的主軸旋轉(zhuǎn)180°前,還包括控制所述接觸式探頭遠(yuǎn)離待測(cè)工件的步驟。

3.如權(quán)利要求1所述的接觸式測(cè)量方法,其特征在于:所述探針的同一側(cè)部位接觸所述第一待測(cè)點(diǎn)和所述第二待測(cè)點(diǎn)。

4.如權(quán)利要求1所述的接觸式測(cè)量方法,其特征在于:所述第一測(cè)量值和所述第二測(cè)量值分別為相對(duì)系統(tǒng)0點(diǎn)的坐標(biāo)值。

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