技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光學(xué)薄膜損傷過(guò)程中表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量方法，步驟是：(1)、調(diào)整光路：使得波長(zhǎng)為λ1的激光輻照在待測(cè)樣品上；(2)、通過(guò)透鏡的移動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，使波長(zhǎng)為λ1的激光輻照在待測(cè)樣品上有合適的光斑大小；(3)、進(jìn)行納秒脈沖激光誘導(dǎo)光學(xué)薄膜損傷的測(cè)量：?jiǎn)?dòng)第一激光器、第二激光器、移動(dòng)平臺(tái)、能量計(jì)及CCD在線損傷判斷裝置判斷待測(cè)樣品是否出現(xiàn)損傷；(4)、進(jìn)行損傷過(guò)程中表面溫度的測(cè)量：CCD在線損傷判斷裝置，啟動(dòng)第三激光器，使波長(zhǎng)為λ3的探測(cè)激光與波長(zhǎng)為λ1的主激光有一定的角度輻照在待測(cè)樣品上，同時(shí)調(diào)節(jié)兩個(gè)Si雪崩光電二極管探測(cè)器和示波器，記錄待測(cè)樣品表面的熱反射信號(hào)，以確定樣品表面在主激光輻照下?lián)p傷破壞過(guò)程中的溫度變化。

技術(shù)研發(fā)人員：凌秀蘭;田二明;劉曉鳳;顏兵;王高
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611221680
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.19
技術(shù)公布日：2017.06.20