一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，包括外殼，在外殼內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)子，在外殼內(nèi)部設(shè)置有第一級分子泵，與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵，第三級分子泵和端面法蘭連接，第二級分子泵安裝在第三級分子泵的裝配槽中。紅外探頭的測溫導(dǎo)線依次通過第三級分子泵線槽、端面法蘭線槽與端面測溫裝置相連。徑向測溫裝置的測量端穿過外殼、靠近第一級分子泵的外壁。本實用新型的第二級分子泵和第三級分子泵的可拆裝結(jié)構(gòu)，可以保證在分子泵正常運行的情況下，調(diào)試和安裝端面測溫裝置，徑向測溫裝置有大范圍的軸向選擇空間。測溫時，轉(zhuǎn)子既可以處于靜止?fàn)顟B(tài)、也可以處于轉(zhuǎn)動狀態(tài)，操作方便。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型屬于一種牽引式分子泵，具體涉及一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分 子泵。 一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵

【背景技術(shù)】
[0002] 牽引分子泵是依靠氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，從而將氣體分 子驅(qū)送到泵的出口。牽引式分子泵轉(zhuǎn)子表面溫度的變化情況能夠直觀地反應(yīng)出該裝置的 實時工作狀態(tài)和有關(guān)性能，因此溫度的實時監(jiān)控在該裝置的研制過程中具有十分重要的意 義。當(dāng)轉(zhuǎn)子以高轉(zhuǎn)速尤其是超高轉(zhuǎn)速進(jìn)行轉(zhuǎn)動時，轉(zhuǎn)子自身會發(fā)生形變，然而轉(zhuǎn)子表面的溫 度實時測量是十分困難的，并且分子泵自身的結(jié)構(gòu)也較為緊湊無法隨意加裝測溫裝置，因 此，如何實時監(jiān)測分子泵中轉(zhuǎn)子表面的溫度是該領(lǐng)域的一個難題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實用新型為解決牽引式分子泵中轉(zhuǎn)子表面的溫度無法實時監(jiān)測這一問題而提 出，其目的是提供一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵。
[0004] 本實用新型的技術(shù)方案是：一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，包括圓筒形 外殼，在外殼內(nèi)部設(shè)置有圓柱形轉(zhuǎn)子，在所述的外殼內(nèi)部、轉(zhuǎn)子外圍、且與轉(zhuǎn)子同軸設(shè)置有 第一級分子泵，與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵，第三級分子泵與端面法蘭連接， 第二級分子泵固定在第三級分子泵的裝配槽中，第一級分子泵為圓筒形，在圓形內(nèi)壁形成 螺旋導(dǎo)氣槽，第二級分子泵為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級槽壁B段 和第二級抽氣槽B段、并相間分布；第三級分子泵為厚壁圓筒形、在其下部形成圓環(huán)形的裝 配槽，在其中間形成中心通孔，中心通孔的內(nèi)壁形成螺旋導(dǎo)氣槽，在其下端面形成多個沿圓 周均布的第二級抽氣槽A段和第二級槽壁A段、并相間分布；紅外探頭安裝在第三級紅外探 頭孔中，其測溫導(dǎo)線依次通過第三級分子泵線槽、端面法蘭線槽與固定在端面法蘭中的端 面測溫裝置相連，端面測溫裝置固定在測溫裝置安裝孔中，徑向測溫裝置的測量端穿過外 殼、靠近第一級分子泵的外壁。
[0005] 所述的第二級抽氣槽A段和第二級抽氣槽B段呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊， 第二級槽壁A段和第二級槽壁B段呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。
[0006] 所述的螺旋導(dǎo)氣槽截面呈"U"型、且呈右旋狀態(tài)，所述的第二級抽氣槽A段、第二 級抽氣槽B段的槽型均為變寬度的矩形、并互相對齊。
[0007] 本實用新型的第二級分子泵和第三級分子泵的可拆裝結(jié)構(gòu)，可以保證在分子泵正 常運行的情況下，調(diào)試和安裝端面測溫裝置，徑向測溫裝置有大范圍的軸向選擇空間。測溫 時，轉(zhuǎn)子既可以處于靜止?fàn)顟B(tài)、也可以處于轉(zhuǎn)動狀態(tài)，操作方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 圖1是本實用新型的主視圖；
[0009] 圖2是本實用新型的俯視圖；
[0010] 圖3是本實用新型的端面法蘭與各級分子泵安裝位置示意圖；
[0011] 圖4是圖1中未安裝轉(zhuǎn)子、第二級分子泵和外殼時的A向視圖；
[0012] 圖5是圖1中未安裝轉(zhuǎn)子時的沿B-B線視圖；
[0013] 圖6是本實用新型的第三級分子泵的主視圖；
[0014] 圖7是本實用新型的第三級分子泵仰視圖；
[0015] 圖8是本實用新型的第三級分子泵俯視圖；
[0016] 圖9是本實用新型的第二級分子泵的仰視圖；
[0017] 圖10是本實用新型的第二級分子泵的俯視圖；
[0018] 圖11是圖3、6中沿C-C線視圖；
[0019] 圖12是圖7、9中沿D-D線視圖。
[0020] 其中：
[0021] 1第一級分子泵 2第三級分子泵
[0022] 3端面法蘭 4端面測溫裝置
[0023] 5徑向測溫裝置 6定位法蘭
[0024] 7第二級分子泵 8轉(zhuǎn)子
[0025] 9外殼 10端面法蘭螺釘
[0026] 11定位法蘭螺釘 12第二級分子泵螺釘
[0027] 13第二分子泵螺紋孔 14定位法蘭螺紋孔
[0028] 15第三級紅外探頭孔 16第三級分子泵固定孔
[0029] 17第二級槽壁A段 18第二級抽氣槽A段
[0030] 19第三級分子泵線槽 20第二級分子泵固定孔
[0031] 21第二級槽壁B段 22第二級抽氣槽B段
[0032] 23第二級紅外探頭孔 24第二級分子泵支撐底座
[0033] 25端面法蘭線槽 26端面法蘭螺紋孔
[0034] 27測溫裝置安裝孔 28裝配槽
[0035] 29紅外探頭 30螺旋導(dǎo)氣槽
[0036] 31中心孔 32上環(huán)形凸緣
[0037] 33下環(huán)形凸緣 34測溫導(dǎo)線。

【具體實施方式】
[0038] 以下，參照附圖和實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明：
[0039] 如圖1~12所示，一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，包括圓筒形外殼9,在外 殼9內(nèi)部設(shè)置有圓柱形轉(zhuǎn)子8,在外殼9內(nèi)部、轉(zhuǎn)子8外圍、且與轉(zhuǎn)子8同軸設(shè)置有第一級 分子泵1，與第一級分子泵1過盈連接的第三級分子泵2,第三級分子泵2通過端面法蘭螺 釘10和端面法蘭3連接，第二級分子泵7通過第二級分子泵螺釘12固定在第三級分子泵 2的裝配槽28中。
[0040] 第一級分子泵1為圓筒形，在圓形內(nèi)壁形成螺旋導(dǎo)氣槽30,螺旋導(dǎo)氣槽30截面呈 "U"型、且呈右旋狀態(tài)。第二級分子泵3為圓盤形，在其一側(cè)形成第二級紅外探頭孔23,在 其下端面形成多個沿圓周均布的第二級槽壁B段21和第二級抽氣槽B段22、并相間分布， 在其下端面沿圓周形成三個均布的第二級分子泵支撐24。第三級分子泵2為厚壁圓筒形， 在其一側(cè)形成第三級紅外探頭孔15,在第三級分子泵2的下部形成圓環(huán)形的裝配槽28,在 第三級分子泵2的中間形成中心通孔31，中心通孔31的內(nèi)壁形成螺旋導(dǎo)氣槽30,螺旋導(dǎo)氣 槽30截面呈"U"型，在第三級分子泵2的上端面形成上環(huán)形凸緣32,其外壁下部形成下環(huán) 形凸緣33,其下端面形成多個沿圓周均布的第二級抽氣槽A段18和第二級槽壁A段17相 間分布，第二級抽氣槽A段18和第二級抽氣槽B段22的槽型均為變寬度的矩形。
[0041] 第二級抽氣槽A段18,第二級抽氣槽B段22以及第二級槽壁A段17、第二級槽壁 B段21呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊，本實用新型的第二級抽氣槽A段18、第二級抽氣 槽B段22均為八個。
[0042] 所述的第二級分子泵固定孔20沿第二級分子泵3周向均布有3個、為沉頭孔。
[0043] 端面法蘭螺釘10穿過第三級分子泵固定孔16、擰入端面法蘭3的端面法蘭螺紋孔 26中，將第三級分子泵部2固定在端面法蘭3的下端。
[0044] 第二級分子泵螺釘12穿過第二級分子泵固定孔20、擰入第二分子泵螺紋孔13中， 將第二級分子泵7固定在第三級分子泵2的裝配槽28內(nèi)。
[0045] 紅外探頭29插入到定位法蘭6的階梯孔中，定位法蘭螺釘11通過定位法蘭孔擰 入到定位法蘭螺紋孔14中，紅外探頭29安裝在第三級紅外探頭孔15中、并穿過第二級紅 外探頭孔23,測溫導(dǎo)線34依次通過第三級分子泵線槽19、端面法蘭線槽25與固定在端面 法蘭3中的端面測溫裝置4相連，端面測溫裝置4固定在測溫裝置安裝孔27中。
[0046] 徑向測溫裝置5的測量端穿過外殼9、靠近第一級分子泵1的外壁。
[0047] 所述的端面測溫裝置4和徑向測溫裝置5為同樣結(jié)構(gòu)溫度測量儀。
[0048] 本實用新型的第二級分子泵和第三級分子泵的可拆裝結(jié)構(gòu)，可以保證在分子泵正 常運行的情況下，調(diào)試和安裝端面測溫裝置，徑向測溫裝置有大范圍的軸向選擇空間。測溫 時，轉(zhuǎn)子既可以處于靜止?fàn)顟B(tài)、也可以處于轉(zhuǎn)動狀態(tài)，操作方便。
【權(quán)利要求】
1. 一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，包括圓筒形外殼（9)，在外殼（9)內(nèi)部設(shè)置 有圓柱形轉(zhuǎn)子（8)，其特征在于：在所述的外殼（9)內(nèi)部、轉(zhuǎn)子（8)外圍、且與轉(zhuǎn)子（8)同軸設(shè) 置有第一級分子泵（1 )，與第一級分子泵（1)過盈連接的第三級分子泵（2)，第三級分子泵 (2 )與端面法蘭（3 )連接，第二級分子泵（7 )固定在第三級分子泵（2 )的裝配槽（28 )中，第 一級分子泵（1)為圓筒形，在圓形內(nèi)壁形成螺旋導(dǎo)氣槽（30)，第二級分子泵（7)為圓盤形， 在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級槽壁B段（21)和第二級抽氣槽B段（22)、并相間 分布；第三級分子泵（2)為厚壁圓筒形、在其下部形成圓環(huán)形的裝配槽（28)，在其中間形成 中心通孔（31)，中心通孔（31)的內(nèi)壁形成螺旋導(dǎo)氣槽（30)，在其下端面形成多個沿圓周均 布的第二級抽氣槽A段（18)和第二級槽壁A段（17)、并相間分布；紅外探頭（29)安裝在第 三級紅外探頭孔（15)中，其測溫導(dǎo)線依次通過第三級分子泵線槽（19)、端面法蘭線槽（25) 與固定在端面法蘭（3 )中的端面測溫裝置（4 )相連，端面測溫裝置（4 )固定在測溫裝置安裝 孔（27)中，徑向測溫裝置（5)的測量端穿過外殼（9)、靠近第一級分子泵（1)的外壁。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，其特征在于：所述 的第二級抽氣槽A段（18)和第二級抽氣槽B段（22)呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊，第 二級槽壁A段（17 )和第二級槽壁B段（21)呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可測轉(zhuǎn)子表面溫度的牽引式分子泵，其特征在于：所述 的螺旋導(dǎo)氣槽（30)截面呈"U"型、且呈右旋狀態(tài)，所述的第二級抽氣槽A段（18)、第二級抽 氣槽B段（22)的槽型均為變寬度的矩形、并互相對齊。
【文檔編號】F04D27/00GK203906328SQ201420295813
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月5日
【發(fā)明者】劉巍, 周勃, 韓莉果, 王春巖 申請人:核工業(yè)理化工程研究院