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基于數(shù)字散斑干涉的變形及斜率同步測量裝置及測量方法與流程

文檔序號:11130567閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明公開了一種基于數(shù)字散斑干涉的變形及斜率同步測量裝置及測量方法,激光器出射光被分光棱鏡分為第一束光和第二束光;第一束光經(jīng)另一分光棱鏡反射到單色CCD相機成像靶面上,構成參考光路;第二束光經(jīng)平面鏡反射照射在被測物體表面,形成激光散斑場,單色CCD相機從與光軸對稱的雙方向同時接收激光散斑場,構成兩個物光路;通過切換參考光路和物光路的開閉,形成同步測量的數(shù)字散斑干涉光路和剪切數(shù)字散斑干涉光路,提取散斑干涉條紋相位和剪切散斑干涉條紋相位,測得被測物體表面變形和斜率。本發(fā)明實現(xiàn)了被測物體變形及其斜率信息的同步、獨立測量,無需重復加載和后期分離;采用相移技術,提高測量精度;構建測量靈敏度可調且物光共用的散斑干涉雙光路,使系統(tǒng)整體結構簡單、緊湊。

技術研發(fā)人員:顧國慶;佘斌;孔海陵;王路珍
受保護的技術使用者:鹽城工學院
文檔號碼:201611149902
技術研發(fā)日:2016.12.14
技術公布日:2017.02.15

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