技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種材料輻射致放氣的在線測試裝置，所述裝置包括真空腔室系統(tǒng)、輻射腔室系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、檢測組件和數(shù)控采集單元。本發(fā)明還提出了測試材料輻射致放氣量的兩種方法：動態(tài)法和質(zhì)譜法，均可在線實時測試，其中使用動態(tài)法和質(zhì)譜法可測試同一樣品的輻射致放氣總量，質(zhì)譜法還可準(zhǔn)確測量輻射致放氣各組分的放氣分量。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，且可對質(zhì)譜儀和有效抽速進行校準(zhǔn)，測試結(jié)果更為真實精確。

技術(shù)研發(fā)人員：羅艷;吳曉斌;王魁波;陳進新;謝婉露;張羅莎
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電研究院
文檔號碼：201611119916
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.08
技術(shù)公布日：2017.06.09