本發(fā)明屬于柔性傳感器的檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種柔性傳感器的變形檢測裝置及方法。

背景技術(shù)：

近年來，柔性電子技術(shù)正在飛速地應(yīng)用于信息、能源、醫(yī)療和國防等領(lǐng)域。據(jù)預(yù)測，柔性電子產(chǎn)品的市場將會從2016年的265億美金增加到2026年的690億美金。作為柔性電子技術(shù)中的重要組成部分，柔性傳感器是近年來科學(xué)研究中的熱門領(lǐng)域。在功能上，柔性傳感器使用了極薄的壓電材料、半導(dǎo)體材料、有機(jī)材料和金屬材料，實(shí)現(xiàn)了植入式或可穿戴的人體健康檢測、汽車電子和機(jī)器人傳感器等方面的應(yīng)用。在光電傳感器領(lǐng)域，柔性電子技術(shù)也有著大量的應(yīng)用，然而絕大多數(shù)的柔性光電傳感器并不具備延展性，無法順應(yīng)地覆蓋任何復(fù)雜的曲面。實(shí)現(xiàn)任意復(fù)雜曲面的集成還需要依靠柔性可延展的光電傳感器。柔性可延展電子器件為新一代半導(dǎo)體器件的發(fā)展提供了新方向。柔性可延展電子器件具有許多重要的和新興的應(yīng)用,如柔性顯示器、半球形電子眼數(shù)碼相機(jī)、智能外科手套、健康監(jiān)測設(shè)備和柔性太陽能電池。

柔性光電傳感器使用了可延展的金屬導(dǎo)線將不同測量單元連接成復(fù)雜的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。這些柔性光電傳感器陣列在剛性平面基底上完成加工，通過轉(zhuǎn)印的方法轉(zhuǎn)移到平面柔性基底上?；淄ㄟ^機(jī)械變形，如使用液體填充改變基底的曲率或使用預(yù)拉伸的方法將拉伸平面的曲面釋放獲得原有曲面形式。曲面柔性可延展傳感器加工取得了顯著的進(jìn)展，相應(yīng)的檢測技術(shù)也急需同步發(fā)展。然而現(xiàn)有檢測技術(shù)，在從整體和細(xì)節(jié)上，均不易檢測柔性可延展傳感器在不同壓力下條件下形變情況，無法有效地檢測柔性可延展傳感器變形情況，因此提供一種柔性可延展傳感器的形變檢測裝置及方法，很有必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于解決上述的技術(shù)問題而提供一種柔性傳感器的變形檢測裝置及方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種柔性傳感器的變形檢測裝置，包括：

壓力控制系統(tǒng)，包括壓力控制器及微泵，安裝在樣品池與儲液器的液體輸送管路中；樣品池上方有由柔性傳感器與可延展基膜構(gòu)成的可延展復(fù)合薄膜的安裝口；

二維移動系統(tǒng)，包括用于放置樣品池的二維載物臺以及使二維載物臺移動的步進(jìn)電機(jī)；

顯微成像測量系統(tǒng)，包括可垂直升降調(diào)節(jié)的顯微鏡頭，安裝在樣品池正上方，并與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)相連接；

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，用于根據(jù)二維載物平臺及顯微鏡頭的位移數(shù)據(jù)，輸出可延展復(fù)合薄膜在不同壓力情況下不同位置的輪廓曲線及曲線的曲率，獲得曲線與壓力的關(guān)系。

所述顯微鏡頭連接微距調(diào)節(jié)器，所述微距調(diào)節(jié)器連接數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為圖像處理計算機(jī)。

所述步進(jìn)電機(jī)連接步進(jìn)電機(jī)控制器，所述步進(jìn)電機(jī)控制器連接所述圖像處理計算機(jī)。

所述微泵連接微泵控制器。

本發(fā)明的目的還在于提供所述柔性傳感器的變形檢測裝置的檢測方法，包括以下步驟：

S1：安裝二維載物臺，調(diào)整底座水平高度，使二維載物臺保持水平；

S2：選取需要進(jìn)行測試的柔性傳感器，貼合于柔性可延展基膜上形成可延展復(fù)合薄膜；

S3：連通儲液池和微泵，再連接壓力控制器，最后連接樣品池，儲液池、微泵，壓力控制器與樣品池中間用液體輸送管連接，并把儲液池中的液體輸送進(jìn)樣品池，保證整個過程密封性好；

S4：將被測的可延展復(fù)合薄膜安裝到樣品池上膜安裝口，通過壓力控制器使可延展復(fù)合薄膜兩側(cè)壓力大小相等；

S5：安裝樣品池到二維載物臺上；

S6：接通步進(jìn)電機(jī)控制器和步進(jìn)電機(jī)，并連接步進(jìn)電機(jī)到二維載物臺并通過電機(jī)手輪，或者步進(jìn)電機(jī)控制器調(diào)節(jié)二維載物臺到初始位置；

S7：安裝顯微鏡頭連接到微距調(diào)節(jié)器，再連接微距調(diào)節(jié)器到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，調(diào)節(jié)顯微鏡頭的焦距，再通過微距調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)顯微鏡頭高度使顯微鏡頭能夠觀察到可延展復(fù)合薄膜清晰的像，取此時顯微鏡頭高度為基準(zhǔn)零點(diǎn)；

S8：連接步進(jìn)電機(jī)控制器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，使步進(jìn)電機(jī)控制器可正常返回步進(jìn)電機(jī)位移數(shù)據(jù)給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；

S9：通過壓力控制器增大可延展復(fù)合薄膜內(nèi)側(cè)壓力，使可延展復(fù)合薄膜凸起一定高度，記錄下壓力大小；

S10；調(diào)節(jié)微距調(diào)節(jié)器，使顯微鏡頭重新觀察到薄膜清晰的像，記錄下鏡頭可觀察到清晰像時的上極限位置、下極限位置，取上極限位置、下極限位置的中值為測量值；

S11：通過步進(jìn)電機(jī)控制器控制二維載物臺移動，改變可延展復(fù)合薄膜的空間位置，先保持一維方向不變，再按每次前進(jìn)1毫米改變另一維的位置，重復(fù)S8，記錄下此時觀察點(diǎn)相對于初始位置的坐標(biāo)；

S12：通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對數(shù)據(jù)處理，描繪出不同壓力情況下，不同位置的輪廓曲線，并求出曲線的曲率。

本發(fā)明通過將二維載物臺和顯微鏡頭豎直移動結(jié)合在一起，基于二維載物臺二維移動，配合豎直移動的顯微鏡頭掃描薄膜外形輪廓，由微泵與壓力控制器線性改變并穩(wěn)定保持可延展復(fù)合薄膜受到的壓力，實(shí)現(xiàn)了從整體和細(xì)節(jié)上可觀察柔性可延展復(fù)合薄膜的變形情況，從而給出被觀測點(diǎn)的相應(yīng)空間坐標(biāo)，最終由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)處理得到柔性可延展復(fù)合薄膜在不同壓力下的輪廓曲線及曲率半徑，解決了現(xiàn)有技術(shù)不能從整體和細(xì)節(jié)上檢測柔性可延展傳感器在不同壓力下形變情況的不足。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的柔性傳感器的變形檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-儲液池；2-微泵；3-壓力控制器；4-樣品池；5-液體輸送管；6-顯微鏡頭；7-數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；8-微距調(diào)節(jié)器；9-二維載物臺；10-步進(jìn)電機(jī)控制器；11-步進(jìn)電機(jī)；12-手輪；13-可延展基膜；14-柔性傳感器。

具體實(shí)施方式

下面，結(jié)合實(shí)例對本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和優(yōu)勢作進(jìn)一步的說明，但本發(fā)明并不局限于所列的實(shí)施例。

參見圖1所示，一種柔性傳感器的變形檢測裝置，包括：

所述壓力控制系統(tǒng)包括壓力控制器3，壓力控制器3的出液口與樣品池4的入液口通過輸液管相連接，所述壓力控制器3的進(jìn)液口通過管路連接微泵2的出液口，微泵2的進(jìn)液口通過液體輸送管5連接儲液器1的出液口；所述樣品池4的上方的膜安裝口設(shè)有可延展基膜13，所述可延展基膜13的上表面貼有被測的柔性傳感器14；

所述二維移動系統(tǒng)包括二維載物臺9以及步進(jìn)電機(jī)11，所述樣器池4放置在所述二維載物臺9上，步進(jìn)電機(jī)11控制二維載物臺9進(jìn)行二維移動；

所述顯微成像測量系統(tǒng)包括可垂直升降調(diào)節(jié)的顯微鏡頭6，安裝在樣品池6的正上方，所述顯微鏡頭6與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7相連接，可將觀察到的由柔性傳感器及可延展基膜形成的可延展復(fù)合薄膜的圖像傳送到所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7；

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，用于根據(jù)二維載物平臺及顯微鏡頭的位移數(shù)據(jù)，輸出可延展復(fù)合薄膜在不同壓力情況下不同位置的輪廓曲線及曲線的曲率，獲得曲線與壓力的關(guān)系。

需要說明的是，本發(fā)明中，所述顯微鏡頭6可以是通過連接桿安裝在一個微距調(diào)節(jié)器8上，用于調(diào)節(jié)所述顯微鏡頭6的垂直位置，所述微距調(diào)節(jié)器8安裝在一個支撐裝置上，并與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7相連接，微距調(diào)節(jié)器8可返回給顯微鏡頭6的位移調(diào)節(jié)參數(shù)給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7。

所述微距調(diào)節(jié)器8可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的微距調(diào)節(jié)裝置來實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明中，所述微泵用于改變樣品池4內(nèi)液體的壓力使樣品池上的可延展復(fù)合薄膜不同程度的形變，如凸起或下凹；所述壓力控制器3，主要是通過控制流體的壓力使樣品池4的膜安裝口上的可延展復(fù)合薄膜在設(shè)定壓力范圍內(nèi)的線性變化以及在某一特定曲率狀態(tài)下的穩(wěn)定保持。

所述壓力控制器3可以采用現(xiàn)有壓力控制裝置，如膜片式壓力控制器。

被測的柔性傳感器及柔性可延展基膜在樣品池上受到內(nèi)部液體壓力和外界大氣壓力的共同作用下，實(shí)現(xiàn)不同曲率程度的上凸和下凹形變。壓力控制器實(shí)現(xiàn)樣品池中液體壓力的精確控制，確保被測可延展復(fù)合薄膜的曲率能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)定范圍內(nèi)的線性變化以及在某一特定曲率狀態(tài)下的穩(wěn)定保持。

進(jìn)一步的，本發(fā)明中，所述步進(jìn)電機(jī)11連接步進(jìn)電機(jī)控制器10，所述計算機(jī)7連接步進(jìn)電機(jī)控制器10，所述步進(jìn)電機(jī)控制器10用于控制步進(jìn)電機(jī)11轉(zhuǎn)動以使二維載物臺9二維移動到初始位置或其它位置，步進(jìn)電機(jī)控制器10可將步進(jìn)電機(jī)控制器10的位移參數(shù)數(shù)據(jù)傳送到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7可接收步進(jìn)電機(jī)控制器10傳送來的控制步進(jìn)電機(jī)11的位移參數(shù)數(shù)據(jù)并存儲。

所述的步進(jìn)電機(jī)11具有電機(jī)手輪12，可以用于手動調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)載物臺9到初始位置。

本發(fā)明中，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7可以是一個圖像處理計算機(jī)裝置。

其中，所述圖像處理計算機(jī)連接所述微距調(diào)節(jié)器，控制所述微距調(diào)節(jié)器動作。

所述步進(jìn)電機(jī)連接步進(jìn)電機(jī)控制器，所述步進(jìn)電機(jī)控制器連接所述圖像處理計算機(jī)。

所述微泵連接微泵控制器。其中，所述微泵控制器可以是一臺計算機(jī)來實(shí)現(xiàn)控制。

本發(fā)明中，所述顯微成像系統(tǒng)通過與二維載物平臺聯(lián)合，實(shí)現(xiàn)三維掃描的方式，逐點(diǎn)觀察可延展復(fù)合薄膜上某特定微小區(qū)域的形變情況，通過二維載物平臺的移動以及顯微物鏡頭移動過的坐標(biāo)值可得到相應(yīng)的圖像坐標(biāo)點(diǎn)，從而實(shí)現(xiàn)對于可延展復(fù)合薄膜曲面形變坐標(biāo)特征的整體精確測量，能夠確定形變后可延展復(fù)合薄膜上可延展材料任意特征點(diǎn)空間相對坐標(biāo)位置，利用樣條差值方法，就可獲得可延展復(fù)合薄膜被測特征點(diǎn)間的曲線公式，進(jìn)而計算可得被測可延展材料的形狀變化及曲率特征。

本發(fā)明中，將被測的柔性傳感器以及可延展基膜安裝到樣品池膜安裝孔上方，通過微泵可改變樣品池內(nèi)壓力，實(shí)現(xiàn)可延展復(fù)合薄膜上凸、下凹變形，壓力控制器可精確控制樣品池內(nèi)壓力，確保被測可延展復(fù)合薄膜的曲率實(shí)現(xiàn)設(shè)定范圍內(nèi)線性變化以及在某特定曲率狀態(tài)下的穩(wěn)定保持。

利用二維載物平臺可實(shí)現(xiàn)被測對象在水平面內(nèi)任意移動，配合顯微鏡頭上下移動，可清晰定位形變后可延展復(fù)合薄膜任意位置，進(jìn)而通過二維載物平臺和顯微鏡頭的移動距離，確定被測可延展復(fù)合薄膜的相對空間坐標(biāo)，最后通過圖像處理計算機(jī)處理得到可延展復(fù)合薄膜在不同壓力條件下的輪廓曲線，進(jìn)而求得可延展薄膜任一點(diǎn)曲率，獲得變形后可延展薄膜曲率的非線性狀態(tài)以及整體曲率和壓力的對應(yīng)關(guān)系。

本發(fā)明中，在調(diào)節(jié)顯微鏡頭6與可延展復(fù)合薄膜的距離時，通過使用調(diào)節(jié)微距調(diào)節(jié)器8，就可以精確控制顯微鏡頭6的高度，使顯微鏡頭6觀察到可延展復(fù)合薄膜清晰的像。通過定位可延展復(fù)合薄膜上任意兩點(diǎn)空間相對坐標(biāo)，進(jìn)而通過該任意兩點(diǎn)空間相對坐標(biāo)可以得到可延展復(fù)合薄膜輪廓曲線。

需要說明的是，從顯微鏡頭6中觀察到可延展復(fù)合薄膜的清晰像時，鏡頭高度有一取值范圍，具體測試時取測量值為此取值范圍的中間值，這樣做可以降低測量誤差。

其中，顯微鏡頭6正常工作時，微距調(diào)節(jié)器8調(diào)節(jié)好鏡頭高度后，會傳輸給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7一個顯微鏡頭位移參數(shù)，此時步進(jìn)電機(jī)控制器10也會把二維載物臺9的位移參數(shù)返回給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7，由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7儲存在數(shù)據(jù)庫，通過Excel軟件繪制出可延展復(fù)合薄膜變形后的輪廓曲線，借助數(shù)值數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7就可以求得可延展復(fù)合薄膜上任一點(diǎn)的曲率。

本發(fā)明通過壓力控制器3穩(wěn)定可延展復(fù)合薄膜受到的壓力，使測量過程中可延展復(fù)合薄膜的變形保持不變，而微泵2則用于改變可延展復(fù)合薄膜內(nèi)側(cè)受到的壓力，進(jìn)而改變可延展復(fù)合薄膜的凸起程度。壓力控制器3與微泵2配合使可延展復(fù)合薄膜可以處于一個穩(wěn)定的測量環(huán)境，提高測量效果。

本發(fā)明通過安裝到二維載物臺9上的步進(jìn)電機(jī)11，可以精準(zhǔn)地改變可延展復(fù)合薄膜空間位置，得到載物臺精確位置，使實(shí)驗(yàn)誤差減小。

本發(fā)明中，步進(jìn)電機(jī)11在控制二維載物臺9移動時，主是利用步進(jìn)電機(jī)11將步進(jìn)電機(jī)控制器10傳來的電脈沖信號轉(zhuǎn)變?yōu)榫€位移傳給二維載物臺9，而步進(jìn)電機(jī)控制器10就是對步進(jìn)電機(jī)11進(jìn)行現(xiàn)代數(shù)字程序控制。

在工作情況下，步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)速、停止的位置只取決于脈沖信號的頻率和脈沖數(shù)，而不受負(fù)載變化的影響，當(dāng)步進(jìn)電機(jī)11接收到一個脈沖信號，它就按設(shè)定的方向轉(zhuǎn)動一個固定的角度，它的旋轉(zhuǎn)是以固定的角度一步一步運(yùn)行的。本發(fā)明正是利用這一點(diǎn)通過控制脈沖個數(shù)來控制角位移量，進(jìn)而精確控制二維載物臺的空間位移，從而達(dá)到準(zhǔn)確定位的目的。

需要說明提，本發(fā)明中，可以根據(jù)具體項(xiàng)目要求自主選擇被測的柔性材料及可延展基膜，同時調(diào)節(jié)壓力控制器、顯微鏡頭及高精度微泵等參數(shù)。

在具體檢測時，針對不同參數(shù)下可延展復(fù)合薄膜的形變程度不同，需要設(shè)計大量的比對實(shí)驗(yàn)，即可測定出可延展復(fù)合薄膜的形變情況。

通過本發(fā)明裝置的使用，可從整體上可以迅速選出可延展復(fù)合薄膜變形后曲率較為均勻的工作參數(shù)，從細(xì)節(jié)上又為選出形變均勻的可延展復(fù)合薄膜參數(shù)提供理論支持，最終選擇出曲率均勻，形變適中等能夠易于檢測的工作參數(shù)。

具體在檢測時，首先將儲液池1用液體輸送管5連接到微泵2，并把壓力控制器3用液體輸送管5連接到微泵2與樣品池1之間，用微泵2往樣品池4內(nèi)輸送進(jìn)液體，將貼合好柔性傳感器14的可延展基膜13形成的可延展復(fù)合薄膜安裝到樣品池4上膜安裝口處。調(diào)節(jié)壓力控制器3使可延展復(fù)合薄膜兩側(cè)的壓力相等。然后將樣品池4安裝到二維載物臺9，連接電機(jī)11到二維載物臺上9，接通步進(jìn)電機(jī)控制器10和步進(jìn)電機(jī)11，利用步進(jìn)電機(jī)控制器10或電機(jī)手輪12使二維載物臺9處于初始位置。將顯微鏡頭6與微距調(diào)節(jié)器8連接，并連接數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7，微距調(diào)節(jié)器8連接數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7。最后連接步進(jìn)電機(jī)控制器10和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7。調(diào)節(jié)顯微鏡頭6高度，使其能夠觀察到薄可延展復(fù)合薄膜晰的像，且在數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7中呈現(xiàn)，并根據(jù)載物臺的位移移動數(shù)據(jù)和顯微鏡頭豎直移動參數(shù)，由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)擬合出可延展復(fù)合薄膜的輪廓，獲得可延展復(fù)合薄膜的曲率。

本發(fā)明的上述的柔性傳感器的變形檢測裝置的檢測方法，步驟如下；

S1：安裝二維載物臺，調(diào)整底座水平高度，使二維載物臺保持水平；

S2：選取需要進(jìn)行測試的柔性傳感器，貼合于柔性可延展基膜上形成可延展復(fù)合薄膜；

S3：連通儲液池和微泵，再連接壓力控制器，最后連接樣品池，儲液池、微泵，壓力控制器與樣品池中間用液體輸送管連接，并把儲液池中的液體輸送進(jìn)樣品池，保證整個過程密封性好；

S4：將被測的柔性傳感器及可延展基膜形成的可延展復(fù)合薄膜安裝到樣品池上膜安裝口，通過壓力控制器使可延展復(fù)合薄膜兩側(cè)壓力大小相等；

S5：安裝樣品池到二維載物臺上；

S6：接通步進(jìn)電機(jī)控制器和步進(jìn)電機(jī)，并連接步進(jìn)電機(jī)到二維載物臺并通過電機(jī)手輪，或者步進(jìn)電機(jī)控制器調(diào)節(jié)二維載物臺到初始位置；

S7：安裝顯微鏡頭連接到微距調(diào)節(jié)器，再連接微距調(diào)節(jié)器到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，調(diào)節(jié)顯微鏡頭的焦距，再通過微距調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)顯微鏡頭高度使顯微鏡頭能夠觀察到可延展復(fù)合薄膜清晰的像，取此時顯微鏡頭高度為基準(zhǔn)零點(diǎn)；

S8：連接步進(jìn)電機(jī)控制器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，使步進(jìn)電機(jī)控制器可正常返回步進(jìn)電機(jī)位移數(shù)據(jù)給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；

S9：通過壓力控制器增大可延展復(fù)合薄膜內(nèi)側(cè)壓力，使可延展復(fù)合薄膜凸起一定高度，記錄下壓力大??；

S10；調(diào)節(jié)微距調(diào)節(jié)器，使顯微鏡頭重新觀察到可延展復(fù)合薄膜清晰的像，記錄下此時顯微鏡頭可觀察到清晰像時的上極限位置參數(shù)、下極限位置參數(shù)，取上極限位置、下極限位置的中值為測量值；

S11：通過步進(jìn)電機(jī)控制器控制二維載物臺移動，改變可延展復(fù)合薄膜的空間位置，先保持一維方向不變，再按每次前進(jìn)1毫米改變另一維的位置，重復(fù)S8，記錄下此時觀察點(diǎn)相對于初始位置的坐標(biāo)；

S12：通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對數(shù)據(jù)處理，描繪出不同壓力情況下，不同位置的輪廓曲線，并求出曲線的曲率。

本發(fā)明裝置通過將二維載物臺和顯微鏡頭豎直移動結(jié)合在一起，基于二維載物臺二維移動，配合豎直移動的顯微鏡頭掃描薄膜外形輪廓，由微泵與壓力控制器線性改變并穩(wěn)定保持可延展復(fù)合薄膜受到的壓力，實(shí)現(xiàn)了從整體和細(xì)節(jié)上可觀察柔性可延展復(fù)合薄膜的變形情況，從而給出被觀測點(diǎn)的相應(yīng)空間坐標(biāo)，最終由計算機(jī)處理得到柔性可延展復(fù)合薄膜在不同壓力下的輪廓曲線及曲率半徑，解決了現(xiàn)有技術(shù)不能從整體和細(xì)節(jié)上檢測柔性傳感器在不同壓力下形變情況的不足。

本發(fā)明裝置由于采用機(jī)電一體化設(shè)計，整個過程除壓力控制器的部分外可由計算機(jī)控制進(jìn)行，測試結(jié)果直接以報告和圖片的形式打印出來。試驗(yàn)結(jié)果可以保存到數(shù)據(jù)庫，可在數(shù)據(jù)庫中查看不同壓力條件下的薄膜輪廓曲率。

本發(fā)明裝置能夠?qū)崿F(xiàn)精密二維移動系統(tǒng)配合顯微成像系統(tǒng)用以確定被測可延展復(fù)合薄膜上任意兩點(diǎn)的相對空間坐標(biāo)，能夠利用高精度微泵和壓力控制器精確控制可延展復(fù)合薄膜壓力，并且自動化程度高，操作簡單，測量結(jié)果精度高。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。