本發(fā)明涉及一種便攜式劃入測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

儀器化壓入是一種微尺度的力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。該類儀器能自動(dòng)、實(shí)時(shí)測(cè)量和記錄在壓入試驗(yàn)周期內(nèi)作用于壓頭上的載荷和壓入試樣的深度，利用載荷-深度等信息，經(jīng)過(guò)反演分析，識(shí)別材料的壓入硬度和力學(xué)參量。劃入儀是經(jīng)過(guò)功能拓展的壓入儀，在壓入過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)壓頭和試樣產(chǎn)生水平的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)測(cè)量出水平載荷、豎直載荷和劃入深度隨劃入位置的連續(xù)變化過(guò)程。不僅可以研究材料和結(jié)構(gòu)的摩擦磨損、變形和破壞性能，還可以研究涂層的黏著失效和薄膜與基底的結(jié)合強(qiáng)度。在電子器件薄膜、汽車噴涂、光學(xué)鏡頭等質(zhì)量檢測(cè)方面應(yīng)用廣泛。

目前，便攜式劃入儀尚未出現(xiàn)，現(xiàn)有的劃入測(cè)試只能在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行，需要嚴(yán)格控制外部環(huán)境干擾，無(wú)法實(shí)現(xiàn)針對(duì)工程現(xiàn)場(chǎng)或者大型結(jié)構(gòu)件的在線檢測(cè)。目前使用最為廣泛的臺(tái)式劃入儀在測(cè)試薄膜材料的臨界附著力和摩擦系數(shù)以及試樣表面的粗糙度時(shí)，需要將被測(cè)材料或結(jié)構(gòu)加工成小塊試樣再送往實(shí)驗(yàn)室測(cè)試，不能實(shí)現(xiàn)真正的原位測(cè)試，其測(cè)試結(jié)果也不能準(zhǔn)確反映材料在原本外界環(huán)境下的力學(xué)性能。這樣的測(cè)試手段，效率相對(duì)較低，精度不高。

綜上所述，針對(duì)能夠?qū)崿F(xiàn)在工程現(xiàn)場(chǎng)或者是大型結(jié)構(gòu)件的在線檢測(cè)，便攜式劃入測(cè)試儀器的研制是十分必要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有劃入儀存在不能實(shí)現(xiàn)真正的原位測(cè)試的不足，本發(fā)明提供了一種可原位劃入測(cè)試、測(cè)試精度較高的一種便攜式劃入測(cè)試系統(tǒng)。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

一種便攜式劃入測(cè)試系統(tǒng)，包括劃入測(cè)試裝置和計(jì)算機(jī)，所述劃入測(cè)試裝置包括底座以及安裝在底座上的工作平臺(tái)調(diào)整模塊、劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊、信號(hào)測(cè)控模塊和電源模塊；所述工作平臺(tái)調(diào)整模塊、劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊、信號(hào)測(cè)控模塊分別與所述電源模塊連接；

所述底座中部設(shè)有用于測(cè)試被測(cè)結(jié)構(gòu)件的開(kāi)口，所述開(kāi)口的左右兩側(cè)分別對(duì)稱布置有立柱，橫梁可上下滑動(dòng)的套裝在所述立柱上；所述劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊均位于所述開(kāi)口的上方；

所述工作平臺(tái)調(diào)整模塊包括豎直調(diào)整組件、水平調(diào)整組件和工作平臺(tái)，所述豎直調(diào)整組件包括豎直調(diào)整電機(jī)和豎直絲杠，所述豎直絲杠的下端固定在所述底座上，所述豎直絲杠的上端與立柱固定連接，所述豎直絲杠上套裝有可上下運(yùn)動(dòng)的豎直絲杠螺母，所述豎直調(diào)整電機(jī)安裝在橫梁的底部且其動(dòng)力輸出端與豎直絲杠螺母連接，所述橫梁同時(shí)可上下滑動(dòng)的套裝于所述豎直絲杠上并位于所述豎直絲杠螺母的上方；所述豎直調(diào)整組件設(shè)置有兩個(gè)，分別為第一豎直調(diào)整組件和第二豎直調(diào)整組件，所述第一豎直調(diào)整組件的豎直絲杠位于開(kāi)口左側(cè)立柱的左側(cè)，所述橫梁的左端位于所述第一豎直調(diào)整組件的豎直絲杠螺母的上方，所述第一豎直調(diào)整組件的豎直調(diào)整電機(jī)安裝在所述橫梁的左端的底部，所述第二豎直調(diào)整組件的豎直絲杠位于開(kāi)口右側(cè)立柱的右側(cè)，所述橫梁的右端位于所述第二豎直調(diào)整組件的豎直絲杠螺母的上方，所述第二豎直調(diào)整組件的豎直調(diào)整電機(jī)安裝在所述橫梁的右端的底部；

所述水平調(diào)整組件包括水平調(diào)整電機(jī)、水平絲杠和導(dǎo)軌，所述水平絲杠位于所述開(kāi)口的上方并安裝在所述橫梁的中部的下方，所述水平調(diào)整電機(jī)安裝在橫梁上且其動(dòng)力輸出端與水平絲杠連接，所述導(dǎo)軌的上部固定安裝在所述橫梁的中部的下方，所述水平絲杠上的水平絲杠螺母安裝在所述導(dǎo)軌的下部并與導(dǎo)軌形成左右滑動(dòng)副；

所述劃入測(cè)試模塊包括用于水平驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、用于豎直驅(qū)動(dòng)的電磁驅(qū)動(dòng)裝置和壓頭，所述水平絲杠螺母通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述工作平臺(tái)的頂部連接，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置的上端與所述工作平臺(tái)的底部固定連接，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置的下端通過(guò)壓頭連接件與所述壓頭連接；

所述原位觀測(cè)模塊與電磁驅(qū)動(dòng)裝置并排布置，所述原位觀測(cè)模塊包括顯微部件和物鏡轉(zhuǎn)換器，所述顯微部件通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)換器安裝在所述工作平臺(tái)的底部；

所述豎直調(diào)整電機(jī)、水平調(diào)整電機(jī)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、電磁驅(qū)動(dòng)裝置、顯微部件分別通過(guò)所述信號(hào)測(cè)控模塊與所述計(jì)算機(jī)連接。

進(jìn)一步，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置包括外殼以及設(shè)置在外殼內(nèi)的兩個(gè)磁缸、加載線圈和驅(qū)動(dòng)主軸，所述加載線圈位于兩個(gè)磁缸之間，所述驅(qū)動(dòng)主軸的上端與所述加載線圈的下端固定連接，所述驅(qū)動(dòng)主軸的下端穿過(guò)外殼通過(guò)壓頭連接件與所述壓頭連接，所述驅(qū)動(dòng)主軸的中部通過(guò)柔性支撐彈簧與所述殼體內(nèi)壁連接；

所述驅(qū)動(dòng)主軸上自上而下依次設(shè)有用于測(cè)量豎直方向的劃入載荷的高精度豎直載荷傳感器、用于測(cè)量豎直方向上的劃入深度的平板電容傳感器、用于測(cè)量水平方向的劃入載荷的高精度水平載荷傳感器，所述驅(qū)動(dòng)主軸的右側(cè)與所述殼體內(nèi)壁之間還設(shè)有電渦流位移傳感器，所述電渦流位移傳感器的目標(biāo)板與所述高精度水平載荷傳感器分別位于所述驅(qū)動(dòng)主軸的右側(cè)和左側(cè)，所述電渦流位移傳感器的探頭安裝在所述殼體內(nèi)壁上并與電渦流位移傳感器的目標(biāo)板左右正對(duì)布置。

再進(jìn)一步，所述豎直絲杠的上端設(shè)有上限位環(huán)，所述豎直絲杠的下端設(shè)有下限位環(huán)。

再進(jìn)一步，所述底座的底部四角分別設(shè)有四個(gè)磁性表座，相鄰兩個(gè)磁性表座之間形成V型卡槽。

更進(jìn)一步，所述劃入測(cè)試裝置外還設(shè)有防護(hù)罩。

本發(fā)明的有益效果是：有效實(shí)現(xiàn)原位劃入測(cè)試和原位觀測(cè)、實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)試、提高測(cè)試效率和測(cè)試精度。

附圖說(shuō)明

圖1是帶有防護(hù)罩的劃入測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是劃入測(cè)試裝置的主視圖。

圖3是圖2的側(cè)視圖。

圖4是圖2的軸視圖。

圖5是一種便攜式劃入測(cè)試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是電磁驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是水平調(diào)整組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過(guò)具體實(shí)施方式來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明。

參照?qǐng)D1～圖7，一種便攜式劃入測(cè)試系統(tǒng)，包括劃入測(cè)試裝置和計(jì)算機(jī)，所述劃入測(cè)試裝置包括底座以及安裝在底座上的工作平臺(tái)調(diào)整模塊、劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊、信號(hào)測(cè)控模塊10和電源模塊20；所述工作平臺(tái)調(diào)整模塊、劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊、信號(hào)測(cè)控模塊分別與所述電源模塊連接；

所述底座中部設(shè)有用于測(cè)試被測(cè)結(jié)構(gòu)件的開(kāi)口，所述開(kāi)口的左右兩側(cè)分別對(duì)稱布置有立柱1，橫梁4可上下滑動(dòng)的套裝在所述立柱1上；所述劃入測(cè)試模塊、原位觀測(cè)模塊均位于所述開(kāi)口的上方；

所述工作平臺(tái)調(diào)整模塊包括豎直調(diào)整組件、水平調(diào)整組件和工作平臺(tái)15，所述豎直調(diào)整組件包括豎直調(diào)整電機(jī)6和豎直絲杠3，所述豎直絲杠3的下端固定在所述底座上，所述豎直絲杠3的上端與立柱1固定連接，所述豎直絲杠3上套裝有可上下運(yùn)動(dòng)的豎直絲杠螺母，所述豎直調(diào)整電機(jī)6安裝在橫梁4的底部且其動(dòng)力輸出端與豎直絲杠螺母連接，所述橫梁4同時(shí)可上下滑動(dòng)的套裝于所述豎直絲杠3上并位于所述豎直絲杠螺母的上方；所述豎直調(diào)整組件設(shè)置有兩個(gè)，分別為第一豎直調(diào)整組件和第二豎直調(diào)整組件，所述第一豎直調(diào)整組件的豎直絲杠位于開(kāi)口左側(cè)立柱的左側(cè)，所述橫梁的左端位于所述第一豎直調(diào)整組件的豎直絲杠螺母的上方，所述第一豎直調(diào)整組件的豎直調(diào)整電機(jī)安裝在所述橫梁的左端的底部，所述第二豎直調(diào)整組件的豎直絲杠位于開(kāi)口右側(cè)立柱的右側(cè)，所述橫梁的右端位于所述第二豎直調(diào)整組件的豎直絲杠螺母的上方，所述第二豎直調(diào)整組件的豎直調(diào)整電機(jī)安裝在所述橫梁的右端的底部；

所述水平調(diào)整組件包括水平調(diào)整電機(jī)19、水平絲杠18和導(dǎo)軌17，所述水平絲杠18位于所述開(kāi)口的上方并安裝在所述橫梁4的中部的下方，所述水平調(diào)整電機(jī)19安裝在橫梁4上且其動(dòng)力輸出端與水平絲杠18連接，所述導(dǎo)軌17的上部固定安裝在所述橫梁4的中部的下方，所述水平絲杠18上的水平絲杠螺母安裝在所述導(dǎo)軌17的下部并與導(dǎo)軌17形成左右滑動(dòng)副；

所述劃入測(cè)試模塊包括用于水平驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16、用于豎直驅(qū)動(dòng)的電磁驅(qū)動(dòng)裝置7和壓頭11，所述水平絲杠螺母通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16與所述工作平臺(tái)15的頂部連接，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置7的上端與所述工作平臺(tái)15的底部固定連接，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置7的下端通過(guò)壓頭連接件8與所述壓頭11連接；

所述原位觀測(cè)模塊與電磁驅(qū)動(dòng)裝置7并排布置，所述原位觀測(cè)模塊包括顯微部件13和物鏡轉(zhuǎn)換器14，所述顯微部件通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)換器安裝在所述工作平臺(tái)15的底部；

所述豎直調(diào)整電機(jī)6、水平調(diào)整電機(jī)19、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16、電磁驅(qū)動(dòng)裝置7、顯微部件13分別通過(guò)所述信號(hào)測(cè)控模塊10與所述計(jì)算機(jī)連接。

進(jìn)一步，所述電磁驅(qū)動(dòng)裝置7包括外殼21以及設(shè)置在外殼21內(nèi)的兩個(gè)磁缸22、加載線圈23和驅(qū)動(dòng)主軸24，所述加載線圈23位于兩個(gè)磁缸之間，所述驅(qū)動(dòng)主軸24的上端與所述加載線圈23的下端固定連接，所述驅(qū)動(dòng)主軸24的下端穿過(guò)外殼通過(guò)壓頭連接件8與所述壓頭11連接，所述驅(qū)動(dòng)主軸24的中部通過(guò)柔性支撐彈簧26與所述殼體內(nèi)壁連接；

所述驅(qū)動(dòng)主軸24上自上而下依次設(shè)有用于測(cè)量豎直方向的劃入載荷的高精度豎直載荷傳感器25、用于測(cè)量豎直方向上的劃入深度的平板電容傳感器27、用于測(cè)量水平方向的劃入載荷的高精度水平載荷傳感器28，所述驅(qū)動(dòng)主軸24的右側(cè)與所述殼體內(nèi)壁之間還設(shè)有電渦流位移傳感器，所述電渦流位移傳感器的目標(biāo)板29與所述高精度水平載荷傳感器28分別位于所述驅(qū)動(dòng)主軸24的右側(cè)和左側(cè)，所述電渦流位移傳感器的探頭30安裝在所述殼體內(nèi)壁上并與電渦流位移傳感器的目標(biāo)板29左右正對(duì)布置。電渦流位移傳感器測(cè)量驅(qū)動(dòng)主軸24相對(duì)于豎直方向的偏移量。

再進(jìn)一步，所述豎直絲杠3的上端設(shè)有上限位環(huán)2，所述豎直絲杠3的下端設(shè)有下限位環(huán)9。

再進(jìn)一步，所述底座的底部四角分別設(shè)有四個(gè)磁性表座12，相鄰兩個(gè)磁性表座之間形成V型卡槽。

更進(jìn)一步，所述劃入測(cè)試裝置外還設(shè)有防護(hù)罩。

本實(shí)施例中，機(jī)架有底座、立柱1和橫梁4組成；豎直方向的劃入載荷即為豎直載荷，水平方向的劃入載荷即為水平載荷；高精度豎直載荷傳感器25為高精度的接觸式豎直載荷傳感器；水平絲杠螺母為帶有螺紋孔33的滑塊32。

如圖5所示，豎直調(diào)整電機(jī)6可為絲杠升降機(jī)，豎直絲杠為滾珠絲杠，豎直調(diào)整是由豎直調(diào)整電機(jī)6與豎直絲杠3的豎直絲杠螺母配合，由于豎直絲杠3是固定的，橫梁4是位于豎直絲杠螺母的上方，由于豎直絲杠螺母的上下運(yùn)動(dòng)，從而推動(dòng)其上的橫梁4沿著雙立柱1在豎直方向上進(jìn)行調(diào)整，實(shí)現(xiàn)連接在橫梁4上的工作平臺(tái)15在豎直方向升降的調(diào)整，初步調(diào)整壓頭11和顯微部件13的物鏡到被測(cè)結(jié)構(gòu)件表面的距離，雙立柱1保證了豎直方向的線性度，鎖緊閥5對(duì)橫梁4進(jìn)行鎖緊固定，保證了工作過(guò)程中豎直方向的穩(wěn)定性和精度，同時(shí)上限位環(huán)2和下限位環(huán)9保證在豎直調(diào)整過(guò)程中出現(xiàn)的極限位置，為防止機(jī)器出現(xiàn)狀況或者人為不當(dāng)操作時(shí)出現(xiàn)事故，從而防止對(duì)機(jī)器或人身造成傷害。水平調(diào)整是由水平調(diào)整電機(jī)19驅(qū)動(dòng)與水平絲杠18配合的工作平臺(tái)15沿著導(dǎo)軌17在水平方向調(diào)整，導(dǎo)軌17保證了水平調(diào)整的精度，由于可以連續(xù)的水平調(diào)整壓頭11的位置，所以可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)的測(cè)試。

所述劃入測(cè)試模塊和原位觀測(cè)模塊安裝在工作平臺(tái)15的兩端，劃入測(cè)試過(guò)程是由提供水平驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16和提供豎直驅(qū)動(dòng)的電磁驅(qū)動(dòng)裝置7相互配合完成，電磁驅(qū)動(dòng)裝置7在豎直方向上利用加載線圈22進(jìn)行二級(jí)載荷的施加，驅(qū)動(dòng)連接在壓頭連接件8上的壓頭11在豎直方向上進(jìn)行壓入，同時(shí)由安裝在工作臺(tái)15和導(dǎo)軌17之間的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16提供水平方向上的二級(jí)驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)壓頭11在豎直方向壓入的同時(shí)，在水平方向與試樣產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，兩者相互配合完成劃入測(cè)試。所述劃入測(cè)試模塊是由電磁驅(qū)動(dòng)裝置提供壓入的動(dòng)力，采用電阻率較低的材料制成線圈，在磁缸中，有電流通過(guò)時(shí)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力，能夠提供高精度的線性載荷。所述劃入測(cè)試模塊采用高精度的非接觸式位移傳感器和接觸式載荷傳感器，能夠準(zhǔn)確靈敏地測(cè)量位移和載荷；所述劃入測(cè)試模塊的壓頭連接件，提供標(biāo)準(zhǔn)接口，便于安裝和更換壓頭。

原位觀測(cè)模塊是由工作平臺(tái)調(diào)整模塊中的水平調(diào)整組件控制，在劃入測(cè)試完成后通過(guò)水平調(diào)整工作平臺(tái)的位置，將安裝在工作平臺(tái)15上的顯微部件13移動(dòng)到劃入測(cè)試區(qū)域進(jìn)行原位的觀測(cè)。顯微觀測(cè)部件13通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)換器14連接到工作平臺(tái)15上，可以自動(dòng)識(shí)別和捕捉劃痕區(qū)域，實(shí)現(xiàn)對(duì)劃痕的觀測(cè)分析。顯微部件13是標(biāo)準(zhǔn)接口，可以根據(jù)不同的工況需求，方便地安裝和更換不同放大倍數(shù)(10×、20×、40×)的物鏡；顯微部件13具備自動(dòng)對(duì)焦和圖像識(shí)別功能，自動(dòng)識(shí)別捕捉劃痕區(qū)域，提高測(cè)試效率和精度。

底座的底部由四個(gè)磁性表座12構(gòu)成，由于磁性表座兩兩互成V型，能夠穩(wěn)定地在被測(cè)結(jié)構(gòu)件的表面進(jìn)行安裝和固定，從而為劃入測(cè)試提供支撐。

信號(hào)測(cè)控模塊10用于將從計(jì)算機(jī)中接收的數(shù)字指令信號(hào)轉(zhuǎn)換為驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)后發(fā)送給劃入測(cè)試模塊，以及將從劃入測(cè)試模塊接收的豎直載荷、水平載荷、位移模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)信號(hào)并發(fā)送給計(jì)算機(jī)。

所述計(jì)算機(jī)，用于發(fā)送和接收指令，同時(shí)分析測(cè)試數(shù)據(jù)，計(jì)算被測(cè)試結(jié)構(gòu)或材料的力學(xué)性能參數(shù)。

如圖6所示，其中，24為驅(qū)動(dòng)主軸，是活動(dòng)部件，需要嚴(yán)格限制沿一維方向運(yùn)動(dòng)；25為高精度豎直載荷傳感器，能夠提供準(zhǔn)確靈敏的記錄豎直方向的劃入載荷；26為上下兩層的柔性支撐彈簧，用于懸浮活動(dòng)部件和確保其沿一維方向運(yùn)動(dòng)；27為平板電容傳感器，用于測(cè)量豎直方向上的劃入深度；28為高精度水平載荷傳感器，準(zhǔn)確記錄劃入測(cè)試在水平方向的劃入載荷；29和30分別為電渦流位移傳感器的目標(biāo)板和探頭，電渦流傳感器用于測(cè)量壓頭在劃入過(guò)程中相對(duì)于原始位置的水平的偏移；當(dāng)加載線圈23通電時(shí)，加載線圈23會(huì)受到電磁力驅(qū)動(dòng)向下運(yùn)動(dòng)，從而提供劃入測(cè)試在豎直方向的動(dòng)力。

如圖7所示，導(dǎo)軌17通過(guò)四個(gè)螺紋孔31固定在橫梁4的下方，滑塊32中有左右貫通的螺紋孔33與水平絲杠18配合，由水平調(diào)整電機(jī)19驅(qū)動(dòng)水平絲杠18，使滑塊32沿著導(dǎo)軌17水平滑動(dòng)，滑塊32下方有壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器16連接工作平臺(tái)15。

本發(fā)明的工作流程為：

(1)開(kāi)機(jī)、檢驗(yàn)儀器狀態(tài)。通電設(shè)備工作時(shí)會(huì)發(fā)熱，引起溫度波動(dòng)，應(yīng)提前半個(gè)小時(shí)以上開(kāi)機(jī)預(yù)熱。待儀器穩(wěn)定，采用標(biāo)準(zhǔn)參考樣品，間接檢驗(yàn)該劃入測(cè)試系統(tǒng)是否正常工作。若正常，則進(jìn)行正式測(cè)試。

(2)粗選測(cè)試區(qū)域。通過(guò)觀察被測(cè)結(jié)構(gòu)件的表面，初步選定測(cè)試區(qū)域。

(3)確定測(cè)試區(qū)域。將測(cè)試儀器安裝在被測(cè)結(jié)構(gòu)件上，要求壓頭11與待測(cè)表面垂直，以便保證壓頭11垂直壓入。調(diào)整工作平臺(tái)15和管道之間的距離，通過(guò)水平調(diào)整組件切換到觀測(cè)模式，利用顯微部件13觀測(cè)粗選的測(cè)試區(qū)域是否滿足測(cè)試要求。如果滿足要求則進(jìn)行下一步，如果不滿足則水平調(diào)整壓頭11位置重新選取待測(cè)區(qū)域，若滿足則進(jìn)行下一步測(cè)試參數(shù)設(shè)定，若多次水平調(diào)整之后仍不滿足，重復(fù)上一步粗選測(cè)試區(qū)域的操作。

(4)設(shè)置測(cè)試參數(shù)。選定好合適的測(cè)試區(qū)域后，通過(guò)計(jì)算機(jī)設(shè)置合適的測(cè)試參數(shù)，如加載方式、劃入深度、劃入長(zhǎng)度、劃入速率和豎向載荷等。

(5)完成測(cè)試。根據(jù)設(shè)置好測(cè)試參數(shù)，開(kāi)始測(cè)試，等待測(cè)試完成。

(6)觀察、測(cè)量劃痕。劃入測(cè)試完成后，切換成觀測(cè)模式，利用顯微部件13觀察并且自動(dòng)識(shí)別捕捉劃痕區(qū)域，將劃痕的形態(tài)特征反饋到計(jì)算機(jī)。

(7)處理測(cè)試數(shù)據(jù)，生成測(cè)試結(jié)果報(bào)告。計(jì)算機(jī)會(huì)結(jié)合豎向載荷、水平載荷和劃入深度曲線以及顯微部件13識(shí)別的劃痕結(jié)果進(jìn)行處理，并且會(huì)根據(jù)用戶選用的分析方法，自動(dòng)分析處理測(cè)試數(shù)據(jù)，計(jì)算相關(guān)的力學(xué)參數(shù)，如膜基結(jié)合強(qiáng)度、摩擦系數(shù)和材料表面粗糙度等，并生成測(cè)試結(jié)果報(bào)告。

本發(fā)明采用一體式設(shè)計(jì)，機(jī)架結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，劃入過(guò)程中機(jī)架變形引起的變形誤差小，測(cè)量精確；同時(shí)，水平調(diào)整電機(jī)19在水平方向可以自由調(diào)整，因此可以連續(xù)的選擇測(cè)試區(qū)域，實(shí)現(xiàn)一次安裝，多次連續(xù)測(cè)試。