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一種白光干涉輪廓儀空間掃描范圍自適應(yīng)規(guī)劃方法與流程

文檔序號(hào):12443637閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種白光干涉輪廓儀空間掃描范圍自適應(yīng)規(guī)劃方法。其包括)利用白光干涉輪廓儀對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行垂直大范圍掃描和圖像采集,并使用能量梯度函數(shù)及窮舉法在圖像中定位出最佳干涉位置;使用ViBe算法進(jìn)行白光干涉條紋提取并對(duì)提取結(jié)果進(jìn)行二值化處理,由此完成白光干涉條紋識(shí)別;利用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷移相器及干涉物鏡向上而后向下運(yùn)動(dòng),針對(duì)運(yùn)動(dòng)中CCD相機(jī)獲取的每一幀圖像進(jìn)行所述步驟2)的條紋識(shí)別操作,并依據(jù)獲取的二值化后的提取結(jié)果獲取掃描區(qū)間等步驟。本發(fā)明方法能夠極大提高對(duì)于干涉條紋的感知能力,完成掃描范圍的自動(dòng)規(guī)劃,有效提高了白光干涉輪廓儀掃描效率與掃描數(shù)據(jù)利用率。

技術(shù)研發(fā)人員:馬龍;呂毅;代超璠;裴昕;張鴻燕;黃超;陳欣
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)民航大學(xué)
文檔號(hào)碼:201611042967
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.24
技術(shù)公布日:2017.05.31

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