技術編號：12443637
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微結構光學無損檢測技術領域，特別是涉及一種白光干涉輪廓儀空間掃描范圍自適應規(guī)劃方法。背景技術微納米尺度精密加工技術的發(fā)展使元器件的集成度不斷提升，功能性更加完善，同時也為測量帶來了新的挑戰(zhàn)。白光掃描干涉術作為一種重要的光學無損檢測手段，具有非接觸、高精度、測量時間短等特點，因此已被廣泛應用于精密無損檢測領域，與此同時針對白光掃描干涉術的研究成為了光學無損檢測領域研究的熱點。目前常用的白光干涉輪廓儀的結構如圖1(a)所示，其主要包括白光光源1、分光鏡2、干涉物鏡3、壓電陶瓷移相器4、步進...
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