技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種MEMS電極式低電導(dǎo)率傳感器及其測(cè)量方法，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)制造及水質(zhì)檢測(cè)領(lǐng)域。該傳感器由絕緣襯底、三個(gè)平面矩形電極和兩對(duì)平面叉指電極組成，所有電極依次水平排開(kāi)，并呈左右對(duì)稱(chēng)分布，三個(gè)平面矩形電極大小相等，相互平行排布于兩端和正中間，并作為電流電極，用于施加激勵(lì)信號(hào)，兩對(duì)平面叉指電極對(duì)大小相等，相互平行排布于兩個(gè)平面矩形電極之間，并作為電壓電極，用于檢測(cè)響應(yīng)信號(hào)。本發(fā)明提供的傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，基于MEMS加工技術(shù)，工藝簡(jiǎn)單，成本低廉，體積小巧，通用性強(qiáng)，可靠性高，適用于低濃度水體的電導(dǎo)率測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：劉海韻;胡居榮;平學(xué)偉;魏爽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河海大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611026949
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.16
技術(shù)公布日：2017.03.15