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一種光譜成像微型傳感器的制作方法

文檔序號:12445990閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光譜成像微型傳感器,其特征在于,所述傳感器的每一個像素都由上反射層、通光層、下反射層和像素感光部位構(gòu)成,整個傳感器由保護玻璃進行光學(xué)保護;

所述上反射層采用多層高反射率物質(zhì)和多層低反射率物質(zhì)交替制備,形成布拉格反射鏡,具有反光效果,上反射層的物質(zhì)交疊次數(shù)在3次到15次之間,一層高折射率物質(zhì)配合一層低折射率物質(zhì)定義為一次交疊,上反射層位于芯片保護玻璃之下,通光層之上;

所述下反射層具有和上反射層相同的結(jié)構(gòu)和材料,位置在通光層與像素之間;

所述上反射層,下反射層和通光層構(gòu)成了典型的法珀腔,其下反射層下面是CMOS傳感器的單個像素的像素感光部位。

2.如權(quán)利要求1所述的光譜成像微型傳感器,其特征在于,所述下反射層和像素感光部位采用一體化制備方法,沒有空隙,像素感光部位后是完整的電學(xué)讀出電路。

3.如權(quán)利要求1所述的光譜成像微型傳感器,其特征在于,所述傳感器采用半導(dǎo)體工藝進行一次成型,其上反射層,通光層,下反射層和像素感光部位均采用半導(dǎo)體工藝相兼容的材料,且縱向嚴格對齊整,沒有后期貼合的部分。

4.如權(quán)利要求1所述的光譜成像微型傳感器,其特征在于,所述傳感器是面陣傳感器,每個像素點所對應(yīng)的感光波長由法珀腔體結(jié)構(gòu)決定,所述傳感器每一列采用同樣高度的法珀腔,根據(jù)實際應(yīng)用,不同列的法珀腔體高度可相同或者不同,因此可以在傳感器層面進行不同的布局來達到不同成像體制的目的。

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