技術總結
本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)微橋壓痕載荷?深度曲線的校準方法，屬于材料力學性能測試領域。通過對特征尺寸為微米級的兩端固定式微橋結構進行納米壓痕測試，同步獲取微橋結構的彎曲載荷?撓度曲線和壓痕載荷?深度曲線，對微機電系統(tǒng)器件中橋式結構的剛度、楊氏模量、硬度、屈服應力和斷裂強度進行定量測試。通過對微橋靜不定結構進行分析，將壓針尖端實際最大位移精確解析為微橋最大撓曲變形與嵌入微橋表面最大壓入深度之和，結合彈性撓曲面對最大壓入深度以及壓入微區(qū)邊緣彈性撓曲的理論分析，建立通過實測壓痕載荷?深度曲線對彈性半無限空間條件下載荷?深度曲線進行評估的方法，為研究微機電系統(tǒng)器件應力誘導下的力學行為提供新穎的測量方法。

技術研發(fā)人員：馬志超;趙宏偉;任露泉;馬筱溪;杜希杰;劉長宜;周明星
受保護的技術使用者：吉林大學
文檔號碼：201610914688
技術研發(fā)日：2016.10.20
技術公布日：2017.03.15