本發(fā)明涉太赫茲波檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀。

背景技術(shù)：

太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)可以應(yīng)用于多領(lǐng)域的研究，如太赫茲光學(xué)器件的檢測(cè)，包括太赫茲棱鏡、波片和對(duì)偏振態(tài)敏感的光電導(dǎo)天線。也可應(yīng)用于生物領(lǐng)域，如氨基酸和蛋白質(zhì)等具有手性特征的生物分子的檢測(cè)，具有手性特征的分子對(duì)太赫茲的左旋或右旋圓偏振光的吸收不同，此現(xiàn)象又叫做圓二色性。廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域使得太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀的研究具有重要的價(jià)值。

為了測(cè)量由圓二色性或光學(xué)活性器件引入的多偏振態(tài)，太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀必須能夠測(cè)量太赫茲波正交場(chǎng)分量的振幅和相位。該測(cè)量可以使用電光晶體或常規(guī)光電導(dǎo)天線接收器，但必須旋轉(zhuǎn)電光晶體或光電導(dǎo)天線對(duì)各偏振態(tài)進(jìn)行獨(dú)立檢測(cè)，這種機(jī)械性調(diào)整不僅測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，而且會(huì)造成極大的測(cè)量誤差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于此，有必要提供一種太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀，能夠快速地對(duì)各種全偏振態(tài)的太赫茲波進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)，提高被測(cè)樣品的檢測(cè)精度和檢測(cè)效率。

一種太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀，包括：

太赫茲波發(fā)生器，用于利用激光產(chǎn)生線性偏振態(tài)的太赫茲波；

起偏器，位于所述太赫茲發(fā)生器的輻射端，用于接收所述太赫茲波輻射并濾除所述太赫茲波中的雜散光，將所述太赫茲波轉(zhuǎn)化為偏振態(tài)純度更高的線性偏振光；經(jīng)所述起偏器輸出的線性偏振光用于照射被測(cè)樣品后產(chǎn)生太赫茲調(diào)制波；

偏振分光片，位于所述太赫茲調(diào)制波的傳輸路徑中，用于將所述太赫茲調(diào)制波分解為偏振態(tài)相互垂直的水平太赫茲波和垂直太赫茲波；

水平太赫茲探測(cè)器，位于所述水平太赫茲波的傳輸路徑中，用于檢測(cè)所述水平太赫茲波；

垂直太赫茲探測(cè)器，位于所述垂直太赫茲波的傳輸路徑中，用于檢測(cè)所述垂直太赫茲波。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述起偏器包括兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的多層硅片，兩個(gè)所述多層硅片相對(duì)傾斜呈V字型，每個(gè)所述多層硅片與所述太赫茲波形成的光束的夾角為布儒斯特角。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多層硅片為四層硅片。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，其特征在于所述太赫茲波發(fā)生器為砷化鎵光電導(dǎo)天線。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述偏振分光片為金屬線柵分光片。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括第一離軸拋物面鏡和第二離軸拋物面鏡，所述第一離軸拋物面鏡用于將所述起偏器產(chǎn)生的線性偏振光聚焦到被測(cè)樣品上，所述第二離軸拋物面鏡用于將所述太赫茲調(diào)制波進(jìn)行準(zhǔn)直后發(fā)送給所述偏振分光片。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括激光光源，所述激光光源用于產(chǎn)生激光。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括置于激光光路上的分光片，所述分光片包括第一分光片和第二分光片，所述第一分光片用于將所述激光分為第一光束和第二光束，所述第一光束用于泵浦所述太赫茲波發(fā)生器產(chǎn)生所述太赫茲波，所述第二光束由所述第二分光片分成第三光束和第四光束，第三光束用于激發(fā)所述水平太赫茲探測(cè)器對(duì)所述水平太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)，第四光束用于激發(fā)所述垂直太赫茲探測(cè)器對(duì)所述垂直太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括第一延遲線、第二延遲線和第三延遲線，所述第一延遲線對(duì)所述第一光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述太赫茲波發(fā)生器，所述第二延遲線對(duì)所述第三光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器，所述第三延遲線對(duì)所述第四光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器，使得經(jīng)所述分光片處理后的激光到達(dá)所述太赫茲波發(fā)生器、水平太赫茲探測(cè)器和垂直太赫茲探測(cè)器的時(shí)間一致。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括三組透鏡和聚焦透鏡，分別為第一透鏡和第一聚焦透鏡、第二透鏡和第二聚焦透鏡，第三透鏡和第三聚焦透鏡，所述太赫茲波發(fā)生器、水平太赫茲探測(cè)器和垂直太赫茲探測(cè)器分別連接在一組透鏡和聚焦透鏡之間，所述第一透鏡對(duì)所述第一光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述太赫茲波發(fā)生器，所述第一聚焦透鏡將所述太赫茲波發(fā)生器產(chǎn)生的太赫茲波進(jìn)行準(zhǔn)直后發(fā)送給所述起偏器，所述第二透鏡對(duì)所述第三光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器，所述第二聚焦透鏡將所述水平太赫茲波進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器，所述第三透鏡對(duì)所述第四光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器，所述第三聚焦透鏡將所述垂直太赫茲波進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器。

上述太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀，包括太赫茲波發(fā)生器、起偏器、偏振分光片、水平太赫茲探測(cè)器和垂直太赫茲探測(cè)器；太赫茲波發(fā)生器產(chǎn)生太赫茲波，并通過起偏器對(duì)該太赫茲波進(jìn)行純度優(yōu)化，被測(cè)對(duì)象將進(jìn)行純度優(yōu)化后的太赫茲波進(jìn)行調(diào)制得到太赫茲調(diào)制波，通過偏振分光片將該太赫茲調(diào)制波分解為偏振態(tài)相互垂直的水平太赫茲波和垂直太赫茲波，用兩個(gè)對(duì)應(yīng)的太赫茲探測(cè)器分別對(duì)這兩個(gè)太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而根據(jù)該檢測(cè)的結(jié)構(gòu)對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行特征分析；該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀能夠快速地對(duì)各種全偏振態(tài)的太赫茲波進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)，提高了被測(cè)樣品的檢測(cè)精度和檢測(cè)效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他實(shí)施例的附圖。

圖1是一實(shí)施例中太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀的結(jié)構(gòu)圖；

圖2是一實(shí)施例中被測(cè)樣品對(duì)太赫茲波進(jìn)行調(diào)制的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。

參見圖1，圖1是一實(shí)施例中太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀的結(jié)構(gòu)圖。

在本實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀包括太赫茲波發(fā)生器10、起偏器11、偏振分光片12、水平太赫茲探測(cè)器13和垂直太赫茲探測(cè)器14。

太赫茲波發(fā)生器10用于利用激光產(chǎn)生線性偏振態(tài)的太赫茲波。該太赫茲波發(fā)生器10為砷化鎵光電導(dǎo)天線，該砷化鎵光電導(dǎo)天線為共平面天線，在激光的泵浦作用下產(chǎn)生太赫茲輻射，即發(fā)出太赫茲波，且該太赫茲波為線性偏振光。

起偏器11位于所述太赫茲發(fā)生器10的輻射端，用于濾除所述太赫茲波中的雜散光，將所述太赫茲波轉(zhuǎn)化為偏振態(tài)純度更高的線性偏振光，經(jīng)起偏器11輸出的線性偏振光用于照射被測(cè)樣品50后產(chǎn)生太赫茲調(diào)制波。太赫茲波發(fā)生器10產(chǎn)生的太赫茲波主要為線性偏振光，存在少量偏振態(tài)不同于該線性偏振光的雜散光，需要將這些雜散光濾除，以得到純度更高的線性偏振光，提高樣品檢測(cè)的精度。該起偏器11可以讓需要的線性偏振光通過，同時(shí)將不需要的雜散光反射出去，使得雜散光不會(huì)進(jìn)入到后續(xù)的檢測(cè)系統(tǒng)中。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該起偏器11包括兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的多層硅片，兩個(gè)所述多層硅片相對(duì)傾斜呈V字型，每層硅片均為高電阻率，單層硅片呈矩形，大小可以為長(zhǎng)100mm、寬30mm，厚度可以為0.5mm，該多層硅片可以為四層。每個(gè)所述多層硅片與所述太赫茲波形成的光束的夾角為布儒斯特角。雜散光經(jīng)該起偏器11反射后，反射光轉(zhuǎn)化為線性偏振光，且該線性偏振光的傳播方向與上述沿水平方向傳輸?shù)木€性偏振光垂直，被該起偏器11反射出去，不會(huì)進(jìn)入后續(xù)的檢測(cè)系統(tǒng)，需要的線性偏振光，即沿水平方向傳播的線性偏振的太赫茲波則能順利通過，該起偏器11的消光比可達(dá)10⁴，可以獲得偏振態(tài)純度更高的線性偏振光，消光效果好。

偏振分光片12位于所述太赫茲調(diào)制波的傳輸路徑中，用于將所述太赫茲調(diào)制波分解為偏振態(tài)相互垂直的水平太赫茲波和垂直太赫茲波。

參見圖2，圖2是一實(shí)施例中被測(cè)樣品50對(duì)太赫茲波進(jìn)行調(diào)制的示意圖。該被測(cè)樣品50為一種超材料結(jié)構(gòu)，其表面獨(dú)有一層周期結(jié)構(gòu)的金屬萬字符，該萬字符具有光學(xué)活性。該三維坐標(biāo)系為太赫茲波經(jīng)被測(cè)樣品50調(diào)制前后所在的三維坐標(biāo)系，黑色箭頭表示該太赫茲波被調(diào)制之前的光矢量，圓圈表示該太赫茲波被調(diào)制之后的光矢量形成的軌跡，可以看到經(jīng)過該被測(cè)樣品50調(diào)制后，線性偏振態(tài)的太赫茲波轉(zhuǎn)化為圓偏振態(tài)的太赫茲波，即圓偏振光。

在實(shí)際的檢測(cè)中，被測(cè)樣品50可以為其他物質(zhì)，線性偏振態(tài)的太赫茲波經(jīng)調(diào)制后可能會(huì)出現(xiàn)其他全偏振態(tài)，如線性偏振態(tài)或者橢圓偏振態(tài)。

該偏振分光片12為金屬線柵分光片，其由等距排列的平行鎢絲組成，間距可以為5微米。在工作過程中，給該偏振分光片12上電，對(duì)于沿金屬線柵方向偏振的入射電磁波，其表現(xiàn)為一個(gè)典型的金屬平板，大部分將被反射回去；如果該入射電磁波的偏振方向垂直于金屬線柵，該電磁波可以順利穿過該偏振分光片12。

在經(jīng)上述被測(cè)樣品50調(diào)制之后的圓偏振光投射在該金屬線柵分光片上，該圓偏振光中偏振方向平行于金屬線柵的太赫茲波分量被反射出去，偏振方向垂直于金屬線柵的太赫茲波分量則順利通過該金屬線柵分光片，該圓偏振光經(jīng)過該金屬線柵分光片后被分解為偏振方向相互垂直的兩束光，分別為水平太赫茲波和垂直太赫茲波。

水平太赫茲探測(cè)器13位于所述水平太赫茲波的傳輸路徑中，用于檢測(cè)所述水平太赫茲波。

垂直太赫茲探測(cè)器14位于所述垂直太赫茲波的傳輸路徑中，用于檢測(cè)所述垂直太赫茲波。

水平太赫茲波和垂直太赫茲波均為線性偏振光，分別設(shè)置兩個(gè)太赫茲探測(cè)器對(duì)這兩個(gè)線性偏振光進(jìn)行檢測(cè)，得到該圓偏振光正交場(chǎng)分量的幅值和相位，進(jìn)而對(duì)該圓偏振光進(jìn)行特征分析，以獲取被測(cè)對(duì)象的特性。

本方案同樣適用于線性偏振光和橢圓偏振光的檢測(cè)，線性偏振光和橢圓偏振光均可以分解為正交場(chǎng)分量以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。兩個(gè)太赫茲探測(cè)器均采用偶極子探測(cè)天線，只接收偏振態(tài)與偶極子軸線平行的太赫茲波。如經(jīng)過偏振分光片12處理后得到的水平太赫茲波的偏振方向與水平太赫茲探測(cè)器的偶極子軸線平行，該水平太赫茲探測(cè)器13只接收該水平太赫茲波，不需要使用太赫茲起偏器對(duì)該水平太赫茲波進(jìn)行處理，檢測(cè)精度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

上述太赫茲探測(cè)器10可以根據(jù)光強(qiáng)的不同判斷接收的太赫茲波是線性偏振態(tài)，還是其他偏振態(tài)，進(jìn)而對(duì)太赫茲調(diào)制波進(jìn)行分析，得到其偏振態(tài)，正交場(chǎng)分量的幅值和相位，以實(shí)現(xiàn)對(duì)全偏振態(tài)的太赫茲調(diào)制波的檢測(cè)，進(jìn)而根據(jù)檢測(cè)的結(jié)構(gòu)分析被測(cè)樣品50的特征。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀還包括第一離軸拋物面鏡15和第二離軸拋物面鏡16，所述第一離軸拋物面鏡15用于將所述起偏器11產(chǎn)生的線性偏振光聚焦到被測(cè)樣品50上，所述第二離軸拋物面鏡16用于將所述太赫茲調(diào)制波進(jìn)行準(zhǔn)直后發(fā)送給所述偏振分光片12。起偏器11發(fā)出的太赫茲波為水平方向傳播的高純度線性偏振光，通過第一離軸拋物面鏡15對(duì)其進(jìn)行聚焦處理后投射在被測(cè)樣品50上，對(duì)被測(cè)樣品50進(jìn)行檢測(cè)，經(jīng)被測(cè)樣品50調(diào)制后的太赫茲調(diào)制波為發(fā)散狀態(tài)，第二離軸拋物面鏡16對(duì)其進(jìn)行準(zhǔn)直，轉(zhuǎn)化為水平方向傳播的太赫茲調(diào)制波后發(fā)送給偏振分光片12。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀還包括激光光源17，所述激光光源17作為該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀的光源，用于提供產(chǎn)生太赫茲波的激光，以及激發(fā)水平太赫茲探測(cè)器13和垂直太赫茲探測(cè)器14工作的激光。該激光光源17為飛秒激光器，其為鈦寶石激光器，發(fā)出的激光的中心波長(zhǎng)為800nm，產(chǎn)生脈寬為100fs的激光脈沖，功率為100mw。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀還包括置于激光光路上的分光片，所述分光片包括第一分光片18和第二分光片19，所述第一分光片18用于將所述激光分為第一光束和第二光束，所述第一光束用于泵浦太赫茲波發(fā)生器10產(chǎn)生所述太赫茲波，所述第二光束由所述第二分光片19分成第三光束和第四光束，第三光束用于激發(fā)所述水平太赫茲探測(cè)器13對(duì)所述水平太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)，第四光束用于激發(fā)所述垂直太赫茲探測(cè)器14對(duì)所述垂直太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)。

將激光光源17產(chǎn)生的激光分為三束，一束用于泵浦太赫茲波發(fā)生器10進(jìn)行太赫茲輻射以產(chǎn)生線性偏振的太赫茲波，另外一束被一分為二，分別用于激發(fā)兩個(gè)太赫茲探測(cè)器對(duì)太赫茲調(diào)制波的正交場(chǎng)分量進(jìn)行檢測(cè)。

其中，用于泵浦太赫茲波發(fā)生器10進(jìn)行太赫茲輻射的激光經(jīng)第一反射鏡23改變其傳播方向后，發(fā)送給太赫茲波發(fā)生器10。用于激發(fā)水平太赫茲探測(cè)器13的激光經(jīng)第二反射鏡24改變其傳播方向后，發(fā)送給水平太赫茲探測(cè)器13。使得三束激光的傳播方向均為水平方向，彼此互不干擾。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀還包括還包括第一延遲線20、第二延遲線21和第三延遲線22，所述第一延遲線20對(duì)所述第一光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述太赫茲波發(fā)生器10，所述第二延遲線21對(duì)所述第三光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器13，所述第三延遲線22對(duì)所述第四光束進(jìn)行延時(shí)處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器14，使得經(jīng)所述分光片處理后的激光到達(dá)所述太赫茲波發(fā)生器10、水平太赫茲探測(cè)器13和垂直太赫茲探測(cè)器14的時(shí)間一致。

在對(duì)被測(cè)樣品50進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，需要同時(shí)對(duì)太赫茲調(diào)制波的正交場(chǎng)分量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，以提高檢測(cè)的精度，由于激光被分束后，每束激光的傳輸線路不一致，其到達(dá)太赫茲波發(fā)生器10、水平太赫茲探測(cè)器13和垂直太赫茲探測(cè)器14的時(shí)間有差別，為了使得三者同時(shí)工作，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品50的實(shí)時(shí)檢測(cè)，減小測(cè)量誤差，在三束激光的傳輸線路上分別設(shè)置光學(xué)延遲線。可以將第一延遲線20的延時(shí)時(shí)間設(shè)置的長(zhǎng)一些，第二延遲線21次之，第三延遲線22的延時(shí)時(shí)間最短。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀還包括三組透鏡和聚焦透鏡，分別為第一透鏡30和第一聚焦透鏡40、第二透鏡31和第二聚焦透鏡41，第三透鏡32和第三聚焦透鏡42，所述太赫茲波發(fā)生器10、水平太赫茲探測(cè)器13和垂直太赫茲探測(cè)器14分別連接在一組透鏡和聚焦透鏡之間，所述第一透鏡30對(duì)所述第一光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述太赫茲波發(fā)生器10，所述第一聚焦透鏡40將所述太赫茲波發(fā)生器10產(chǎn)生的太赫茲波進(jìn)行準(zhǔn)直后發(fā)送給所述起偏器11，所述第二透鏡31對(duì)所述第三光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器13，所述第二聚焦透鏡41將所述水平太赫茲波進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述水平太赫茲探測(cè)器13，所述第三透鏡32對(duì)所述第四光束進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器14，所述第三聚焦透42鏡將所述垂直太赫茲波進(jìn)行聚焦處理后發(fā)送給所述垂直太赫茲探測(cè)器14。

偏振分光片12對(duì)太赫茲調(diào)制光進(jìn)行分解后得到偏振方向和傳播方向均垂直的兩束太赫茲波，其中，垂直太赫茲波經(jīng)第三反射鏡25改變其傳播方向后被送入第三聚焦透鏡42，對(duì)其進(jìn)行聚焦處理，提高太赫茲探測(cè)器的靈敏度，進(jìn)而提高檢測(cè)精度。

上述太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀，由太赫茲波發(fā)生10產(chǎn)生太赫茲波，并通過起偏器11對(duì)該太赫茲波進(jìn)行純度優(yōu)化，被測(cè)對(duì)象50將進(jìn)行純度優(yōu)化后的太赫茲波進(jìn)行調(diào)制得到太赫茲調(diào)制波，并在調(diào)制前后通過離軸拋物面鏡對(duì)太赫茲波進(jìn)行聚焦和準(zhǔn)直處理，提高檢測(cè)的效果，然后通過偏振分光片12將該太赫茲調(diào)制波分解為偏振態(tài)相互垂直的水平太赫茲波和垂直太赫茲波，用兩個(gè)對(duì)應(yīng)的太赫茲探測(cè)器分別對(duì)這兩個(gè)太赫茲波進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而根據(jù)該檢測(cè)的結(jié)果對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行特征分析，并在每束激光分支上加入光學(xué)延遲線，保障樣品檢測(cè)的實(shí)時(shí)性；該太赫茲全偏振態(tài)檢測(cè)光譜儀能夠快速地對(duì)各種全偏振態(tài)的太赫茲波進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)，提高了被測(cè)樣品的檢測(cè)精度和檢測(cè)效率。

以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。