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一種F?P微腔光纖傳感器及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12173276閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種F-P微腔光纖傳感器,其特征在于,光纖內(nèi)制作有兩個(gè)反射鏡,構(gòu)成了F-P微腔傳感器的兩個(gè)反射面;其中一個(gè)反射鏡面通過(guò)激光調(diào)制光纖折射率而成;另一個(gè)反射面為光纖端面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的F-P微腔光纖傳感器,其特征在于,所述兩反射鏡之間的光程差或者反射鏡面的反射率改變時(shí),會(huì)引起干涉條紋的變化,以實(shí)現(xiàn)物理量的測(cè)量。

3.一種F-P微腔光纖傳感器制作方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)在光纖一端加工一個(gè)端面,該端面作為F-P微腔的一個(gè)反射鏡;

(2)將光纖置于三維移動(dòng)平臺(tái)上,使光纖的軸向垂直于激光入射方向;

(3)根據(jù)F-P微腔設(shè)計(jì)參數(shù)要求,調(diào)節(jié)三維移動(dòng)平臺(tái),確定腔長(zhǎng);

(4)使激光聚焦于光纖纖芯中距離光纖端面一定距離的纖芯位置饋入激光能量,使該處能量超過(guò)纖芯材料損傷閾值形成折射率與纖芯不同的調(diào)制點(diǎn),構(gòu)成F-P微腔的另一個(gè)反射面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖傳感器制作方法,其特征在于,所述步驟(1)中的光纖端面,是用切割刀在光纖切割一個(gè)平面,或加工成一個(gè)錐面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖傳感器制作方法,其特征在于,所述光纖端面上附加了一層生化敏感膜,形成膜結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖傳感器制作方法,其特征在于,所述步驟(1)中的光纖端面上鍍有反射膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖傳感器制作方法,其特征在于,使用的激光為飛秒激光。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖傳感器制作方法,其特征在于,所述光纖為單模光纖。

9.一種基于F-P微腔的光纖傳感器,其特征在于,其采用權(quán)利要求3-8中任一方法制成。

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