技術(shù)特征：

1.一種形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法，所述形狀測(cè)量設(shè)備包括：探測(cè)器，其前端具有觸針針尖；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使所述探測(cè)器移動(dòng)，并且所述形狀測(cè)量設(shè)備被配置為通過(guò)檢測(cè)所述觸針針尖與工件的表面之間的接觸來(lái)測(cè)量所述工件的形狀，所述控制方法包括以下步驟：

為了基于所述工件的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)計(jì)算用以使所述觸針針尖移動(dòng)的掃描路徑，并且為了在控制所述觸針針尖以使所述探測(cè)器相對(duì)于所述工件的偏轉(zhuǎn)量保持為基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量的同時(shí)、使所述觸針針尖沿著所述掃描路徑移動(dòng)，根據(jù)通過(guò)以下表達(dá)式所表示的合成速度矢量V來(lái)生成針對(duì)所述探測(cè)器的移動(dòng)指示：

合成速度矢量V＝Gf·Vf+Ge·Ve+Gc·Vc2，

其中：Vf是用以使所述探測(cè)器沿著所述掃描路徑移動(dòng)的路徑速度矢量，

Ve是用以使所述探測(cè)器相對(duì)于所述工件的偏轉(zhuǎn)量保持為所述基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)校正矢量，

Vc2是通過(guò)(Vc1·q)q所表示的第二軌跡校正矢量，

Vc1是用以對(duì)所述探測(cè)器的位置進(jìn)行校正以使得所述觸針針尖朝向所述掃描路徑的第一軌跡校正矢量，

q是利用所述工件的表面的法線與路徑速度矢量Vf的矢積所給出的軌跡校正方向矢量，以及

Gf、Ge和Gc分別是掃描驅(qū)動(dòng)增益、偏轉(zhuǎn)校正增益和軌跡校正增益。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法，其中，

偏轉(zhuǎn)校正矢量Ve是通過(guò)K(|Ep|-E₀)e_u所給出的，

其中：Ep是所述探測(cè)器的傳感器輸出，

E₀是所述基準(zhǔn)偏轉(zhuǎn)量，以及

e_u是所述探測(cè)器的位移方向上的單位矢量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的形狀測(cè)量設(shè)備的控制方法，其中，軌跡校正方向矢量q是通過(guò)e_u×Vf/|e_u×Vf|或者Vf×e_u/|Vf×e_u|所表示的。